Warum achtet Fab FFU besonders auf die Gleichmäßigkeit der Windgeschwindigkeit?
Fabs haben andere Anforderungen an die Luftzirkulation als gewöhnliche Reinräume
In den Reinräumen von Waferfabriken werden hohe Anforderungen an die Partikelkontrolle gestellt, und die Sauberkeit einiger Bereiche kann ISO-Klassen 1 bis 3 erreichen. In dieser Umgebung muss FFU nicht nur ein ausreichendes Luftzufuhrvolumen bereitstellen, sondern auch eine gleichmäßige Luftzufuhr gewährleisten.
Unter Windgeschwindigkeitsgleichmäßigkeit versteht man die Gleichmäßigkeit der Windgeschwindigkeitsverteilung in der FFU-Luftaustrittsfläche oder im Schutzbereich. Bei ungleichmäßiger Luftzufuhr ist die Windgeschwindigkeit an manchen Orten höher und an manchen Orten niedriger. Orte mit geringer Windgeschwindigkeit können Bereiche mit schwacher Luftströmung bilden, in denen sich leicht Partikel ansammeln können. Orte mit hohen Windgeschwindigkeiten können zu Luftströmungsstörungen führen, die sich auf die Waferoberfläche oder die Prozessausrüstung auswirken.
Daher achten Waferfabriken besonders auf die Gleichmäßigkeit der FFU-Windgeschwindigkeit und nicht nur auf die durchschnittliche Windgeschwindigkeit auf der Windoberfläche. Aili Industrial verfügt über umfassende Produktionskapazitäten für komplette FFU-Maschinen und die Unterstützung von Halbleiterprojekten und kann Luftversorgungslösungen entsprechend den Luftstromanforderungen der Waferfabrik bereitstellen. Den Grundaufbau der FFU-Maschine finden Sie unterAili Industrial FFU-Lüfterfiltereinheit。
Welchen Einfluss hat eine ungleichmäßige Windgeschwindigkeit auf die Partikelkontrolle?
Fab-Reinräume nutzen in der Regel eine unidirektionale oder gemischte Luftströmungsorganisation. Saubere Luft wird von der FFU ausgesandt, strömt durch den Waferbereich und wird über den Rückluftweg abgegeben. Bei gleichmäßiger Windgeschwindigkeit kann der Luftstrom die Partikel gleichmäßig in Richtung des Rückluftpfads befördern. Bei ungleichmäßiger Windgeschwindigkeit kann es in lokal strömungsschwachen Gebieten zu Partikelrückhaltung kommen.
Die Partikelrückhaltung kann die Sauberkeit der Waferoberfläche beeinträchtigen. Bei Prozessen wie Fotolithografie, Ätzen und Filmabscheidung kann eine Partikelverunreinigung die Mustergenauigkeit oder die Filmqualität beeinträchtigen. Daher wirkt sich die Gleichmäßigkeit der Windgeschwindigkeit direkt auf den Partikelkontrolleffekt aus.
Welchen Einfluss hat eine ungleichmäßige Windgeschwindigkeit auf die Luftströmungsorganisation?
Ungleichmäßige Windgeschwindigkeiten können die Richtung des Luftstroms ändern. Bei hohen lokalen Windgeschwindigkeiten kann es zu einer Ablenkung des Luftstroms oder zur Bildung von Wirbeln kommen. Wenn die lokale Windgeschwindigkeit niedrig ist, kann die umgebende Luftströmung diese ergänzen und eine Querströmung bilden. Diese Änderungen können das unidirektionale oder laminare Strömungsregime des Designs zerstören.
In einer Fabrik wird die Organisation des Luftstroms häufig mit der Prozessausrüstung, der Deckenanordnung und den Rückluftwegen koordiniert. Wenn die FFU-Windgeschwindigkeit ungleichmäßig ist, kann sich der ursprünglich geplante Luftstrompfad ändern, was sich auf die Sauberkeit des örtlichen Bereichs auswirkt.
Welchen Einfluss hat eine ungleichmäßige Windgeschwindigkeit auf den Waferschutz?
Wafer können während des Herstellungsprozesses einem Luftstrom ausgesetzt sein. Eine zu hohe Windgeschwindigkeit kann zur Bewegung von Partikeln auf der Waferoberfläche oder zur Beeinträchtigung der Fotolackbeschichtung führen. Bei zu geringer Windgeschwindigkeit kann es zur Ablagerung von Partikeln auf der Waferoberfläche kommen.
Für Präzisionsprozesse ist die Gleichmäßigkeit der Luftgeschwindigkeit wichtiger als nur die Erhöhung der Luftgeschwindigkeit. Ein gleichmäßiger Luftstrom kann die Waferoberfläche stabil schützen, ohne Störungen zu verursachen.
Welche Faktoren beeinflussen die Gleichmäßigkeit der FFU-Windgeschwindigkeit?
Zu den Faktoren, die die Gleichmäßigkeit der FFU-Windgeschwindigkeit beeinflussen, gehören: Filterfaltstruktur und Installationsstatus; Ventilator- und Box-Luftkanaldesign; Schutznetz oder Umleitungsstruktur für die Luftauslassoberfläche; Spleißmethode mehrerer FFUs; Deckenstruktur und Lampenposition; Rückluftweg und Raumluftstrom.
Wenn der Filter nicht installiert oder ungleichmäßig abgedichtet ist, kann die Luftgeschwindigkeit an der Auslassoberfläche ungleichmäßig verteilt sein. Wenn Ventilator und Gehäuse nicht gut aufeinander abgestimmt sind, kann die örtliche Windgeschwindigkeit zu hoch oder zu niedrig sein. Wenn beim Spleißen mehrerer FFUs Lücken vorhanden sind, können an den Grenzen Schwachstellen auftreten.
So legen Sie Messpunkte fest
Um die Gleichmäßigkeit der FFU-Windgeschwindigkeit zu überprüfen, müssen Messpunkte festgelegt werden. Die Messpunkte sollten nicht nur in der Mitte der FFU angeordnet sein, sondern auch die Kanten der Luftauslassoberfläche, die Spleißgrenzen mehrerer FFUs und Schlüsselbereiche des Wafers abdecken.
Die Höhe des Messpunkts sollte mit der Position des Wafers übereinstimmen und nicht nur die Windoberfläche messen. Die Anzahl und Verteilung der Messpunkte sollte die tatsächliche Windgeschwindigkeitsverteilung widerspiegeln. Bezüglich des Ausdrucks der Gleichmäßigkeit der Windgeschwindigkeit können Sie sich auf Folgendes beziehen:Wie drückt die FFU-Windgeschwindigkeitsgleichmäßigkeit den Lösungspunkt und die Abweichungsberechnungsmethode aus?
Wie man mit Kontrollmethoden zusammenarbeitet
Die FFU der Waferfabrik ist in der Regel an das Gruppensteuerungssystem angeschlossen und kann zonenweise angepasst werden. Wenn die Windgeschwindigkeit in einigen Gebieten niedrig ist, kann die FFU-Geschwindigkeit in diesem Gebiet entsprechend erhöht werden. Sollte die Windgeschwindigkeit gebietsweise hoch sein, kann diese entsprechend reduziert werden. Durch die Zonenregelung können lokale Abweichungen der Windgeschwindigkeit verringert werden.
Wenn das Projekt verwendetFFU/EFU-Gruppensteuerung, Touchscreen-Controller oderDas FFU-Computergruppensteuerungssystem kann bestätigen, ob das System die Zoneneinstellung und die Rückmeldung der Windgeschwindigkeit unterstützt. Aili Industrial verfügt über vollständige Selbstforschungskapazitäten für FFU-Steuerungssysteme und kann Steuerungslösungen entsprechend den Zonensteuerungsanforderungen der Fabrik bereitstellen.
Probleme, die im Rahmen der Projektkommunikation vorab bestätigt werden sollten
Während der FFU-Auswahl- und Debugging-Phase der Fabrik wird empfohlen, Folgendes mit dem FFU-Hersteller und -Designer zu bestätigen: Zielreinheitsgrad und Luftstromform; Anforderungen an die Gleichmäßigkeit der Windgeschwindigkeit; Messstellenanordnung und Messmethode; FFU-Menge und -Anordnung; Deckenstruktur und Lampenposition; Rückluftweg; Kontrollmethode; Debugging- und Verifizierungsmethode.
Wenn Sie eine FFU-Lösung für Ihre Fabrik planen, können Sie uns besuchenAili Industrial FFU-Lüfterfiltereinheit beziehenUm mehr über die komplette Maschinenkonfiguration zu erfahren, können Sie sich auch auf die FFU ist mit einem ultrahocheffizienten ULPA-Filter ausgestattet, um mehr über die Filterkonfiguration zu erfahren, oder wenden Sie sich an Aili Industrial, um Unterstützung bei der Luftversorgung für Halbleiterprojekte zu erhalten.
abschließend
Waferfabriken legen besonderen Wert auf die Gleichmäßigkeit der FFU-Windgeschwindigkeit, da Abweichungen der Windgeschwindigkeit die Partikelkontrolle, die Luftstromorganisation und den Waferschutz beeinträchtigen können. Eine ungleichmäßige Windgeschwindigkeit kann zu lokaler Partikelansammlung oder Störungen des Luftstroms führen und die Prozessausbeute beeinträchtigen. Die Festlegung von Messpunkten, die Kontrolle der Zoneneinteilung und die Überprüfung der Fehlerbehebung sind die wichtigsten Verbindungen zur Bestätigung der Gleichmäßigkeit der Windgeschwindigkeit.
Aili Industrial verfügt über umfassende Produktionskapazitäten für komplette FFU-Maschinen und die Unterstützung von Halbleiterprojekten und kann Luftversorgungslösungen entsprechend den Luftstromanforderungen der Waferfabrik bereitstellen. Wenn Sie mehr über die Fab-FFU-Konfiguration erfahren möchten, können Sie hier vorbeischauenAili Industrial FFU-Lüfterfiltereinheit , Sie können sich auch gerne an Aili Industrial wenden, um Projektunterstützung zu erhalten.
