L'enquête AMC sur l'alimentation en air autour de l'équipement de gravure doit être basée sur les matériaux pertinents, le fonctionnement de l'équipement, les zones adjacentes et les sources d'air frais externes. Tous les gaz ne peuvent pas être déduits sur la base du nom du processus de gravure, et l’alimentation en air propre ne peut pas non plus être utilisée pour remplacer le contrôle des gaz d’échappement du processus. L'air d'appoint est un moyen de protection et non un moyen de traitement des émissions.

Distinguer d'abord l'alimentation en air et l'évacuation du processus

La fonction de l'air supplémentaire autour de l'équipement de gravure est de maintenir l'état de l'air du microenvironnement ou de la zone d'exploitation de l'équipement, tandis que l'échappement du processus nécessite des systèmes d'échappement et de traitement spéciaux. Les deux sont souvent évoqués ensemble. La section filtre du système d’air d’appoint gère l’air ambiant entrant dans les environs de l’équipement. Les gaz d'échappement générés par le processus doivent être évacués par le tuyau d'échappement et ne doivent pas être « dilués » en s'appuyant sur la filtration de l'air d'appoint. Si l'air évacué est insuffisant ou si les mesures d'étanchéité ne sont pas en place, le gaz de processus peut pénétrer dans la zone d'air supplémentaire. Dans ce cas, le problème des gaz d’échappement doit être traité en premier au lieu de renforcer la filtration supplémentaire de l’air. Distinguer ces deux systèmes est la condition préalable pour rechercher la source de l’AMC.

AMC externe que l’air supplémentaire peut apporter

Si l'air supplémentaire est de l'air frais ou provient d'une zone adjacente, de l'AMC externe peut être amené dans les environs de l'équipement. Les sources comprennent les gaz acides et les émissions organiques dans l'air extérieur, les substances volatiles provenant des processus humides ou des zones de nettoyage adjacentes, ainsi que d'autres rejets de processus transportés par les systèmes de retour d'air. L'emplacement et la configuration du support de la section du filtre à air d'appoint doivent être conçus pour ces sources externes. Si l’entrée d’air d’appoint est proche de la sortie d’échappement ou de la source de pollution, la charge peut être plus élevée. Au cours de l'enquête, l'emplacement de la prise d'air et l'environnement environnant doivent être enregistrés pour déterminer la proportion d'apport externe dans la charge totale. Concernant la méthode de distinction des pollutions externes et internes, veuillez vous référer àComment distinguer si la pollution d’un atelier vient de l’extérieur ou de l’intérieur ?。

Les opérations d’équipement et les rejets de matières sont une autre source

Les opérations de maintenance de l'équipement de gravure lui-même, d'ouverture de la chambre, de remplacement des consommables et de stockage des matériaux périphériques peuvent provoquer des rejets de courte durée. Ces rejets se produisent à proximité des équipements, contrairement aux apports extérieurs d'air d'appoint, et peuvent être concentrés lors de périodes spécifiques d'exploitation. Si la section de filtre à air d'appoint est située en amont de l'équipement et que le rejet se produit en aval, la section de filtre ne couvrira pas cette partie de la pollution. Au cours de l'enquête, les enregistrements de fonctionnement de l'équipement et la période d'apparition de l'odeur ou de la concentration doivent être combinés pour déterminer la contribution du rejet interne. Concernant la configuration du filtrage du microenvironnement côté appareil, veuillez vous référer àComment la filtration chimique des entrées d’air EFEM répond-elle aux exigences de propreté des équipements ?。

Les régions adjacentes et la propagation entre régions ne peuvent être ignorées

La périphérie des équipements de gravure est souvent adjacente à d’autres processus. Le brouillard acide, les gaz alcalins ou les rejets organiques provenant des zones adjacentes peuvent pénétrer par les portes, les interstices ou l'air de reprise partagé. Les chemins de propagation de ces sources sont différents de ceux des systèmes d’air d’appoint, et la configuration de filtrage doit couvrir le chemin d’air réel. Si la transmission interrégionale est évidente, il peut être plus direct d'améliorer les cloisons, les différences de pression ou l'échappement local que d'ajouter des sections de filtre à air supplémentaires. Au cours de l'enquête, les changements de concentration et de période autour de l'équipement et des zones adjacentes doivent être comparés pour confirmer la trajectoire dominante.

Équipement de support industriel Aili

Pour l'ensemble de filtration de l'air supplémentaire autour de l'équipement de gravure, nous recommandons généralement aux clients d'examiner d'abord séparément l'entrée externe, le rejet de l'équipement et la transmission dans la zone adjacente, puis de déterminer si la section de filtre doit être placée à l'entrée d'air supplémentaire, à la section de circulation ou à un emplacement local à l'extrémité de l'équipement. Aili Industry peut fournir des packages de sélection pour les produits de filtration chimique de type boîte, plaque plate et type V. Pour les packages MAU de type boîte, veuillez vous référer àFiltre chimique de type boîte MAU , la série de produits peut être consultéeGamme de produits de filtres chimiques . Les applications côté appareil peuvent utiliserFiltre chimique forme FFU , couche d'adsorption chimique intégrée avecFiltration de particules par filtre HEPA/ULPA , la section d'alimentation en air locale peut être configurée en fonction de l'espace de l'équipement et du gaz cible. L'activité fabrication couvre la R&D indépendante et la production de moteurs et de ventilateurs, de systèmes de contrôle, de tôlerie et d'assemblage complet de machines. Le chemin d'alimentation en air, la position de la section du filtre et le point de fonctionnement du ventilateur peuvent être vérifiés dans le même package, et les structures non standard peuvent être ajustées en fonction de la disposition de l'équipement. L'effet spécifique du gaz, l'environnement applicable et le cycle de remplacement doivent encore être vérifiés sur la base des données de configuration correspondantes et des conditions de travail sur site. Les résultats réels sont soumis aux résultats de la détection des fuites et des gaz sur site.

Questions et réponses connexes

L'équipement de gravure est équipé d'un filtre chimique pour l'alimentation en air. Les rejets du procédé doivent-ils encore être traités ?
besoin. La filtration supplémentaire de l'air traite l'air ambiant entrant dans l'environnement de l'équipement. Les gaz d'échappement du procédé doivent être traités séparément via les systèmes d'échappement et de traitement. Les deux ne peuvent pas se remplacer.

L'emplacement de la prise d'air supplémentaire a-t-il un impact sur l'AMC ?
influent. Lorsque l’entrée d’air est proche de la sortie d’échappement ou de la source de pollution, la charge peut être plus élevée. Au cours de l'enquête, l'emplacement de la prise d'air et l'environnement environnant doivent être enregistrés.

Aili Industrial peut-il vous aider dans la sélection d'une filtration d'air supplémentaire pour la zone de gravure ?
L'emplacement de la section du filtre et la forme du produit peuvent être vérifiés en fonction du chemin d'alimentation en air, du gaz cible et de l'espace de l'équipement. Le plan spécifique doit être confirmé sur la base des données du produit et des conditions de travail sur site.

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