Comment l'ULPA contrôle-t-elle la libération de matériaux lors du dépôt de couches minces et de la fabrication d'écrans ?

Dépôt et contrôle de couches minces dans la fabrication d'écransL'essentiel de la libération du matériau filtrant ULPA consiste à démonter le filtre en trois composants : le matériau filtrant, le mastic et l'adhésif thermofusible pour un contrôle séparé. Vous ne pouvez pas simplement regarder le type de matériau filtrant. Les rejets organiques du matériau filtrant PTFE sont en effet très faibles, mais les mastics et adhésifs thermofusibles sont les principales sources de pollution ionique et organique. Des conditions de température ou d’humidité élevées augmenteront encore davantage le rejet. L'intérieur de l'équipement de dépôt de couches minces et la cavité de fabrication du panneau d'affichage sont sensibles à la contamination moléculaire. En tant que filtre terminal, l'ULPA elle-même peut devenir une source de pollution secondaire pour l'AMC. Le contrôle du dégazage lors de la sélection ne peut pas s'arrêter au niveau du matériau filtrant. Couverture de la gamme de produits d'Aili IndustrialFiltres HEPA/ULPA etUnité de filtre de ventilateur côté équipement EFU，Les filtres PTFE HEPA/ULPA peuvent évaluer les matériaux filtrants en fonction des exigences de faible dégazage, et les données de dégazage des matériaux d'étanchéité et des adhésifs thermofusibles peuvent être confirmées par les données du produit.

1. Regardez d’abord d’où vient le rejet : chacun des trois composants gère un type de pollution.

Le filtre ULPA de l'EFU des équipements semi-conducteurs se compose de trois parties : un matériau filtrant, un produit d'étanchéité et un adhésif thermofusible, qui sont tous trois des sources potentielles d'AMC.-4-10

La libération totale d'ions la plus élevée provenait du produit d'étanchéité (22,43 ppbw) et la plus faible provenait du matériau filtrant (9,10 ppbw). Les catalyseurs et additifs restant pendant le processus de durcissement des mastics contribuent largement à la contamination ionique.

En termes de libération organique, la libération organique du matériau filtrant PTFE est presque indétectable dans des conditions standard et sévères, mais la libération organique des produits d'étanchéité et des adhésifs thermofusibles peut atteindre 621 ppbw. Les mastics libèrent principalement des esters à point d'ébullition élevé en C₄-C₈, tandis que les adhésifs thermofusibles libèrent des fragments de cire de polyoléfine en C₈-C₁₆.-15

Parmi les rejets de métaux, le bore et le sodium sont les deux contaminants les plus sensibles au rendement des semi-conducteurs. Le mastic présente la libération totale de métaux la plus élevée (20,29 ppbw), à laquelle le sodium contribue de manière significative. La libération de bore du matériau filtrant augmente de 0,84 ppbw à 2,41 ppbw dans des conditions de température élevée, ce qui indique que la température accélérera la diffusion. La relation entre les niveaux et les exigences de filtrage peut être trouvée dansComparaison du niveau de propreté ISO。-15

2. L'humidité est un facteur d'accélération et le dépôt du film et la fabrication de l'écran doivent être contrôlés séparément.

Dans des conditions d'humidité élevée (90 % HR), la quantité d'ions libérés par le matériau filtrant augmentera de 4,88 fois, confirmant que l'adsorption d'humidité est le principal facteur d'accélération de la libération d'ions. S'il y a des fluctuations d'humidité à l'intérieur de l'équipement de dépôt de couches minces (telles que l'ouverture et la fermeture de la chambre, la récupération après maintenance), la libération d'ions d'ULPA peut augmenter pendant une courte période. Si l’ULPA est exposé à une humidité élevée à proximité de processus humides lors de la fabrication, cet impact doit également être évalué.-4-10

L'industrie Aili estLors de l'appariement des filtres PTFE HEPA/ULPA , l'adéquation du matériau peut être évaluée en fonction des conditions d'humidité de travail.filtre ULPA pour joint de réservoir de liquide sont confirmés en fonction des conditions environnementales.Le liquide d'étanchéité et le matériau du réservoir du Pour les projets de filtres ULPA non standard , le plan de matériaux peut être vérifié en fonction de la plage de température et d'humidité interne de l'équipement. Pour l'adéquation des matériaux et des conditions de travail, veuillez vous référer àFAQ HEPA et guide de sélection。

3. Méthode de vérification lors de la sélection du modèle : exigez des données basées sur les composants, ne tirez pas de conclusions basées sur les matériaux filtrants

Au niveau du matériau filtrant, le PTFE présente des avantages évidents en termes de libération de matières organiques et convient aux scénarios de dépôt de couches minces et de fabrication d'écrans sensibles aux condensats organiques (AMC-MC). Cependant, le PTFE ne résout pas les problèmes des mastics et des adhésifs thermofusibles, vous ne pouvez donc pas supposer que la libération globale est contrôlable simplement parce que vous choisissez un matériau filtrant en PTFE.

Pour les mastics et les adhésifs thermofusibles, les fournisseurs sont tenus de fournir des données sur les rejets ioniques, organiques et métalliques pour les mastics et les adhésifs thermofusibles, plutôt que uniquement des données sur les médias filtrants. Les mastics à faible dégagement réduisent les contributions organiques et ioniques. Si des processus à haute température sont impliqués dans la fabrication d’écrans, des données sur les rejets dans des conditions à haute température doivent être obtenues. Les données à température normale ne peuvent pas représenter les performances à haute température.

L'industrie Aili estL'ensemble de filtres HEPA/ULPA peut fournir des données sur les rejets de gaz des matériaux filtrants et des matériaux d'étanchéité selon les exigences du projet.Les données sur les matériaux filtrants des filtres PTFE HEPA/ULPA sont fournies séparément, et les données de dégazage des mastics et des adhésifs thermofusibles sont confirmées par modèle. La sélection des matériaux d'étanchéité dans le package EFU côté équipement peut être vérifiée en fonction des conditions environnementales internes de l'équipement. Pour la corrélation entre les données de rejet de gaz et la vérification de la sélection, veuillez vous référer àFAQ et guide de sélection des filtres ultra-haute efficacité ULPA。

4. Considérations particulières dans la fabrication d'écrans : les processus OLED sont plus sensibles à la pollution organique

Le dépôt de couches minces dans la fabrication d'écrans d'affichage est similaire au processus frontal de semi-conducteurs, mais la taille du substrat est plus grande et la méthode de contrôle de l'environnement de la cavité est différente. Dans les processus d'évaporation et d'encapsulation sensibles à la contamination organique dans la fabrication des OLED, la libération du mastic ULPA et de l'adhésif thermofusible doit être évaluée séparément. La logique de sélection est cohérente avec l'EFU côté équipement semi-conducteur : vérifier les données de sortie par composant, et prendre la valeur en fonction des conditions réelles de température et d'humidité. On ne peut pas juger l’ensemble en se basant sur la promotion de matériaux filtrants à faible dégagement.

L'industrie Aili estde l'unité de filtre de ventilateur d'extrémité d'équipement EFU , le plan d'alimentation en air peut être confirmé en fonction de l'espace interne et des conditions de processus de l'équipement affiché.Dans l' ensemble L'EFU ultra-mince configure l'alimentation en air locale dans l'espace compact de l'équipement du panneau.Le système de contrôle du groupe informatique FFU enregistre l'état de fonctionnement à des fins de vérification et de comparaison. Veuillez vous référer à la coopération entre l'alimentation en air de l'équipement et le contrôle des matériaux.FAQ EFU et support technique。

5. Questions et réponses connexes

Si vous choisissez un matériau filtrant en PTFE, vous n’avez pas à vous soucier du dégazage du mastic ?
ne peut pas. Le PTFE résout uniquement les rejets organiques au niveau du matériau filtrant. La libération ionique et organique des mastics et des adhésifs thermofusibles doit encore être confirmée séparément, et les trois doivent être vérifiés séparément.

Les données sur les rejets de gaz à température normale peuvent-elles représenter des conditions de travail à haute température ?
ne peut pas. Une température élevée accélérera la diffusion. La libération de bore du matériau filtrant augmente de 0,84 ppbw à 2,41 ppbw à haute température. La libération organique du mastic augmente d'environ 40 % dans des conditions difficiles. Pour les processus à haute température, des données sur les conditions correspondantes doivent être obtenues.

La logique du choix d’ULPA pour la fabrication d’écrans est-elle la même que celle du frontal à semi-conducteurs ?
La logique de base est la même : vérifier le déclencheur en fonction du composant et prendre la valeur en fonction de la température et de l'humidité réelles. Le processus OLED utilisé dans la fabrication des écrans est sensible à la contamination organique, et les données sur les produits d'étanchéité et les adhésifs thermofusibles doivent particulièrement être confirmées.

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8. Correspondance des produits et support technique d'Aili Industrial

Couverture de la gamme de produits d'Aili IndustrialFiltres HEPA/ULPA etUnité de filtre de ventilateur côté équipement EFU，Les filtres PTFE HEPA/ULPA peuvent évaluer les matériaux filtrants en fonction des exigences de faible dégazage, et les données de dégazage des matériaux d'étanchéité et des adhésifs thermofusibles peuvent être confirmées par les données du produit.Les matériaux correspondant aux filtres PTFE HEPA/ULPA sont évalués en fonction des conditions de travail et des conditions d'humidité.filtre ULPA pour joint de réservoir de liquide sont confirmés en fonction des conditions environnementales.Le liquide d'étanchéité et le matériau du réservoir du Les projets de filtres ULPA non standard vérifient le plan des matériaux en fonction de la plage de température et d'humidité interne de l'équipement.Les ensembles de filtres HEPA/ULPA peuvent fournir des données de dégazage des matériaux filtrants et des matériaux d'étanchéité selon les exigences du projet ;de l'unité de filtre de ventilateur à l'extrémité de l'équipement EFU .Confirmez le plan d'alimentation en air en fonction de l'espace interne et des conditions de processus de l'équipement d'affichage lors de la mise en correspondance L'EFU ultra-mince configure l'alimentation en air locale dans l'espace compact de l'équipement du panneau.Le système de contrôle du groupe informatique FFU enregistre l'état de fonctionnement à des fins de vérification et de comparaison. Fournissez les objectifs du processus, la structure de l'équipement et les conditions de température et d'humidité, et communiquez en outre les données de dégazage des matériaux ULPA et les suggestions de configuration. Les paramètres spécifiques et la plage de test sont basés sur le modèle confirmé et les documents techniques.