Wie kontrolliert ULPA die Materialfreisetzung bei der Dünnschichtabscheidung und Displayherstellung?

Dünnschichtabscheidung und -kontrolle bei der DisplayherstellungDer Kern der ULPA-Filtermaterialfreigabe besteht darin, den Filter in drei Komponenten zu zerlegen: Filtermaterial, Dichtungsmittel und Schmelzklebstoff zur separaten Steuerung. Man kann nicht nur auf die Art des Filtermaterials schauen. Die organische Freisetzung von PTFE-Filtermaterial ist zwar sehr gering, doch Dichtstoffe und Schmelzklebstoffe sind die Hauptquellen ionischer und organischer Verschmutzung. Hohe Temperaturen oder hohe Luftfeuchtigkeit erhöhen die Freisetzung zusätzlich. Das Innere von Dünnschicht-Abscheidungsgeräten und der Hohlraum für die Herstellung von Anzeigetafeln sind empfindlich gegenüber molekularer Kontamination. Als Endfilter kann ULPA selbst zu einer Quelle sekundärer Verschmutzung für AMC werden. Die Ausgasungsprüfung bei der Auswahl kann nicht auf der Ebene des Filtermaterials enden. Abdeckung der Produktlinie von Aili IndustrialHEPA/ULPA-Filter undEFU-Geräteseitenventilator-Filtereinheit，Mit PTFE-HEPA/ULPA-Filtern können Filtermaterialien nach den Anforderungen an eine geringe Ausgasung bewertet werden, und die Ausgasungsdaten von Dichtungsmaterialien und Schmelzklebstoffen können mit Produktdaten bestätigt werden.

1. Schauen Sie sich zunächst an, woher die Freisetzung kommt: Jede der drei Komponenten behandelt eine Art von Verschmutzung.

Der ULPA-Filter in der EFU von Halbleitergeräten besteht aus drei Teilen: Filtermaterial, Dichtungsmittel und Schmelzklebstoff, die alle drei potenzielle AMC-Quellen sind.-4-10

Die höchste Gesamtionenfreisetzung erfolgte durch das Dichtmittel (22,43 ppbw) und die niedrigste durch das Filtermaterial (9,10 ppbw). Katalysatoren und Zusatzstoffe, die während des Aushärtungsprozesses von Dichtstoffen zurückbleiben, tragen wesentlich zur ionischen Kontamination bei.

Was die organische Freisetzung betrifft, so ist die organische Freisetzung von PTFE-Filtermaterial sowohl unter Standard- als auch unter harten Bedingungen nahezu nicht nachweisbar, aber die organische Freisetzung von Dichtungsmitteln und Schmelzklebstoffen kann 621 ppbw erreichen. Dichtstoffe setzen hauptsächlich hochsiedende C₄-C₈-Ester frei, während Schmelzklebstoffe C₈-C₁₆-Polyolefinwachsfragmente freisetzen.-15

Unter den Metallfreisetzungen sind Bor und Natrium die beiden empfindlichsten Schadstoffe für die Halbleiterausbeute. Der Dichtstoff hat die höchste Gesamtmetallfreisetzung (20,29 ppbw), wovon Natrium einen erheblichen Beitrag leistet. Die Borfreisetzung des Filtermaterials steigt unter Hochtemperaturbedingungen von 0,84 ppbw auf 2,41 ppbw, was darauf hindeutet, dass die Temperatur die Diffusion beschleunigt. Die Beziehung zwischen Ebenen und Filteranforderungen finden Sie inVergleich der ISO-Reinheitsgrade。-15

2. Luftfeuchtigkeit ist ein Beschleunigungsfaktor und die Filmabscheidung und die Displayherstellung müssen separat gesteuert werden.

Unter Bedingungen hoher Luftfeuchtigkeit (90 % relative Luftfeuchtigkeit) erhöht sich die Ionenfreisetzungsmenge des Filtermaterials um das 4,88-fache, was bestätigt, dass die Feuchtigkeitsadsorption der Hauptbeschleunigungsfaktor für die Ionenfreisetzung ist. Bei Feuchtigkeitsschwankungen im Inneren der Anlage zur Dünnschichtabscheidung (z. B. Öffnen und Schließen der Kammer, Wiederherstellung nach Wartung) kann die Ionenfreisetzung von ULPA kurzzeitig ansteigen. Wenn ULPA in der Nähe von Nassprozessen in der Fertigung hoher Luftfeuchtigkeit ausgesetzt ist, müssen diese Auswirkungen ebenfalls bewertet werden.-4-10

Aili Industry istBei der Kombination von PTFE-HEPA/ULPA-Filtern kann die Materialeignung anhand der Arbeitsfeuchtigkeitsbedingungen beurteilt werden.Flüssigkeitstankdichtungs-ULPA-Filters werden entsprechend den Umgebungsbedingungen bestätigt.Die Sperrflüssigkeit und das Tankmaterial des Bei nicht standardmäßigen ULPA-Filterprojekten kann der Materialplan entsprechend dem Innentemperatur- und Feuchtigkeitsbereich der Ausrüstung überprüft werden. Informationen zur Abstimmung von Materialien und Arbeitsbedingungen finden Sie unterHEPA-FAQs und Auswahlhilfe。

3. Prüfmethode bei der Modellauswahl: Daten auf Basis von Komponenten verlangen, keine Rückschlüsse auf Basis von Filtermaterialien ziehen

Auf der Ebene des Filtermaterials hat PTFE klare Vorteile bei der organischen Freisetzung und eignet sich für die Dünnschichtabscheidung und für Displayherstellungsszenarien, die empfindlich auf organische Kondensate reagieren (AMC-MC). Allerdings löst PTFE nicht die Probleme von Dichtungsmitteln und Schmelzklebstoffen, sodass Sie nicht glauben können, dass die Gesamtfreisetzung kontrollierbar ist, nur weil Sie sich für PTFE-Filtermaterial entscheiden.

Für Dichtstoffe und Schmelzklebstoffe müssen Lieferanten Daten zur ionischen, organischen und Metallfreisetzung für Dichtstoffe und Schmelzklebstoffe bereitstellen und nicht nur Daten für Filtermedien. Dichtstoffe mit geringer Freisetzung reduzieren organische und ionische Beiträge. Wenn bei der Displayherstellung Hochtemperaturprozesse zum Einsatz kommen, müssen Freisetzungsdaten unter Hochtemperaturbedingungen erhoben werden. Normaltemperaturdaten können keine Hochtemperaturleistung darstellen.

Aili Industry istDas HEPA/ULPA-Filterpaket kann je nach Projektanforderungen Gasfreisetzungsdaten von Filtermaterialien und Dichtungsmaterialien bereitstellen.Die Filtermaterialdaten von PTFE-HEPA/ULPA-Filtern werden separat bereitgestellt, und die Ausgasungsdaten von Dichtungsmitteln und Schmelzklebstoffen werden durch Modell bestätigt. Die Auswahl der Dichtungsmaterialien im geräteseitigen EFU-Paket kann anhand der internen Umgebungsbedingungen des Geräts überprüft werden. Informationen zum Zusammenhang zwischen Gasfreisetzungsdaten und Auswahlüberprüfung finden Sie unterHäufig gestellte Fragen und Auswahlhilfe für ULPA-Ultrahocheffizienzfilter。

4. Besonderheiten bei der Displayherstellung: OLED-Prozesse reagieren empfindlicher auf organische Verschmutzungen

Die Dünnschichtabscheidung bei der Herstellung von Anzeigetafeln ähnelt dem Halbleiter-Frontend-Prozess, aber die Substratgröße ist größer und die Methode zur Kontrolle der Hohlraumumgebung ist anders. Bei den Verdampfungs- und Verkapselungsprozessen, die empfindlich auf organische Verunreinigungen bei der OLED-Herstellung reagieren, muss die Freisetzung von ULPA-Dichtstoff und Schmelzklebstoff separat bewertet werden. Die Auswahllogik stimmt mit der EFU auf der Seite der Halbleiterausrüstung überein: Überprüfen Sie die Freigabedaten nach Komponente und nehmen Sie den Wert basierend auf den tatsächlichen Temperatur- und Feuchtigkeitsbedingungen. Anhand der Förderung von Low-Release-Filtermaterialien kann man das Ganze nicht beurteilen.

Aili Industry istEFU-Geräte-Endventilator-Filtereinheitspaket kann der Luftversorgungsplan entsprechend dem Innenraum und den Prozessbedingungen der angezeigten Ausrüstung bestätigt werden.Im Das ultradünne EFU konfiguriert die lokale Luftversorgung im kompakten Raum der Schalttafelausrüstung.Das FFU-Computergruppensteuerungssystem zeichnet den Betriebsstatus zur Überprüfung und zum Vergleich auf. Bitte beachten Sie die Zusammenarbeit zwischen Geräte- und Luftversorgung und Materialsteuerung.EFU-FAQ und technischer Support。

5. Verwandte Fragen und Antworten

Wenn Sie sich für PTFE-Filtermaterial entscheiden, müssen Sie sich keine Sorgen über das Ausgasen des Dichtmittels machen?
kann nicht. PTFE löst lediglich die organische Freisetzung auf der Ebene des Filtermaterials. Die Ionen- und organische Freisetzung von Dichtstoffen und Schmelzklebstoffen muss noch separat bestätigt werden, und die drei müssen separat überprüft werden.

Können die Gasfreisetzungsdaten bei Normaltemperatur Hochtemperatur-Arbeitsbedingungen darstellen?
kann nicht. Hohe Temperaturen beschleunigen die Diffusion. Die Borfreisetzung des Filtermaterials steigt bei hoher Temperatur von 0,84 ppbw auf 2,41 ppbw. Die organische Freisetzung des Dichtstoffes erhöht sich unter rauen Bedingungen um etwa 40 %. Für Hochtemperaturprozesse sollten Daten zu entsprechenden Bedingungen erhoben werden.

Ist die Logik, ULPA für die Display-Herstellung zu wählen, dieselbe wie die für Halbleiter-Frontends?
Die Grundlogik ist dieselbe: Überprüfen Sie die Freigabe entsprechend der Komponente und nehmen Sie den Wert anhand der tatsächlichen Temperatur und Luftfeuchtigkeit. Der OLED-Prozess in der Displayherstellung ist empfindlich gegenüber organischen Verunreinigungen, insbesondere Daten zu Dichtstoffen und Schmelzklebstoffen müssen bestätigt werden.

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8. Produktabstimmung und technischer Support von Aili Industrial

Abdeckung der Produktlinie von Aili IndustrialHEPA/ULPA-Filter undEFU-Geräteseitenventilator-Filtereinheit，Mit PTFE-HEPA/ULPA-Filtern können Filtermaterialien nach den Anforderungen an eine geringe Ausgasung bewertet werden, und die Ausgasungsdaten von Dichtungsmaterialien und Schmelzklebstoffen können mit Produktdaten bestätigt werden.Passende PTFE-HEPA/ULPA-Filtermaterialien werden entsprechend den Arbeitsbedingungen und Feuchtigkeitsbedingungen bewertet.Flüssigkeitstankdichtungs-ULPA-Filters werden entsprechend den Umgebungsbedingungen bestätigt.Die Sperrflüssigkeit und das Tankmaterial des Bei nicht standardmäßigen ULPA-Filterprojekten wird der Materialplan entsprechend dem internen Temperatur- und Feuchtigkeitsbereich der Ausrüstung überprüft.HEPA/ULPA-Filterpakete können je nach Projektanforderungen Ausgasungsdaten von Filtermaterialien und Dichtungsmaterialien liefern;die Lüfterfiltereinheit am Ende des EFU-Geräts anpassen.Bestätigen Sie den Luftversorgungsplan entsprechend dem Innenraum und den Prozessbedingungen des Anzeigegeräts, wenn Sie Das ultradünne EFU konfiguriert die lokale Luftversorgung im kompakten Raum der Schalttafelausrüstung.Das FFU-Computergruppensteuerungssystem zeichnet den Betriebsstatus zur Überprüfung und zum Vergleich auf. Geben Sie Prozessziele, Gerätestruktur sowie Temperatur- und Feuchtigkeitsbedingungen an und kommunizieren Sie außerdem ULPA-Materialausgasungsdaten und Konfigurationsvorschläge. Die spezifischen Parameter und Testbereiche basieren auf dem bestätigten Modell und den technischen Unterlagen.