كيف تتحكم ULPA في إطلاق المواد في ترسيب الأغشية الرقيقة وتصنيع شاشات العرض؟

ترسيب الأغشية الرقيقة والتحكم فيها في تصنيع شاشات العرضجوهر إطلاق مادة مرشح ULPA هو تفكيك المرشح إلى ثلاثة مكونات: مادة المرشح، ومانع التسرب، والمواد اللاصقة المذوبة بالحرارة للتحكم المنفصل. لا يمكنك مجرد إلقاء نظرة على نوع مادة التصفية. إن الإطلاق العضوي لمواد مرشح PTFE منخفض جدًا بالفعل، لكن المواد المانعة للتسرب والمواد اللاصقة المذوبة بالحرارة هي المصادر الرئيسية للتلوث الأيوني والعضوي. ستؤدي درجات الحرارة المرتفعة أو ظروف الرطوبة العالية إلى زيادة الإطلاق. الجزء الداخلي من معدات ترسيب الأغشية الرقيقة وتجويف تصنيع لوحة العرض حساس للتلوث الجزيئي. كمرشح طرفي، قد يصبح ULPA نفسه مصدرًا للتلوث الثانوي لـ AMC. لا يمكن أن يتوقف فحص إطلاق الغازات أثناء الاختيار عند مستوى مادة المرشح. تغطية خط إنتاج Aili Industrialمرشحات HEPA/ULPA ووحدة مرشح المروحة الجانبية لمعدات EFU，يمكن لمرشحات PTFE HEPA/ULPA تقييم مواد الترشيح وفقًا لمتطلبات إطلاق الغازات المنخفضة، ويمكن تأكيد بيانات إطلاق الغازات الخاصة بمواد الختم والمواد اللاصقة المذوبة بالحرارة من خلال بيانات المنتج.

1. أولاً، انظر إلى مصدر الإطلاق: كل مكون من المكونات الثلاثة يتعامل مع نوع من التلوث.

يتكون مرشح ULPA في EFU لمعدات أشباه الموصلات من ثلاثة أجزاء: مادة الترشيح، ومانع التسرب، والمواد اللاصقة المذوبة بالحرارة، وجميعها ثلاثة مصادر محتملة لـ AMC.-4-10

أعلى إجمالي إطلاق أيوني كان من المادة المانعة للتسرب (22.43 جزء في المليار) والأدنى من مادة المرشح (9.10 جزء في المليار). تعتبر المحفزات والمواد المضافة المتبقية أثناء عملية معالجة المواد المانعة للتسرب من المساهمين الرئيسيين في التلوث الأيوني.

فيما يتعلق بالإطلاق العضوي، فإن الإطلاق العضوي لمواد مرشح PTFE قريب من عدم اكتشافه في كل من الظروف القياسية والقاسية، ولكن الإطلاق العضوي للمواد المانعة للتسرب والمواد اللاصقة المذوبة بالحرارة يمكن أن يصل إلى 621 جزء في المليار. تطلق المواد المانعة للتسرب بشكل رئيسي استرات C₄-C₈ ذات درجة غليان عالية، بينما تطلق المواد اللاصقة المذوبة بالحرارة أجزاء شمع البولي أوليفين C₈-C₁₆.-15

من بين إطلاقات المعادن، يعد البورون والصوديوم من أكثر الملوثات حساسية لإنتاج أشباه الموصلات. يحتوي مانع التسرب على أعلى إطلاق معدني إجمالي (20.29 جزء في المليار)، والذي يساهم فيه الصوديوم بشكل كبير. يزداد إطلاق البورون لمادة الترشيح من 0.84 جزء في المليار إلى 2.41 جزء في المليار في ظل ظروف درجة الحرارة المرتفعة، مما يشير إلى أن درجة الحرارة سوف تسرع الانتشار. يمكن العثور على العلاقة بين المستويات ومتطلبات التصفية فيمقارنة مستوى النظافة ISO。-15

2. الرطوبة هي عامل تسارع، ويجب التحكم في ترسيب الأفلام وتصنيع شاشات العرض بشكل منفصل.

في ظل ظروف الرطوبة العالية (90% رطوبة نسبية)، ستزيد كمية إطلاق الأيونات من مادة المرشح بمقدار 4.88 مرة، مما يؤكد أن امتصاص الرطوبة هو عامل التسارع الرئيسي لإطلاق الأيونات. إذا كانت هناك تقلبات في الرطوبة داخل معدات ترسيب الأغشية الرقيقة (مثل فتح وإغلاق الغرفة، والاسترداد بعد الصيانة)، فقد يزداد إطلاق الأيونات لـ ULPA لفترة قصيرة. إذا تعرضت ULPA لرطوبة عالية بالقرب من العمليات الرطبة في التصنيع، فيجب أيضًا تقييم هذا التأثير.-4-10

صناعة ايلي هيعند مطابقة مرشحات PTFE HEPA/ULPA ، يمكن تقييم مدى ملاءمة المواد بناءً على ظروف رطوبة العمل.يتم تأكيد لمرشح ULPA لختم الخزان السائل وفقًا للظروف البيئية.سائل الختم ومواد الخزان بالنسبة لمشروعات مرشح ULPA غير القياسية ، يمكن التحقق من خطة المواد وفقًا لنطاق درجة الحرارة والرطوبة الداخلي للمعدات. لمطابقة المواد وظروف العمل، يرجى الرجوع إلىالأسئلة الشائعة حول HEPA ودليل الاختيار。

3. طريقة التحقق أثناء اختيار النموذج: اطلب البيانات بناءً على المكونات، ولا تستخلص استنتاجات بناءً على مواد الترشيح

على مستوى مادة الترشيح، يتمتع PTFE بمزايا واضحة في الإطلاق العضوي وهو مناسب لترسيب الأغشية الرقيقة وسيناريوهات تصنيع شاشات العرض الحساسة للمكثفات العضوية (AMC-MC). ومع ذلك، فإن PTFE لا يحل مشاكل المواد المانعة للتسرب والمواد اللاصقة المذوبة بالحرارة، لذلك لا يمكنك أن تعتقد أن الإصدار الإجمالي يمكن التحكم فيه فقط لأنك اخترت مادة مرشح PTFE.

بالنسبة للمواد المانعة للتسرب والمواد اللاصقة المذوبة بالحرارة، يُطلب من الموردين تقديم بيانات الإطلاق الأيونية والعضوية والمعدنية للمواد المانعة للتسرب والمواد اللاصقة المذوبة بالحرارة، بدلاً من بيانات وسائط الترشيح فقط. تقلل المواد المانعة للتسرب منخفضة الإطلاق من المساهمات العضوية والأيونية. إذا كانت هناك عمليات ذات درجات حرارة عالية في تصنيع شاشات العرض، فيجب الحصول على بيانات الإصدار في ظل ظروف درجات الحرارة المرتفعة. لا يمكن أن تمثل بيانات درجة الحرارة العادية الأداء في درجات الحرارة المرتفعة.

صناعة ايلي هييمكن أن توفر حزمة مرشح HEPA/ULPA بيانات إطلاق الغاز لمواد الترشيح ومواد الختم وفقًا لمتطلبات المشروع.يتم توفير بيانات مادة المرشح لمرشحات PTFE HEPA/ULPA بشكل منفصل، ويتم تأكيد بيانات إطلاق الغازات الخاصة بمانعات التسرب والمواد اللاصقة المذوبة بالحرارة حسب النموذج. يمكن التحقق من اختيار مواد الختم في حزمة EFU من جانب المعدات وفقًا للظروف البيئية الداخلية للمعدات. لمعرفة العلاقة بين بيانات إطلاق الغاز والتحقق من الاختيار، يرجى الرجوع إلىالأسئلة الشائعة حول مرشح ULPA عالي الكفاءة ودليل الاختيار。

4. اعتبارات خاصة في تصنيع شاشات العرض: عمليات OLED أكثر حساسية للتلوث العضوي

يشبه ترسيب الأغشية الرقيقة في تصنيع لوحة العرض عملية الواجهة الأمامية لأشباه الموصلات، ولكن حجم الركيزة أكبر وطريقة التحكم في بيئة التجويف مختلفة. في عمليات التبخر والتغليف الحساسة للتلوث العضوي في تصنيع OLED، يجب تقييم إطلاق مادة مانعة للتسرب ULPA والمواد اللاصقة المذوبة بالحرارة بشكل منفصل. يتوافق منطق الاختيار مع EFU على جانب معدات أشباه الموصلات: تحقق من بيانات الإصدار حسب المكون، وخذ القيمة بناءً على ظروف درجة الحرارة والرطوبة الفعلية. لا يمكنك الحكم على الكل بناءً على الترويج لمواد التصفية منخفضة الإطلاق.

صناعة ايلي هيوحدة مرشح المروحة الطرفية لمعدات EFU ، يمكن تأكيد خطة إمداد الهواء وفقًا للمساحة الداخلية وظروف العملية للمعدات المعروضة.في حزمة تعمل وحدة EFU فائقة النحافة على تكوين إمداد الهواء المحلي في المساحة المدمجة لمعدات اللوحة.يسجل نظام التحكم في مجموعة الكمبيوتر FFU حالة التشغيل للتحقق والمقارنة. يرجى الرجوع إلى التعاون بين إمدادات الهواء النهائي للمعدات ومراقبة المواد.الأسئلة الشائعة حول EFU والدعم الفني。

5. الأسئلة والأجوبة ذات الصلة

إذا اخترت مادة مرشح PTFE، فلا داعي للقلق بشأن إطلاق الغازات المانعة للتسرب؟
لا أستطيع. يحل PTFE فقط الإطلاق العضوي على مستوى مادة الترشيح. لا يزال هناك حاجة إلى تأكيد الإطلاق الأيوني والعضوي للمواد المانعة للتسرب والمواد اللاصقة المذوبة بالحرارة بشكل منفصل، ويجب فحص الثلاثة بشكل منفصل.

هل يمكن لبيانات إطلاق الغاز عند درجة الحرارة العادية أن تمثل ظروف العمل ذات درجة الحرارة المرتفعة؟
لا أستطيع. ارتفاع درجة الحرارة سوف يسرع الانتشار. يزداد إطلاق البورون لمادة الترشيح من 0.84 جزء في المليار إلى 2.41 جزء في المليار تحت درجة حرارة عالية. يزداد الإطلاق العضوي للمادة المانعة للتسرب بحوالي 40% في ظل الظروف القاسية. وبالنسبة للعمليات ذات درجات الحرارة المرتفعة، ينبغي الحصول على بيانات عن الظروف المقابلة.

هل منطق اختيار ULPA لتصنيع شاشات العرض هو نفس منطق الواجهة الأمامية لأشباه الموصلات؟
المنطق الأساسي هو نفسه: تحقق من الإصدار وفقًا للمكون، وخذ القيمة وفقًا لدرجة الحرارة والرطوبة الفعلية. تعتبر عملية OLED في تصنيع شاشات العرض حساسة للتلوث العضوي، ويجب تأكيد البيانات المتعلقة بموانع التسرب والمواد اللاصقة المذوبة بالحرارة بشكل خاص.

6. المقالات ذات الصلة

الأسئلة الشائعة حول مرشح ULPA عالي الكفاءة ودليل الاختيار

PTFE HEPA/ULPA مرشح عالي الكفاءة

EFU فائق النحافة

الأسئلة الشائعة حول HEPA ودليل الاختيار

7. النقاط الرئيسية لفحص الاختيار والقبول

8. مطابقة المنتج والدعم الفني من Aili Industrial

تغطية خط إنتاج Aili Industrialمرشحات HEPA/ULPA ووحدة مرشح المروحة الجانبية لمعدات EFU，يمكن لمرشحات PTFE HEPA/ULPA تقييم مواد الترشيح وفقًا لمتطلبات إطلاق الغازات المنخفضة، ويمكن تأكيد بيانات إطلاق الغازات الخاصة بمواد الختم والمواد اللاصقة المذوبة بالحرارة من خلال بيانات المنتج.يتم تقييم المواد المطابقة لمرشح PTFE HEPA/ULPA وفقًا لظروف العمل وظروف الرطوبة.يتم تأكيد لمرشح ULPA لختم الخزان السائل وفقًا للظروف البيئية.سائل الختم ومواد الخزان تقوم مشاريع مرشح ULPA غير القياسية بفحص خطة المواد وفقًا لنطاق درجة الحرارة والرطوبة الداخلي للمعدات.يمكن لحزم مرشح HEPA/ULPA توفير بيانات إطلاق الغازات لمواد الترشيح ومواد الختم وفقًا لمتطلبات المشروع؛وحدة مرشح المروحة في نهاية جهاز EFU .قم بتأكيد خطة إمداد الهواء وفقًا للمساحة الداخلية وظروف المعالجة لجهاز العرض عند مطابقة تعمل وحدة EFU فائقة النحافة على تكوين إمداد الهواء المحلي في المساحة المدمجة لمعدات اللوحة.يسجل نظام التحكم في مجموعة الكمبيوتر FFU حالة التشغيل للتحقق والمقارنة. توفير أهداف العملية، وهيكل المعدات وظروف درجة الحرارة والرطوبة، ومواصلة توصيل بيانات إطلاق الغازات الخاصة بمواد ULPA واقتراحات التكوين. تعتمد المعلمات المحددة ونطاق الاختبار على النموذج المؤكد والوثائق الفنية.