كيفية اختيار U15 أو U16 لـ EFEM؟ التحقق من حجم الهواء في منطقة الرقاقة والتوحيد

يجب تأكيد اختيار EFEM لـ U15 أو U16 بناءً على أهداف العملية ومعايير الاختبار وتوزيع حجم الهواء والمقاومة ومتطلبات المواد. لا تعني الدرجة الأعلى أن أداء منطقة الرقاقة بأكملها سيتحسن بالضرورة. يكمن الفرق بين U15 وU16 في مستوى الكفاءة، ولكن أداء EFEM في منطقة الرقاقة لا يعتمد فقط على مستوى المرشح - توحيد إمداد الهواء، وما إذا كان حجم الهواء كافيًا، واستقرار تدفق الهواء عندما تكون الآلية قيد التشغيل، وإطلاق الغازات من المواد. تحدد هذه العوامل معًا ما إذا كانت الرقاقة محمية أثناء عملية النقل. إذا تم تحديد مستوى أعلى بمقدار مستوى واحد، فستزيد المقاومة وقد ينخفض ​​حجم الهواء. إذا لم يكن لدى النظام الهامش المقابل، فقد يؤثر ذلك على أداء منطقة الرقاقة. صناعة ايلي هييمكن لوحدة مرشح المروحة الموجودة في نهاية معدات EFU أن تتطابق مع تكوين الدرجة والمروحة وفقًا لمتطلبات حجم الهواء وظروف المساحة الخاصة بـ EFEM.يوفر مرشح ULPA عالي الكفاءة تروس U15/U16.يمكن تكوين نماذج EFU فائقة الرقة وصغيرة الحجم وفقًا لهيكل EFEM.

1. قم أولاً بتوضيح متطلبات المعدات: أهداف منطقة الرقاقة وحالة التشغيل وظروف عودة الهواء

قم بإدراج أهداف الجسيمات، وحالة الناقل والباب، والإجراءات الميكانيكية، والهواء العائد وهواء العادم في منطقة الرقاقة، وتأكد من موضع الاختبار ووضع التشغيل.

قبل اختيار U15 أو U16، يجب عليك أولاً توضيح ما يحتاج EFEM إلى تحقيقه. ما هو حجم الجسيمات ومستوى التركيز المستهدف للتحكم في الجسيمات في منطقة الرقاقة، وتحت أي ظروف يتم إجراء الاختبار (ثابت أو ديناميكي)، ومدى تأثير الحركة الميكانيكية وفتح باب الناقل على تدفق الهواء، وما هي ظروف العودة والعادم - تحدد هذه المدخلات متطلبات المستوى ومتطلبات حجم الهواء. صناعة ايلي هيمرشحات HEPA/ULPA، تأكد من الترس وفقًا لحجم الجسيمات ونطاق الحماية.عند اختيار عند مطابقة وحدة مرشح المروحة الطرفية لمعدات EFU، تأكد من متطلبات حجم الهواء وفقًا لحالة إجراء EFEM.يمكن لمشاريع مرشح ULPA غير القياسية تأكيد شروط التثبيت وفقًا لهيكل منطقة الرقاقة. يمكن العثور على العلاقة بين المستويات ومتطلبات التصفية فيمقارنة مستوى النظافة ISO。

2. قارن التكوين الكامل: تحقق من عنصر الفلتر والمروحة وواجهة الختم تحت نفس حجم الهواء

تحقق من بيانات عنصر المرشح، وهامش المروحة، والمنطقة الفعالة وواجهة الختم تحت نفس ظروف حجم الهواء، واضبط الحجم أو الهيكل إذا لزم الأمر بدلاً من تغيير الدرجة مباشرة.

يؤدي استبدال U15 بـ U16 إلى تحسين الكفاءة ولكنه عادةً ما يزيد أيضًا من المقاومة. إذا كان هامش المروحة غير كاف وانخفض حجم الهواء، فقد تصبح تغطية تدفق الهواء في منطقة الرقاقة ضعيفة. عند المقارنة، يجب عليك التحقق من نفس حجم الهواء المستهدف: ما هي مقاومة U16 عند حجم الهواء هذا، وما إذا كان يمكن صيانة المروحة الموجودة، وما إذا كانت منطقة الترشيح الفعالة كافية، وما إذا كانت واجهة الختم متوافقة. صناعة ايلي هيعند اختيار مرشح ULPA فائق الكفاءة، يتم توفير بيانات المقاومة لـ U15 وU16 وفقًا لحجم الهواء المستهدف.وحدة مرشح المروحة FFU ويمكن لوحدة مرشح المروحة الموجودة في نهاية معدات EFU فحص نقطة العمل وفقًا لتغير المقاومة.يسجل نظام التحكم بمجموعة الكمبيوتر FFU حجم الهواء ومعلمات التشغيل، ويكون العيار ثابتًا عند المقارنة. يمكن الإشارة إلى العلاقة بين مقاومة المرشح ومطابقة المروحةالأسئلة الشائعة حول HEPA ودليل الاختيار。

3. التحقق من منطقة الرقاقة: حجم الهواء والتوحيد والحماية في ظل العمل الفعلي

تأكد من سلامة التثبيت وتوحيد مخرج الهواء وحدود الحماية في ظل التشغيل الفعلي، وأضف بيانات التحكم في الحركة وبيانات إطلاق المواد حسب الحاجة.

بعد تحديد المستوى، يجب أن يغطي التحقق ثلاثة جوانب: سلامة التثبيت (ما إذا كان الختم بين المرشح والصندوق فعالاً)، وتوحيد مخرج الهواء (ما إذا كان توزيع سرعة الرياح على طول مسار الرقاقة ثابتًا)، والحماية في ظل العمل الفعلي (تركيز الجسيمات في الرقاقة عندما يتحرك الروبوت ويفتح باب الناقل ويغلق). يتم تقييم متطلبات AMC وإطلاق الغازات المادية بشكل فردي من خلال العملية ولا يمكن استنتاجها من تصنيف ULPA. صناعة ايلي هيعند دعم وحدة مرشح المروحة في نهاية معدات EFU ، يمكن تأكيد اتجاه مخرج الهواء وظروف التوحيد وفقًا لهيكل EFEM.يسجل نظام التحكم بمجموعة الكمبيوتر FFU حجم هواء التشغيل وحالة المعدات، والتي يمكن مقارنتها بالإجراءات الفعلية أثناء التحقق؛يمكن تقييم مرشحات PTFE HEPA/ULPA لمتطلبات إطلاق الغازات المنخفضة. لمعرفة طرق التحقق من منطقة الرقاقة، يرجى الرجوع إلىالأسئلة الشائعة حول مرشح ULPA عالي الكفاءة ودليل الاختيار。

4. عندما يكون حجم الهواء لعينة U16 غير كاف بعد التثبيت، يجب إعادة مطابقة الآلة بالكامل.

عندما يكون حجم الهواء لعينة U16 غير كاف بعد التثبيت، يجب إعادة مطابقة الجهاز بأكمله، ولا ينبغي الاحتفاظ بالنتيجة المتمثلة في تأهل كفاءة عنصر المرشح. يعني حجم الهواء غير الكافي انخفاض تغطية تدفق الهواء وقدرات إزالة الجسيمات، وقد لا تلبي الحماية الفعلية لمنطقة الرقاقة التوقعات.

صناعة ايلي هيفي مشروع EFEM لوحدة مرشح المروحة الطرفية لمعدات EFU ، عندما يكون حجم الهواء غير كافٍ بعد الترقية، يتم تقييم خطة التعديل من ثلاثة جوانب: منطقة المرشح وتكوين المروحة وهيكل مخرج الهواء.توفر وحدة مرشح مروحة معدات EFU صغيرة الحجم خيارات تكوين مختلفة عندما تكون المساحة محدودة.يمكن تعديل هيكل مرشحات ULPA غير القياسية وفقًا لمساحة EFEM. يرجى الرجوع إلى طريقة ضبط حجم الهواء بعد الترقية.الأسئلة الشائعة حول EFU والدعم الفني。

5. الأسئلة والأجوبة ذات الصلة

هل U15 ليس بالضرورة مناسبًا لـ EFEM مثل U16؟
تعتمد قابلية التطبيق على مطابقة العملية والنظام، ولا يمكن فرزها حسب أرقام الدرجات فقط.

ماذا علي أن أفعل إذا انخفض حجم الهواء بعد اختيار EFEM لـ U16؟
يجب فحص هامش المروحة ومنطقة الفلتر وتعديلهما من منطقة الفلتر أو تكوين المروحة أو هيكل مخرج الهواء، بدلاً من مجرد الاحتفاظ بمؤشر الكفاءة.

هل يمكن حل متطلبات AMC الخاصة بـ EFEM من خلال درجة ULPA؟
لا أستطيع. ULPA هي المسؤولة عن ترشيح الجسيمات، ويجب تقييم متطلبات AMC وإطلاق الغازات بشكل فردي حسب العملية.

6. المقالات ذات الصلة

الأسئلة الشائعة حول مرشح ULPA عالي الكفاءة ودليل الاختيار

EFU فائق النحافة

وحدة تصفية مروحة معدات EFU صغيرة الحجم

PTFE HEPA/ULPA مرشح عالي الكفاءة

7. النقاط الرئيسية لفحص الاختيار والقبول

8. مطابقة المنتج والدعم الفني من Aili Industrial

صناعة ايلي هيتتوافق وحدة مرشح المروحة الموجودة في نهاية معدات EFU مع تكوين الدرجة والمروحة وفقًا لمتطلبات حجم الهواء وظروف المساحة الخاصة بـ EFEM.يوفر مرشح ULPA عالي الكفاءة تروس U15/U16 ويوفر بيانات المقاومة وفقًا لحجم الهواء المستهدف.يتم تكوين نماذج EFU فائقة الرقة وصغيرة الحجم وفقًا لهيكل EFEM.يعتمد اختيار مرشح HEPA/ULPA على حجم الجسيمات المحدد ونطاق الحماية.تم تجهيز وحدة مرشح المروحة الموجودة في نهاية معدات EFU لتأكيد الطلب على حجم الهواء وفقًا لحالة إجراء EFEM.يؤكد مشروع مرشح ULPA غير القياسي على شروط التثبيت وفقًا لهيكل منطقة الرقاقة؛وحدة مرشح المروحة FFU وتم تجهيز وحدة مرشح المروحة الطرفية لمعدات EFU بنقطة عمل للتحقق وفقًا لتغير المقاومة.يقوم نظام التحكم بمجموعة الكمبيوتر FFU بتسجيل حجم الهواء ومعلمات التشغيل.تتم مطابقة وحدة مرشح المروحة في نهاية معدات EFU مع هيكل EFEM لتأكيد اتجاه مخرج الهواء وظروف التوحيد.يقوم نظام التحكم بمجموعة الكمبيوتر FFU بتسجيل حجم هواء التشغيل وحالة المعدات، ومقارنتها بالإجراءات الفعلية أثناء التحقق؛يتم تقييم مرشحات PTFE HEPA/ULPA لمتطلبات إطلاق الغازات المنخفضة. عندما يكون حجم الهواء غير كافٍ بعد الترقية، سيتم تقييم وتعديل منطقة المرشح وتكوين المروحة وهيكل مخرج الهواء.وحدات تصفية مروحة معدات EFU صغيرة الحجم في خيارات تكوين مختلفة. تتوفر توفير أهداف العملية ورسومات التثبيت وظروف التشغيل ومتطلبات القبول، ويمكنه أيضًا توصيل مواصفات ULPA القياسية والواجهات غير القياسية والعينات ومطابقة الدُفعات. تعتمد المعلمات المحددة ونطاق الاختبار على النموذج المؤكد والوثائق الفنية.