Comment choisir les U15 ou les U16 pour l'EFEM ? Vérification du volume d'air et de l'uniformité de la zone de plaquette

Le choix de l'EFEM entre U15 ou U16 doit être confirmé en fonction des objectifs du processus, des normes de test, de la distribution du volume d'air, de la résistance et des exigences en matière de matériaux. Une note plus élevée ne signifie pas que les performances de l’ensemble de la plaquette s’amélioreront nécessairement. La différence entre U15 et U16 réside dans le niveau d'efficacité, mais les performances de l'EFEM dans la zone des plaquettes ne dépendent pas seulement du niveau du filtre - de l'uniformité de l'alimentation en air, du fait que le volume d'air est suffisant, de la stabilité du flux d'air lorsque le mécanisme est en action et du dégazage du matériau. Ces facteurs déterminent conjointement si la plaquette est protégée pendant le transport. Si le niveau est sélectionné un niveau plus haut, la résistance augmentera et le volume d'air pourra diminuer. Si le système ne dispose pas de la marge correspondante, cela peut affecter les performances de la zone de la tranche. L'industrie Aili estL'unité de filtre de ventilateur située à l'extrémité de l'équipement EFU peut correspondre à la qualité et à la configuration du ventilateur en fonction des exigences de volume d'air et des conditions d'espace de l'EFEM.Le filtre ultra haute efficacité ULPA fournit des engrenages U15/U16.Les modèles EFU ultra-fins et de petite taille peuvent être configurés selon la structure EFEM.

1. Clarifiez d'abord les exigences en matière d'équipement : objectifs en matière de surface de plaquette, état de fonctionnement et conditions de retour d'air.

Répertoriez les cibles de particules, l'état du support et de la porte, les actions mécaniques, l'air de retour et l'air d'échappement dans la zone de la plaquette, et confirmez la position de test et le mode de fonctionnement.

Avant de choisir U15 ou U16, vous devez d’abord clarifier ce que l’EFEM doit réaliser. Quelle taille de particule et quel niveau de concentration sont ciblés pour le contrôle des particules dans la zone de la tranche, dans quelles conditions le test est effectué (statiques ou dynamiques), dans quelle mesure l'action mécanique et l'ouverture de la porte du transporteur affectent le flux d'air, et quelles sont les conditions de retour et d'échappement - ces entrées déterminent les exigences de niveau et de volume d'air. L'industrie Aili estdes filtres HEPA/ULPA, confirmez l'équipement en fonction de la taille des particules et de la plage de protection.Lors de la sélection Lors de la correspondance de l'unité de filtre de ventilateur à l'extrémité de l'équipement EFU, confirmez le volume d'air requis en fonction de l'état d'action EFEM.Les projets de filtres ULPA non standard peuvent confirmer les conditions d'installation en fonction de la structure de la plaquette. La relation entre les niveaux et les exigences de filtrage peut être trouvée dansComparaison du niveau de propreté ISO。

2. Comparez la configuration complète : vérifiez l'élément filtrant, le ventilateur et l'interface d'étanchéité sous le même volume d'air.

Vérifiez les données de l'élément filtrant, la marge du ventilateur, la surface efficace et l'interface d'étanchéité dans les mêmes conditions de volume d'air, et ajustez la taille ou la structure si nécessaire au lieu de changer directement la qualité.

Remplacer U15 par U16 améliore l’efficacité mais augmente généralement également la résistance. Si la marge du ventilateur est insuffisante et que le volume d'air diminue, la couverture du flux d'air dans la zone de la tranche peut devenir mauvaise. Lors de la comparaison, vous devez vérifier sous le même volume d'air cible : quelle est la résistance de U16 à ce volume d'air, si le ventilateur existant peut être maintenu, si la surface de filtration efficace est suffisante et si l'interface d'étanchéité est compatible. L'industrie Aili estLors de la sélection du filtre ultra-haute efficacité ULPA, les données de résistance U15 et U16 sont fournies en fonction du volume d'air cible.Unité de filtre de ventilateur FFU etL'unité de filtre de ventilateur située à l'extrémité de l'équipement EFU peut vérifier le point de fonctionnement en fonction du changement de résistance.Le système de contrôle du groupe informatique FFU enregistre le volume d'air et les paramètres de fonctionnement, et le calibre est cohérent par rapport. La relation entre la résistance du filtre et l'adaptation du ventilateur peut être référencéeFAQ HEPA et guide de sélection。

3. Vérifiez la zone de la plaquette : volume d'air, uniformité et protection sous action réelle

Confirmez l'intégrité de l'installation, l'uniformité de la sortie d'air et la limite de protection en fonctionnement réel, et ajoutez les données AMC et de rejet de matériaux si nécessaire.

Une fois le niveau déterminé, la vérification doit couvrir trois aspects : l'intégrité de l'installation (si l'étanchéité entre le filtre et le boîtier est efficace), l'uniformité de la sortie d'air (si la répartition de la vitesse du vent le long du trajet de la plaquette est cohérente) et la protection sous l'action réelle (la concentration de particules au niveau de la plaquette lorsque le robot se déplace et que la porte du support s'ouvre et se ferme). Les exigences en matière d'AMC et de dégazage des matériaux sont évaluées individuellement par processus et ne peuvent pas être déduites de la classification ULPA. L'industrie Aili estLors du support de l'unité de filtre à ventilateur à l'extrémité de l'équipement EFU , la direction de la sortie d'air et les conditions d'uniformité peuvent être confirmées selon la structure EFEM.Le système de contrôle du groupe informatique FFU enregistre le volume d'air de fonctionnement et l'état de l'équipement, qui peuvent être comparés aux actions réelles lors de la vérification ;Les filtres PTFE HEPA/ULPA peuvent être évalués pour répondre à de faibles exigences de dégazage. Pour les méthodes de vérification de la zone des plaquettes, veuillez vous référer àFAQ et guide de sélection des filtres ultra-haute efficacité ULPA。

4. Lorsque le volume d'air de l'échantillon U16 est insuffisant après l'installation, la machine complète doit être réapparue.

Lorsque le volume d'air de l'échantillon U16 est insuffisant après l'installation, l'ensemble de la machine doit être réapparu et le résultat selon lequel l'efficacité de l'élément filtrant est qualifiée ne doit pas être conservé. Un volume d'air insuffisant signifie que la couverture du flux d'air et les capacités d'élimination des particules sont réduites, et la protection réelle de la zone de la plaquette peut ne pas répondre aux attentes.

L'industrie Aili estDans le projet EFEM de l'unité de filtre de ventilateur d'extrémité d'équipement EFU , lorsque le volume d'air est insuffisant après la mise à niveau, le plan d'ajustement est évalué sous trois aspects : la zone de filtre, la configuration du ventilateur et la structure de sortie d'air.L'unité de filtre de ventilateur d'équipement EFU de petite taille offre différentes options de configuration lorsque l'espace est limité.La structure des filtres ULPA non standard peut être ajustée en fonction de l'espace EFEM. Veuillez vous référer à la méthode de réglage du volume d'air après la mise à niveau.FAQ EFU et support technique。

5. Questions et réponses connexes

Les U15 ne sont-ils pas forcément aussi adaptés à l’EFEM que les U16 ?
L’applicabilité dépend de l’adéquation du processus et du système et ne peut pas être simplement triée par numéros de qualité.

Que dois-je faire si le volume d'air diminue après que l'EFEM a sélectionné U16 ?
La marge du ventilateur et la zone du filtre doivent être vérifiées, et des ajustements doivent être effectués à partir de la zone du filtre, de la configuration du ventilateur ou de la structure de sortie d'air, plutôt que de simplement conserver l'indice d'efficacité.

Les exigences AMC de l'EFEM peuvent-elles être satisfaites par la note ULPA ?
ne peut pas. L'ULPA est responsable de la filtration des particules, les exigences en matière d'AMC et de dégazage des matériaux doivent être évaluées individuellement par processus.

6. Articles connexes

FAQ et guide de sélection des filtres ultra-haute efficacité ULPA

EFU ultra-mince

Unité de filtre de ventilateur d'équipement EFU de petite taille

Filtre haute efficacité PTFE HEPA/ULPA

7. Points clés pour le contrôle de sélection et d'acceptation

8. Correspondance des produits et support technique d'Aili Industrial

L'industrie Aili estL'unité de filtre de ventilateur située à l'extrémité de l'équipement EFU correspond à la qualité et à la configuration du ventilateur en fonction des exigences de volume d'air et des conditions d'espace de l'EFEM.Le filtre ULPA ultra haute efficacité fournit des engrenages U15/U16 et fournit des données de résistance en fonction du volume d'air cible.Les modèles EFU ultra-fins et de petite taille sont configurés selon la structure EFEM.La sélection des filtres HEPA/ULPA est basée sur la taille des particules et la plage de protection déterminées.L'unité de filtre à ventilateur située à l'extrémité de l'équipement EFU est équipée pour confirmer la demande de volume d'air en fonction de l'état d'action EFEM.Le projet de filtre ULPA non standard confirme les conditions d'installation en fonction de la structure de la plaquette ;Unité de filtre de ventilateur FFU etL'unité de filtre de ventilateur d'extrémité d'équipement EFU est équipée d'un point de travail pour vérifier en fonction du changement de résistance.Le système de contrôle du groupe informatique FFU enregistre le volume d'air et les paramètres de fonctionnement.L'unité de filtre à ventilateur située à l'extrémité de l'équipement EFU est adaptée à la structure EFEM pour confirmer la direction de la sortie d'air et les conditions d'uniformité.Le système de contrôle du groupe informatique FFU enregistre le volume d'air de fonctionnement et l'état de l'équipement et les compare aux actions réelles lors de la vérification ;Les filtres PTFE HEPA/ULPA sont évalués pour leurs faibles exigences de dégazage. Lorsque le volume d'air est insuffisant après la mise à niveau, des ajustements seront effectués sous trois aspects : la zone du filtre, la configuration du ventilateur et la structure de sortie d'air.Les unités de filtrage de ventilateur d'équipement EFU de petite taille sont disponibles dans différentes options de configuration. Fournissez les objectifs du processus, les dessins d'installation, les conditions de fonctionnement et les exigences d'acceptation, et pouvez communiquer davantage les spécifications standard ULPA, les interfaces non standard, les échantillons et la correspondance des lots. Les paramètres spécifiques et la plage de test sont basés sur le modèle confirmé et les documents techniques.