Comment disposer l’ULPA dans la zone de chargement et de transfert des plaquettes ? Portée locale de protection et d’installation

Zone de chargement et de transfert des plaquettesLe placement du filtre ULPA doit être conçu en fonction des emplacements d'exposition des plaquettes, des actions du mécanisme et des limites d'entrée et de sortie. L’approvisionnement local en air pur doit être confirmé par l’évacuation des équipements, les ouvertures et le contrôle des matériaux. La zone de chargement et de transfert des tranches (EFEM) est la zone où les tranches sont le plus fréquemment exposées dans les équipements à semi-conducteurs : la tranche est retirée du support, transportée par le robot et entre dans la chambre de traitement. L'ensemble du processus est complété dans ce domaine. L'objectif du contrôle des particules dans ce domaine est très spécifique : protéger la surface de la plaquette de la contamination par les particules pendant le transport. La disposition ULPA doit être conçue autour du trajet de la plaquette et du mouvement mécanique, plutôt que de simplement poser une couche de filtres sur le dispositif. La gamme de produits d'Aili Industrial couvre le côté équipementUnité de filtre de ventilateur d'extrémité d'équipement EFU etFiltre HEPA/ULPA，Les modèles EFU ultra-minces et de petite taille peuvent correspondre à la structure d'alimentation en air locale en fonction des conditions spatiales EFEM.L'adéquation des filtres PTFE HEPA/ULPA peut être évaluée en fonction des exigences de dégazage des matériaux.

1. Définir le périmètre de protection des plaquettes : chargement, amarrage, transmission et stockage temporaire

Effacez l'état de chargement, d'amarrage, de transmission et de stockage temporaire, enregistrez l'ouverture de la porte ou du véhicule et le mouvement du manipulateur, en protégeant non seulement le point central à l'arrêt.

La plage de protection des plaquettes n'est pas seulement une position fixe, mais une zone dynamique qui change avec le mouvement. Lorsque la plaquette est retirée du support, transférée sur le robot et avant d'entrer dans la chambre de traitement, les positions d'exposition sont différentes et les exigences de protection sont également différentes. Dès l’ouverture de la porte du support, le trajet parcouru par le robot et l’emplacement de stockage temporaire des plaquettes, tout doit être inclus dans l’étendue de la protection. L'industrie Aili estDans l'emballage de l'unité de filtre de ventilateur d'extrémité de l'équipement EFU , confirmez la couverture de l'alimentation en air en fonction du chemin de la plaquette et de l'action mécanique.L'EFU ultra-mince configure la direction de sortie d'air en fonction de la structure de la cavité dans l'espace limité de l'EFEM.L'unité de filtre à ventilateur de l'équipement EFU de petite taille correspond à une zone de chargement plus compacte. La relation entre les niveaux et les exigences de filtrage peut être trouvée dansComparaison du niveau de propreté ISO。

2. Coordonner la surface de filtration et le parcours de l'air : espace aérien ou latéral, obstacles et flux d'air de reprise

Tenez compte de l'espace aérien ou latéral, des obstacles, du flux d'air de retour et de la position du ventilateur pour éviter que l'air contaminé ne traverse la surface de la plaquette et tenez compte de l'accessibilité pour l'installation et la détection des fuites.

L'espace interne de l'EFEM est compact et l'emplacement d'installation du filtre est limité par le mécanisme, les câbles et les capteurs. Le fait que la surface du filtre soit placée au-dessus, latéralement ou obliquement dépend du trajet de la plaquette et de l'action du mécanisme. La direction du flux d'air est telle que l'air pur traverse d'abord la surface de la tranche, puis élimine les particules, plutôt que de souffler directement de la source de pollution vers la tranche. L'industrie Aili estDans le projet de filtre ULPA non standard , confirmez la position de la surface du filtre et la direction de la sortie d'air selon la structure interne de l'EFEM.Les matériaux tels que les filtres PTFE HEPA/ULPA peuvent être évalués en fonction des exigences de faible dégazage, et l'accessibilité des tests internes de l'équipement est confirmée au stade de la planification structurelle. Pour la coordination du trajet de l'air et de la position de la surface du filtre, veuillez vous référer àFAQ HEPA et guide de sélection。

3. Vérifier avec les mouvements réels de l'équipement : mouvement du robot, ouverture et fermeture des portes du véhicule

Vérifiez la distribution, l'intégrité et les performances du volume d'air liées à la zone de traitement. Les exigences en matière de matériaux et d'AMC sont déterminées individuellement en fonction du processus et ne sont pas directement déduites de la qualité ULPA.

L'effet de protection de la zone de la plaquette doit être confirmé dans l'état de fonctionnement réel de l'équipement. Si le chemin d'alimentation en air est bloqué lorsque le manipulateur se déplace vers la position extrême, si la direction du flux d'air change lorsque la porte du support est ouverte et si la concentration locale de particules fluctue lorsque la plaquette entre et sort, ceux-ci doivent être testés en fonction de la séquence d'action. L'industrie Aili estl'unité de filtre de ventilateur d'extrémité de l'équipement EFU .Les conditions d'alimentation en air peuvent être confirmées en fonction de la séquence d'action de l'équipement lors de la correspondance avec Le système de contrôle du groupe informatique FFU enregistre l'état de fonctionnement de l'équipement et les paramètres de volume d'air, qui peuvent être comparés à l'état d'action réel lors de la vérification. Pour les méthodes de vérification des actions côté appareil, veuillez vous référer àFAQ EFU et support technique。

4. Lorsque le manipulateur se déplace vers la position extrême et bloque le chemin d'alimentation en air, cet état doit être inclus dans la vérification

Lorsque le manipulateur se déplace vers la position extrême et bloque le chemin d'alimentation en air, cet état doit être inclus dans la vérification au lieu de tester uniquement lorsque le manipulateur revient à zéro. Le manipulateur peut bloquer temporairement la surface d'alimentation en air ou changer la direction du flux d'air pendant le mouvement. Le test à l’état de retour zéro ne peut pas représenter l’ensemble du processus.

L'industrie Aili estFiltres ULPA non standards etDans le projet EFEM de l'unité de filtrage du ventilateur côté équipement EFU , l'impact de l'occlusion est évalué en fonction de la course du robot et de la position de la surface d'alimentation en air. Si nécessaire, la position de la surface du filtre est ajustée ou l'apport d'air local est augmenté afin que le flux d'air puisse couvrir le trajet de la plaquette sur toute la plage de mouvement du robot.L'unité de filtre de ventilateur d'équipement EFU de petite taille offre une méthode d'installation plus flexible lorsque l'espace est limité. La relation entre l'action mécanique et le chemin d'alimentation en air peut être évoquéeFAQ et guide de sélection des filtres ultra-haute efficacité ULPA。

5. Questions et réponses connexes

L’équipement nécessite-t-il une ULPA locale s’il est situé dans une salle blanche ?
Les jugements doivent être combinés avec l’exposition des plaquettes et la production de poussière des équipements, et les conditions ambiantes ne peuvent pas automatiquement représenter une protection interne.

L'espace interne de l'EFEM est petit, peut-on y installer l'ULPA ?
Il peut être installé via un EFU de petite taille ou ultra-mince avec une structure compacte. Les détails sont confirmés en fonction des dimensions internes de l'EFEM et de la course du mécanisme.

Les exigences en matière de dégazage des matériaux doivent-elles être confirmées séparément ?
besoin. La filtration des particules ULPA n'implique pas de dégazage de matériaux, et le dégazage de matériaux au sein de l'EFEM doit être évalué individuellement en fonction des exigences du processus.

6. Articles connexes

FAQ et guide de sélection des filtres ultra-haute efficacité ULPA

EFU ultra-mince

Unité de filtre de ventilateur d'équipement EFU de petite taille

Filtre haute efficacité PTFE HEPA/ULPA

7. Points clés pour le contrôle de sélection et d'acceptation

8. Correspondance des produits et support technique d'Aili Industrial

La gamme de produits d'Aili Industrial couvre le côté équipementUnité de filtre de ventilateur d'extrémité d'équipement EFU etFiltre HEPA/ULPA，Les modèles EFU ultra-minces et de petite taille peuvent correspondre à la structure d'alimentation en air locale en fonction des conditions spatiales EFEM.L'adéquation des filtres PTFE HEPA/ULPA peut être évaluée en fonction des exigences de dégazage des matériaux.L'unité de filtre de ventilateur d'extrémité d'équipement EFU est équipée d'un chemin de plaquette et d'une action mécanique pour confirmer la couverture de l'alimentation en air.L'EFU ultra-mince configure la direction de sortie d'air en fonction de la structure de la cavité dans l'espace limité de l'EFEM.L'unité de filtre à ventilateur de l'équipement EFU de petite taille correspond à une zone de chargement plus compacte ;Le projet de filtre ULPA non standard confirme la position de la surface du filtre et la direction de la sortie d'air selon la structure interne de l'EFEM, et l'accessibilité de l'inspection interne de l'équipement est confirmée au stade du plan structurel.L'unité de filtre de ventilateur côté équipement EFU peut confirmer les conditions d'alimentation en air en fonction de la séquence d'action de l'équipement.Le système de contrôle du groupe informatique FFU enregistre l'état de fonctionnement de l'équipement et les paramètres de volume d'air, et les compare avec l'état d'action réel lors de la vérification ; évalue l'impact de l'occlusion en fonction de la course du robot et de la position de la surface d'alimentation en air, et ajuste la position de la surface du filtre ou augmente l'alimentation en air locale si nécessaire. Fournissez les objectifs du processus, les dessins d'installation, les conditions de fonctionnement et les exigences d'acceptation, et pouvez communiquer davantage les spécifications standard ULPA, les interfaces non standard, les échantillons et la correspondance des lots. Les paramètres spécifiques et la plage de test sont basés sur le modèle confirmé et les documents techniques.