Как организовать ULPA в зоне загрузки и передачи пластин? Местная защита и объем установки

Зона загрузки и передачи пластинРазмещение фильтра ULPA должно быть спроектировано с учетом мест воздействия пластин, действий механизма, а также границ входа и выхода. Местное снабжение чистым воздухом должно быть подтверждено вытяжкой оборудования, отверстиями и контролем материалов. Зона загрузки и передачи пластин (EFEM) — это зона, где пластины чаще всего подвергаются воздействию в полупроводниковом оборудовании: пластина вынимается из носителя, транспортируется роботом и попадает в технологическую камеру. Весь процесс завершается в этой области. Цель контроля частиц в этой области очень конкретна — защитить поверхность пластины от загрязнения частицами во время транспортировки. Компоновка ULPA должна быть спроектирована с учетом пути прохождения пластины и механического движения, а не просто размещения слоя фильтров поверх устройства. Линейка продуктов Aili Industrial охватывает сторону оборудования.Блок фильтра концевого вентилятора оборудования EFU иHEPA/ULPA-фильтр，Ультратонкие модели EFU и модели небольшого размера могут соответствовать местной структуре подачи воздуха в соответствии с условиями пространства EFEM.Фильтры HEPA/ULPA из ПТФЭ можно оценить на предмет пригодности на основе требований к дегазации материала.

1. Определить объем защиты пластин: загрузка, стыковка, передача и временное хранение.

Очистите статус погрузки, стыковки, передачи и временного хранения, запишите открытие двери или транспортного средства и движение манипулятора, не только защищая центральную точку в неподвижном состоянии.

Диапазон защиты пластин — это не просто фиксированное положение, а динамическая область, которая меняется при движении. Когда пластина вынимается из носителя, переносится на робота и перед входом в технологическую камеру, положения воздействия различаются, а также требования к защите. Момент открытия дверцы носителя, путь, по которому движется робот, и место временного хранения пластин — все это должно быть включено в объем защиты. Айли ИндустрияВ комплектации блока фильтра торцевого вентилятора оборудования EFU проверьте зону подачи воздуха в соответствии с путем пластины и механическим воздействием.Ультратонкий EFU настраивает направление выпуска воздуха в соответствии со структурой полости в ограниченном пространстве EFEM.Небольшой блок вентиляторного фильтра оборудования EFU соответствует более компактной зоне загрузки. Взаимосвязь между уровнями и требованиями фильтрации можно найти вСравнение уровня чистоты ISO。

2. Координируйте поверхность фильтрации и путь воздуха: верхнее или боковое пространство, препятствия и обратный поток воздуха.

Учитывайте пространство над головой или сбоку, препятствия, обратный поток воздуха и положение вентилятора, чтобы избежать попадания загрязненного воздуха на поверхность пластины, а также учтите доступность для установки и обнаружения утечек.

Внутреннее пространство EFEM компактно, а место установки фильтра ограничено механизмом, кабелями и датчиками. Расположение фильтрующей поверхности сверху, сбоку или под углом зависит от пути прохождения пластины и действия механизма. Направление воздушного потока таково, что чистый воздух сначала проходит через поверхность пластины, а затем уносит частицы, а не дует непосредственно от источника загрязнения к пластине. Айли ИндустрияВ нестандартном проекте фильтра ULPA подтвердите положение поверхности фильтра и направление выхода воздуха в соответствии с внутренней структурой EFEM.Такие материалы, как фильтры HEPA/ULPA из ПТФЭ, можно оценить по низким требованиям к выделению газов, а возможность внутреннего тестирования оборудования подтверждается на этапе структурного планирования. Для координации воздушного пути и положения поверхности фильтра см.HEPA: часто задаваемые вопросы и руководство по выбору。

3. Проверьте фактические движения оборудования: движение робота, открытие и закрытие двери автомобиля.

Проверьте распределение объема воздуха, его целостность и производительность в технологической зоне. Требования к материалам и AMC определяются индивидуально в зависимости от процесса и не вытекают напрямую из уровня ULPA.

Эффект защиты пластины должен быть подтвержден в фактическом рабочем состоянии оборудования. Блокируется ли путь подачи воздуха при перемещении манипулятора в крайнее положение, изменяется ли направление воздушного потока при открытии дверцы держателя и колеблется ли локальная концентрация частиц при входе и выходе пластины, все это необходимо проверить в соответствии с последовательностью действий. Айли Индустрияфильтрующего блока концевого вентилятора оборудования EFU .Условия подачи воздуха можно подтвердить в соответствии с последовательностью действий оборудования при подборе Компьютерная система управления группой ФФУ фиксирует рабочее состояние оборудования и параметры объема воздуха, которые при проверке можно сравнить с фактическим состоянием действия. Методы проверки действий на стороне устройства см.Часто задаваемые вопросы по EFU и техническая поддержка。

4. Когда манипулятор переходит в крайнее положение и перекрывает путь подачи воздуха, это состояние следует включить в проверку.

Когда манипулятор перемещается в крайнее положение и блокирует путь подачи воздуха, это состояние следует включать в проверку, а не проводить тестирование только при возврате манипулятора в ноль. Манипулятор может временно перекрыть поверхность подачи воздуха или изменить направление воздушного потока во время движения. Тест в состоянии с нулевым возвратом не может отражать весь процесс.

Айли ИндустрияНестандартные фильтры ULPA иВ проекте EFEM вентиляторного фильтрующего блока на конце оборудования EFU влияние окклюзии оценивается на основе хода робота и положения поверхности подачи воздуха. При необходимости корректируется положение фильтрующей поверхности или увеличивается местная подача воздуха так, чтобы поток воздуха мог охватить путь пластины на всем диапазоне движения робота.Небольшой блок вентиляторного фильтра оборудования EFU обеспечивает более гибкий метод установки в условиях ограниченного пространства. Взаимосвязь между механическим действием и путем подачи воздуха можно назватьЧасто задаваемые вопросы и руководство по выбору сверхвысокоэффективного фильтра ULPA。

5. Похожие вопросы и ответы

Требуется ли для оборудования местный сертификат ULPA, если оно расположено в чистом помещении?
Суждения необходимо сочетать с воздействием на пластины и образованием пыли в оборудовании, а условия в помещении не могут автоматически представлять собой внутреннюю защиту.

Внутреннее пространство EFEM маленькое, можно ли в него установить ULPA?
Его можно установить с помощью небольшого размера или ультратонкого EFU с компактной конструкцией. Детали подтверждены по внутренним размерам ЭФЕМ и ходу механизма.

Необходимо ли отдельно подтверждать требования к дегазации материалов?
нуждаться. Фильтрация частиц ULPA не предполагает дегазацию материала, а дегазацию материала в EFEM следует оценивать индивидуально в зависимости от технологических требований.

6. Статьи по теме

Часто задаваемые вопросы и руководство по выбору сверхвысокоэффективного фильтра ULPA

Ультратонкий ЭФУ

Малогабаритный блок вентиляторного фильтра оборудования EFU

Высокоэффективный фильтр PTFE HEPA/ULPA

7. Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

8. Подбор продуктов и техническая поддержка от Aili Industrial.

Линейка продуктов Aili Industrial охватывает сторону оборудования.Блок фильтра концевого вентилятора оборудования EFU иHEPA/ULPA-фильтр，Ультратонкие модели EFU и модели небольшого размера могут соответствовать местной структуре подачи воздуха в соответствии с условиями пространства EFEM.Фильтры HEPA/ULPA из ПТФЭ можно оценить на предмет пригодности на основе требований к дегазации материала.Блок фильтра торцевого вентилятора оборудования EFU оснащен пластинчатым трактом и механическим действием для подтверждения зоны подачи воздуха.Ультратонкий EFU настраивает направление выхода воздуха в соответствии со структурой полости в ограниченном пространстве EFEM.Небольшой блок вентиляторного фильтра оборудования EFU соответствует более компактной зоне загрузки;Нестандартный проект фильтра ULPA подтверждает положение поверхности фильтра и направление выхода воздуха в соответствии с внутренней структурой EFEM, а возможность внутреннего осмотра оборудования подтверждается на этапе структурного плана.Блок фильтра вентилятора со стороны оборудования EFU может проверять условия подачи воздуха в соответствии с последовательностью действий оборудования.Система управления компьютерной группой ФФУ фиксирует рабочее состояние оборудования и параметры объема воздуха и при проверке сравнивает их с фактическим состоянием действия; оценивает влияние окклюзии на основе хода робота и положения поверхности подачи воздуха и при необходимости регулирует положение поверхности фильтра или увеличивает местную подачу воздуха. Предоставляйте цели процесса, установочные чертежи, условия эксплуатации и требования приемки, а также можете дополнительно сообщать стандартные спецификации ULPA, нестандартные интерфейсы, образцы и соответствие партий. Конкретные параметры и диапазон испытаний основаны на подтвержденной модели и технической документации.