ウェーハのロードおよび搬送エリアにULPAを配置するにはどうすればよいですか?ローカル保護と設置範囲

ウェハのロードおよび搬送エリアULPA フィルタの配置は、ウェハの露光位置、機構の動作、入口と出口の境界を中心に設計する必要があります。局所的にきれいな空気が供給されていることを、機器の排気、開口部、材料管理によって確認する必要があります。ウエハローディングおよび搬送エリア (EFEM) は、半導体装置内でウエハが最も頻繁に露光されるエリアです。ウエハはキャリアから取り出され、ロボットによって搬送され、プロセス チャンバに入ります。この領域でプロセス全体が完了します。この分野におけるパーティクル制御の目標は非常に具体的であり、搬送中にウエハ表面をパーティクル汚染から保護することです。 ULPA レイアウトは、単にデバイスの上にフィルターの層を置くのではなく、ウェーハの経路と機械的動作を中心に設計する必要があります。 Aili Industrialの製品ラインは装置側をカバーしますEFU機器側ファンフィルターユニットとHEPA/ULPAフィルター，超薄型 EFUおよび小型モデルは、EFEM の空間条件に応じて局所給気構造に適合できます。PTFE HEPA/ULPA フィルターは、材料のガス放出要件に基づいて適合性を評価できます。

1. ウェーハ保護の範囲を定義する: ロード、ドッキング、伝送、一時保管

静止時の中心点を保護するだけでなく、積み込み、ドッキング、トランスミッション、一時保管のステータスをクリアし、ドアや車両の開閉とマニピュレータの動きを記録します。

ウェーハの保護範囲は単なる固定位置ではなく、移動に応じて変化する動的領域です。ウェハがキャリアから取り出され、ロボット上に移送され、プロセスチャンバに入る前では、露光位置が異なり、保護要件も異なります。キャリアのドアが開く瞬間、ロボットが伸びる経路、ウェーハの一時保管場所などはすべて保護範囲に含める必要があります。アイリ産業はEFU装置のエンドファンフィルタユニットパッケージでは、ウエハ経路と機械的動作に応じて給気範囲を確認してください。超薄型 EFU は、 EFEM の限られたスペース内でキャビティ構造に応じて空気の出口方向を構成します。小型EFU機器ファンフィルターユニットにより、よりコンパクトな搭載面積に対応します。レベルとフィルタリング要件の関係は、次のとおりです。ISO清浄度レベルの比較。

2. 濾過面と空気経路を調整します: 頭上または横のスペース、障害物、戻り空気流

頭上または横のスペース、障害物、戻り空気の流れ、およびファンの位置を考慮して、汚染された空気がウェーハ表面を通過するのを防ぎ、設置および漏れ検出のアクセスのしやすさを考慮してください。

EFEMの内部空間はコンパクトであり、フィルタの設置場所は機構やケーブル、センサーなどにより制限されます。フィルター表面が上、横、斜めのいずれに配置されるかは、ウェーハの経路と機構の動作によって決まります。空気の流れの方向は、汚染源からウェーハに直接吹き付けるのではなく、清浄な空気が最初にウェーハ表面を通過してから粒子を除去するような方向です。アイリ産業は非標準ULPAフィルタプロジェクトでは、EFEMの内部構造に合わせてフィルタ面の位置と空気の出口方向を確認してください。PTFE HEPA/ULPA フィルターなどの材料は、低ガス放出要件に従って評価でき、装置の内部テストの利用可能性は構造計画の段階で確認されます。エア経路とフィルター面位置の調整については、こちらをご参照ください。HEPA FAQ と選択ガイド。

3. ロボットの動き、車両のドアの開閉など、実際の装置の動きで検証する

プロセスエリアに関連する風量分布、完全性、およびパフォーマンスを確認します。材料と AMC の要件はプロセスに基づいて個別に決定され、ULPA レベルから直接推測されるものではありません。

ウエハ領域の保護効果は実際の装置の動作状態で確認する必要があります。マニピュレータが極限位置に移動した際にエアの供給経路が遮断されないか、キャリアドアが開いた際にエアの流れの方向が変化しないか、ウエハの出入り時に局所的なパーティクル濃度が変動していないかなど、動作シーケンスに応じて試験する必要があります。アイリ産業はEFU装置側ファンフィルタユニットとのマッチング時の装置動作シーケンスにより給気状態を確認できます。FFUコンピュータ群制御システムは、機器の稼働状況や風量パラメータを記録し、実際の動作状況と比較検証することができます。デバイス側の動作確認方法については、こちらをご覧ください。EFU FAQ とテクニカル サポート。

4. マニピュレータが極端な位置に移動し、エア供給経路を遮断する場合、この状態も検証に含める必要があります。

マニピュレータが極端な位置に移動してエア供給経路を遮断する場合、マニピュレータがゼロに戻るときだけをテストするのではなく、この状態も検証に含める必要があります。マニピュレータは移動中に一時的に給気面を塞いだり、空気の流れの方向を変えたりする場合があります。ゼロリターン状態のテストはプロセス全体を表すことはできません。

アイリ産業は非標準のULPAフィルターとEFU機器側のファンフィルターユニットのEFEMプロジェクトでは、ロボットのストロークと給気面の位置に基づいてオクルージョンの影響を評価しています。必要に応じて、フィルタ表面の位置を調整するか、局所的な空気供給量を増やして、空気流がロボットの動作範囲全体にわたってウェーハ経路をカバーできるようにします。小型の EFU 機器ファン フィルタ ユニットは、スペースが限られている場合に、より柔軟な設置方法を提供します。機械動作とエア供給経路の関係を参照できます。ULPA超高性能フィルターFAQと選定ガイド。

5. 関連する質問と回答

機器がクリーンルーム内にある場合、その機器に現地の ULPA が必要ですか?
判断はウェーハへの曝露や装置の粉塵の発生と組み合わせる必要があり、部屋の状態が自動的に内部保護を表すことはできません。

EFEMの内部スペースが狭いのですが、ULPAは搭載できますか？
コンパクトな構造で小型または超薄型の EFU を介して設置できます。詳細はEFEMの内寸と機構ストロークにより確認します。

材料のガス放出要件を個別に確認する必要がありますか?
必要。 ULPA 粒子濾過には物質のガス放出は含まれないため、EFEM 内の物質のガス放出はプロセス要件に基づいて個別に評価する必要があります。

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8. Aili Industrial による製品マッチングと技術サポート

Aili Industrialの製品ラインは装置側をカバーしますEFU機器側ファンフィルターユニットとHEPA/ULPAフィルター，超薄型 EFUおよび小型モデルは、EFEM の空間条件に応じて局所給気構造に適合できます。PTFE HEPA/ULPA フィルターは、材料のガス放出要件に基づいて適合性を評価できます。EFU 装置のエンドファンフィルターユニットには、空気供給範囲を確認するためのウェーハパスと機械的動作が装備されています。超薄型 EFU は、 EFEM の限られたスペース内でキャビティ構造に応じて空気の出口方向を構成します。小型の EFU 機器ファンフィルターユニットは、よりコンパクトな搭載エリアに対応します。非標準ULPAフィルタープロジェクトでは、EFEMの内部構造に合わせてフィルター面の位置や排気方向を確認し、構造計画の段階で装置の内部検査の容易性を確認します。EFU装置側ファンフィルタユニットは、装置の動作シーケンスに応じて給気状態を確認できます。FFUコンピュータ群制御システムは、機器の稼働状況や風量パラメータを記録し、実際の動作状況と比較して検証します。ロボットのストロークと給気面の位置に基づいて閉塞の影響を評価し、必要に応じてフィルタ面の位置を調整したり、局所的な給気を増やしたりします。プロセスの目標、設置図面、動作条件、および受け入れ要件を提供し、さらに ULPA 標準仕様、非標準インターフェース、サンプル、バッ​​チマッチングについても伝達できます。具体的なパラメータとテスト範囲は、確認されたモデルと技術文書に基づいています。