Làm thế nào để bố trí ULPA trong khu vực nạp và chuyển wafer? Phạm vi cài đặt và bảo vệ cục bộ

Khu vực tải và chuyển waferVị trí đặt bộ lọc ULPA phải được thiết kế xung quanh các vị trí tiếp xúc với tấm bán dẫn, hoạt động của cơ chế cũng như ranh giới ra vào. Việc cung cấp không khí sạch tại địa phương phải được xác nhận bằng khí thải của thiết bị, các lỗ hở và kiểm soát vật liệu. Khu vực tải và truyền wafer (EFEM) là khu vực mà các wafer thường xuyên tiếp xúc nhất trong thiết bị bán dẫn: wafer được đưa ra khỏi vật mang, được robot vận chuyển và đi vào buồng xử lý. Toàn bộ quá trình được hoàn thành trong lĩnh vực này. Mục tiêu của việc kiểm soát hạt trong lĩnh vực này rất cụ thể—bảo vệ bề mặt tấm bán dẫn khỏi bị nhiễm hạt trong quá trình vận chuyển. Bố cục ULPA cần được thiết kế xung quanh đường đi của tấm bán dẫn và chuyển động cơ học, thay vì chỉ đặt một lớp bộ lọc lên trên thiết bị. Dòng sản phẩm của Aili Industrial bao gồm mặt thiết bịBộ lọc quạt cuối thiết bị EFU vàBộ lọc HEPA/ULPA，Các mô hình EFU siêu mỏng và kích thước nhỏ có thể phù hợp với cấu trúc cấp khí cục bộ theo điều kiện không gian của EFEM.Bộ lọc PTFE HEPA/ULPA có thể được đánh giá về tính phù hợp dựa trên yêu cầu thoát khí của vật liệu.

1. Xác định phạm vi bảo vệ wafer: tải, lắp ghép, truyền tải và lưu trữ tạm thời

Xóa trạng thái tải, lắp ghép, truyền tải và lưu trữ tạm thời, ghi lại chuyển động mở cửa hoặc xe và thao tác, không chỉ bảo vệ điểm trung tâm khi đứng yên.

Phạm vi bảo vệ tấm bán dẫn không chỉ là một vị trí cố định mà còn là một vùng động thay đổi theo chuyển động. Khi tấm wafer được lấy ra khỏi giá đỡ, chuyển lên robot và trước khi vào buồng xử lý, các vị trí tiếp xúc sẽ khác nhau và yêu cầu bảo vệ cũng khác nhau. Thời điểm cửa vận chuyển mở ra, đường đi mà robot mở rộng và vị trí lưu trữ tạm thời của các tấm bán dẫn, tất cả đều phải nằm trong phạm vi bảo vệ. Công nghiệp Aili làTrong gói bộ lọc quạt cuối thiết bị EFU , hãy xác nhận phạm vi cung cấp không khí theo đường dẫn của tấm bán dẫn và hoạt động cơ học.EFU siêu mỏng cấu hình hướng thoát khí theo cấu trúc khoang trong không gian hạn chế của EFEM.Bộ lọc quạt thiết bị EFU kích thước nhỏ tương ứng với khu vực tải nhỏ gọn hơn. Mối quan hệ giữa các cấp độ và yêu cầu lọc có thể được tìm thấy trongSo sánh mức độ sạch ISO。

2. Phối hợp bề mặt lọc và đường dẫn khí: không gian trên cao hoặc bên cạnh, chướng ngại vật và luồng khí quay trở lại

Xem xét không gian phía trên hoặc bên, chướng ngại vật, luồng không khí quay trở lại và vị trí quạt để tránh không khí bị ô nhiễm đi qua bề mặt tấm bán dẫn và tính đến khả năng tiếp cận để lắp đặt và phát hiện rò rỉ.

Không gian bên trong của EFEM nhỏ gọn và vị trí lắp đặt bộ lọc bị giới hạn bởi cơ chế, dây cáp và cảm biến. Việc bề mặt bộ lọc được đặt ở trên, sang một bên hay xiên phụ thuộc vào đường đi của tấm bán dẫn và cơ chế hoạt động. Hướng luồng không khí sao cho không khí sạch trước tiên đi qua bề mặt tấm bán dẫn và sau đó lấy đi các hạt, thay vì thổi trực tiếp từ nguồn ô nhiễm đến tấm bán dẫn. Công nghiệp Aili làTrong dự án bộ lọc ULPA không chuẩn , hãy xác nhận vị trí bề mặt bộ lọc và hướng thoát khí theo cấu trúc bên trong EFEM.Các vật liệu như bộ lọc PTFE HEPA/ULPA có thể được đánh giá theo yêu cầu thoát khí thấp và khả năng tiếp cận thử nghiệm nội bộ của thiết bị được xác nhận ở giai đoạn sơ đồ kết cấu. Để phối hợp đường dẫn khí và vị trí bề mặt bộ lọc, vui lòng tham khảoCác câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn về HEPA。

3. Kiểm chứng các chuyển động thực tế của thiết bị: chuyển động của robot, đóng mở cửa xe

Kiểm tra sự phân bố thể tích không khí, tính toàn vẹn và hiệu suất liên quan đến khu vực xử lý. Các yêu cầu về vật liệu và AMC được xác định riêng lẻ dựa trên quy trình và không được suy ra trực tiếp từ cấp độ ULPA.

Hiệu quả bảo vệ của vùng tấm bán dẫn phải được xác nhận theo trạng thái vận hành thực tế của thiết bị. Cho dù đường cung cấp không khí có bị chặn khi bộ điều khiển di chuyển đến vị trí cực đoan hay không, hướng luồng không khí có thay đổi khi cửa vận chuyển được mở hay không và liệu nồng độ hạt cục bộ có dao động khi wafer đi vào và thoát ra hay không, những điều này phải được kiểm tra theo trình tự hành động. Công nghiệp Aili làbộ lọc quạt cuối thiết bị EFU .Các điều kiện cung cấp không khí có thể được xác nhận theo trình tự hành động của thiết bị khi khớp với Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại trạng thái vận hành thiết bị và các thông số thể tích không khí, có thể so sánh với trạng thái hành động thực tế trong quá trình xác minh. Để biết các phương pháp xác minh hành động phía thiết bị, vui lòng tham khảoCâu hỏi thường gặp về EFU và hỗ trợ kỹ thuật。

4. Khi người thao tác di chuyển đến vị trí cực đoan và chặn đường cấp khí, trạng thái này phải được đưa vào xác minh

Khi người thao tác di chuyển đến vị trí cực đoan và chặn đường cấp khí, trạng thái này phải được đưa vào xác minh thay vì chỉ kiểm tra khi người thao tác trở về 0. Bộ điều khiển có thể tạm thời chặn bề mặt cấp khí hoặc thay đổi hướng của luồng khí trong quá trình di chuyển. Thử nghiệm ở trạng thái trả về 0 không thể đại diện cho toàn bộ quá trình.

Công nghiệp Aili làBộ lọc ULPA không chuẩn vàTrong dự án EFEM của bộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU , tác động của tắc nghẽn được đánh giá dựa trên hành trình của robot và vị trí của bề mặt cấp khí. Nếu cần, vị trí của bề mặt bộ lọc được điều chỉnh hoặc tăng nguồn cung cấp không khí cục bộ để luồng không khí có thể bao phủ đường đi của tấm bán dẫn trong toàn bộ phạm vi chuyển động của robot.Bộ lọc quạt thiết bị EFU kích thước nhỏ cung cấp phương pháp lắp đặt linh hoạt hơn khi không gian bị hạn chế. Mối quan hệ giữa tác động cơ học và đường cung cấp không khí có thể được đề cập đếnCâu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA。

5. Câu hỏi và đáp án liên quan

Thiết bị có cần ULPA cục bộ nếu nó được đặt trong phòng sạch không?
Các phán đoán cần phải được kết hợp với việc tiếp xúc với tấm bán dẫn và việc tạo ra bụi của thiết bị, đồng thời điều kiện trong phòng không thể tự động thể hiện khả năng bảo vệ bên trong.

Không gian bên trong của EFEM nhỏ, liệu ULPA có thể lắp đặt được trong đó không?
Nó có thể được lắp đặt thông qua EFU kích thước nhỏ hoặc EFU siêu mỏng với cấu trúc nhỏ gọn. Các chi tiết được xác nhận theo kích thước bên trong của EFEM và hành trình cơ cấu.

Các yêu cầu về thoát khí của vật liệu có cần phải được xác nhận riêng không?
nhu cầu. Quá trình lọc hạt ULPA không liên quan đến việc thoát khí của vật liệu và việc thoát khí của vật liệu trong EFEM phải được đánh giá riêng dựa trên các yêu cầu của quy trình.

6. Các bài viết liên quan

Câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA

EFU siêu mỏng

Bộ lọc quạt thiết bị EFU kích thước nhỏ

Bộ lọc hiệu suất cao PTFE HEPA/ULPA

7. Những điểm chính trong việc lựa chọn và nghiệm thu

8. Hỗ trợ kỹ thuật và kết hợp sản phẩm từ Aili Industrial

Dòng sản phẩm của Aili Industrial bao gồm mặt thiết bịBộ lọc quạt cuối thiết bị EFU vàBộ lọc HEPA/ULPA，Các mô hình EFU siêu mỏng và kích thước nhỏ có thể phù hợp với cấu trúc cấp khí cục bộ theo điều kiện không gian của EFEM.Bộ lọc PTFE HEPA/ULPA có thể được đánh giá về tính phù hợp dựa trên yêu cầu thoát khí của vật liệu.Bộ lọc quạt cuối thiết bị EFU được trang bị đường dẫn wafer và hoạt động cơ học để xác nhận phạm vi cung cấp không khí.EFU siêu mỏng cấu hình hướng thoát khí theo cấu trúc khoang trong không gian hạn chế của EFEM.Bộ lọc quạt thiết bị EFU kích thước nhỏ tương ứng với khu vực tải nhỏ gọn hơn;Dự án bộ lọc ULPA phi tiêu chuẩn xác nhận vị trí bề mặt bộ lọc và hướng thoát khí theo cấu trúc bên trong của EFEM và khả năng tiếp cận kiểm tra bên trong của thiết bị được xác nhận trong giai đoạn sơ đồ kết cấu.Bộ lọc quạt cuối thiết bị EFU có thể xác nhận các điều kiện cung cấp không khí theo trình tự hành động của thiết bị.Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại các thông số về trạng thái vận hành của thiết bị và thể tích không khí, đồng thời so sánh chúng với trạng thái hoạt động thực tế trong quá trình xác minh; đánh giá tác động của tắc nghẽn dựa trên hành trình của robot và vị trí bề mặt cấp khí, đồng thời điều chỉnh vị trí bề mặt bộ lọc hoặc tăng nguồn cấp khí cục bộ nếu cần. Cung cấp các mục tiêu quy trình, bản vẽ lắp đặt, điều kiện vận hành và yêu cầu chấp nhận, đồng thời có thể truyền đạt thêm các thông số kỹ thuật tiêu chuẩn ULPA, giao diện phi tiêu chuẩn, mẫu và khớp lô. Các thông số cụ thể và phạm vi thử nghiệm dựa trên mô hình và tài liệu kỹ thuật đã được xác nhận.