Khi nào hệ thống ULPA yêu cầu kiểm tra mô hình luồng không khí? Thay đổi bố cục và xác nhận điều kiện làm việc

lọc ULPA cần xác nhận tác động của đường dẫn khí, thay đổi bố cục hoặc di chuyển ô nhiễm, việc kiểm tra mô hình luồng không khí có thể được thực hiện theo yêu cầu của dự án. Khi hệ thống Thử nghiệm phải phục vụ một vấn đề cụ thể và kiểm soát tác động của phương pháp đánh dấu đến môi trường. Kiểm tra mô hình luồng không khí không phải là hạng mục kiểm tra thông thường và không cần phải thực hiện thường xuyên. Giá trị của nó nằm ở việc trả lời các câu hỏi cụ thể: liệu luồng không khí có đi theo đường dẫn được thiết kế hay không, liệu khu vực được bảo vệ có bị ảnh hưởng sau khi thay đổi bố cục hay không, liệu dòng điện xoáy cục bộ có mang chất gây ô nhiễm vào phôi hay không. Không có câu hỏi rõ ràng nào trong bài kiểm tra mô hình dòng chảy và khó sử dụng hình ảnh được chụp để đánh giá. Công nghiệp Aili làBộ lọc quạt FFU vàBộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU có thể được trang bị thử nghiệm mô hình dòng chảy theo yêu cầu của dự án.Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại trạng thái vận hành trong quá trình thử nghiệm sao cho hình ảnh mô hình dòng chảy tương ứng với điều kiện làm việc thực tế.

1. Làm rõ hiện tượng cần quan sát: chảy ngược, chập mạch, tắc nghẽn hoặc ảnh hưởng đến việc mở cửa

Chẳng hạn như dòng chảy ngược, đoản mạch, tắc nghẽn, mở cửa hoặc chuyển động của thiết bị, xác định vị trí quan sát, chế độ vận hành và phương pháp ghi.

Bước đầu tiên trong thử nghiệm luồng là xác định vấn đề. Điều cần quan sát là liệu luồng không khí có hướng xuống theo phương thẳng đứng trên một trạm làm việc nhất định hay không, liệu có dòng chảy ngược trong khu vực bảo vệ khi thiết bị đang hoạt động hay không, liệu không khí bên ngoài có lọt vào khi cửa mở hay không, hoặc liệu dòng nhiễu động có được hình thành ở hạ lưu của chướng ngại vật hay không. Các vấn đề khác nhau tương ứng với các vị trí quan sát, chế độ vận hành và phương pháp ghi khác nhau. Công nghiệp Aili làTrong sơ đồ kết hợp bộ lọc HEPA/ULPA , mục đích thiết kế tổ chức luồng không khí được giải thích theo khu vực bảo vệ và cách bố trí thiết bị.Dự án bộ lọc ULPA không chuẩn có thể xác nhận các vị trí trọng yếu cần quan sát theo cấu trúc thiết bị. Mối quan hệ giữa yêu cầu về cấp độ và luồng không khí có thể được tìm thấy trongSo sánh mức độ s�。

2. Chọn phương pháp áp dụng: môi trường đánh dấu phải tương thích với vật liệu xử lý

Môi trường đánh dấu và hoạt động phải tương thích với vật liệu xử lý và các yêu cầu về độ sạch để tránh gây ô nhiễm khó loại bỏ nhằm mục đích quan sát; nó phải được thực hiện theo các thủ tục đã được phê duyệt.

Kiểm tra mô hình dòng chảy thường sử dụng khói hoặc phương tiện đánh dấu khác, bản thân chúng có thể là hạt hoặc hóa chất. Ở những khu vực có yêu cầu về độ sạch cao, cần phải đánh giá việc lựa chọn và liều lượng phương tiện đánh dấu: liệu phương tiện đó có ảnh hưởng đến sản phẩm hay không, liệu nó có dễ loại bỏ hay không và liệu nó có tương thích với vật liệu xử lý hay không. Kế hoạch thử nghiệm phải được thực hiện sau khi dự án được phê duyệt. Công nghiệp Aili làTrong thử nghiệm mẫu dòng cuối của thiết bị bộ lọc quạt cuối thiết bị EFU , nên chọn phương pháp theo dõi theo yêu cầu về không gian và quy trình bên trong của thiết bị.Để quan sát mẫu dòng chảy của các mô hình nhỏ gọn như EFU siêu mỏng , cửa sổ quan sát có thể được xác định theo cấu trúc khoang. Để lựa chọn phương pháp thử nghiệm, vui lòng tham khảoCác câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn về HEPA。

3. Giải thích kết hợp với các dữ liệu khác: hình ảnh phải tương ứng với ranh giới thể tích, áp suất và quy trình không khí

Hình ảnh mô hình dòng chảy phải tương ứng với ranh giới thể tích không khí, áp suất và quy trình. Một hình ảnh tĩnh không thể được coi là kết luận của tất cả các trạng thái hoạt động.

Hình ảnh mô hình dòng chảy là tức thời và cục bộ và phải được diễn giải cùng với thể tích không khí, áp suất và trạng thái quá trình. Kiểu luồng không khí giống nhau có ý nghĩa khác nhau khi lưu lượng không khí cao và lưu lượng không khí thấp; cùng một hình ảnh thể hiện các trạng thái khác nhau khi thiết bị đứng yên và đang chạy. Công nghiệp Aili làCác thông số về thể tích và áp suất không khí được ghi đồng thời trong gói thử nghiệm mô hình dòng chảy của bộ lọc quạt FFU .Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại chế độ vận hành và dữ liệu phân vùng trong quá trình thử nghiệm, đồng thời hình ảnh mô hình dòng chảy và dữ liệu vận hành được lưu trữ tương ứng. Để biết mối quan hệ giữa mô hình dòng chảy và dữ liệu vận hành, vui lòng tham khảoCâu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA。

4. Khi cơ chế tự động di chuyển, khu vực được bảo vệ bị nghi ngờ có dòng chảy ngược và phải ghi lại toàn bộ quá trình hành động.

Khi cơ chế tự động chuyển động, nghi ngờ có dòng chảy ngược trong khu vực được bảo vệ. Quá trình hành động hoàn chỉnh phải được ghi lại thay vì chỉ chụp ảnh mô hình dòng chảy khi thiết bị đứng yên. Chuyển động của thiết bị sẽ thay đổi luồng không khí cục bộ và mô hình dòng chảy ở trạng thái tĩnh không thể biểu thị trạng thái vận hành.

Công nghiệp Aili làBộ lọc ULPA không chuẩn vàTrong thử nghiệm mẫu dòng cuối của thiết bị bộ lọc quạt cuối thiết bị EFU , các nút quan sát được xác định theo trình tự hành động của thiết bị, bao gồm trạng thái chuyển động của cơ chế, đóng mở cửa cũng như ra vào sóng mang;Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại các điểm thời gian hành động và các thông số vận hành, đồng thời các bản ghi mẫu dòng chảy có thể tương ứng với các hành động theo trình tự thời gian. Để biết mối quan hệ giữa hoạt động của thiết bị và mô hình luồng, vui lòng tham khảoCâu hỏi thường gặp về EFU và hỗ trợ kỹ thuật。

5. Câu hỏi và đáp án liên quan

Việc dòng chảy trông trơn tru có nghĩa là độ sạch có thể chấp nhận được phải không?
Hạt do dự án chỉ định và xác minh hiệu suất khác vẫn cần phải được hoàn thành và các quan sát không thể thay thế tất cả các thử nghiệm.

Việc kiểm tra mô hình dòng chảy có cần phải được thực hiện thường xuyên không?
Thông thường, việc này không cần phải được thực hiện thường xuyên và được thực hiện khi bố cục thay đổi, điều chỉnh quy trình hoặc khi cần xác định các vấn đề về luồng khí cụ thể.

Phương tiện đánh dấu có làm ô nhiễm các khu vực sạch không?
Cần đánh giá tính tương thích của môi trường với quy trình và phương pháp loại bỏ, thực hiện theo quy trình đã được phê duyệt, đồng thời kiểm soát liều lượng và dư lượng.

6. Các bài viết liên quan

Câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA

EFU siêu mỏng

Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU

Các câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn về HEPA

7. Những điểm chính trong việc lựa chọn và nghiệm thu

8. Hỗ trợ kỹ thuật và kết hợp sản phẩm từ Aili Industrial

Công nghiệp Aili làBộ lọc quạt FFU vàBộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU có thể được trang bị thử nghiệm mô hình dòng chảy theo yêu cầu của dự án.Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại trạng thái vận hành, chế độ vận hành và dữ liệu phân vùng trong quá trình thử nghiệm, cho phép hình ảnh mô hình dòng chảy tương ứng với điều kiện làm việc thực tế.Kế hoạch phù hợp với bộ lọc HEPA/ULPA giải thích ý định thiết kế tổ chức luồng không khí theo khu vực bảo vệ và cách bố trí thiết bị.Dự án lọc ULPA không chuẩn xác nhận các vị trí trọng yếu cần quan sát theo kết cấu thiết bị;Thử nghiệm mẫu dòng chảy cuối của thiết bị quạt cuối thiết bị EFU chọn phương pháp theo dõi theo yêu cầu về không gian bên trong và quy trình của thiết bị.Quan sát mẫu dòng EFU siêu mỏng xác định cửa sổ quan sát theo cấu trúc khoang.Thử nghiệm mô hình dòng chảy của bộ lọc quạt FFU được trang bị tính năng ghi đồng bộ các thông số thể tích và áp suất không khí, đồng thời các bản ghi mô hình dòng và thời gian hoạt động của thiết bị được lưu trữ theo chuỗi thời gian. Cung cấp các mục tiêu quy trình, bản vẽ lắp đặt, điều kiện vận hành và yêu cầu chấp nhận, đồng thời có thể truyền đạt thêm các thông số kỹ thuật tiêu chuẩn ULPA, giao diện phi tiêu chuẩn, mẫu và khớp lô. Các thông số cụ thể và phạm vi thử nghiệm dựa trên mô hình và tài liệu kỹ thuật đã được xác nhận.