Làm thế nào để sắp xếp khoảng cách giữa gió cấp và gió hồi của ULPA? Đường dẫn luồng không khí và giao diện thiết bị

Không có giá trị cố định cho khoảng cách giữa gió cấp và gió hồi của bộ lọc ULPA áp dụng cho tất cả các phòng. Đường dẫn khí hoàn chỉnh phải được bố trí theo không gian, thiết bị, nguồn nhiệt và khí thải của quá trình. Khoảng cách chỉ là một yếu tố trong cách bố trí. Việc sắp xếp khoảng cách giữa không khí cấp và không khí hồi về cơ bản trả lời câu hỏi 'không khí đi vào đâu, đi qua cái gì và đi ra ngoài ở đâu'. Nếu khoảng cách quá gần, luồng không khí sẽ bị đoản mạch và không khí sạch sẽ bị hút đi mà không đi qua phôi; nếu khoảng cách quá xa, đường đi sẽ dễ bị chặn bởi thiết bị hoặc con người và hướng của luồng không khí sẽ thay đổi. Phạm vi khoảng cách hợp lý phụ thuộc vào vị trí của vật thể được bảo vệ, chiều cao không gian, cách bố trí thiết bị và phân bổ nguồn nhiệt, thay vì một giá trị cố định có thể tra cứu trong bảng. Công nghiệp Aili làBộ lọc quạt FFU vàKhi khớp bộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU , hãy kiểm tra vị trí của bề mặt cấp khí và đường dẫn khí hồi trong cùng một sơ đồ.Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại lượng không khí và sự phân bố áp suất trong các vùng. Khi điều chỉnh khoảng cách giữa gió cấp và gió hồi, dữ liệu đo được thực tế có thể được so sánh với ý định thiết kế.

1. Theo dõi luồng không khí từ khu vực được bảo vệ: không khí có đi qua phôi không?

Xác nhận xem không khí có thể tiếp cận không khí hồi sau khi đi qua phôi hay không và sẽ không bị hút đi trước bởi không khí hồi gần cuối và sẽ không gây ô nhiễm từ nhân viên hoặc thiết bị đến các bề mặt nhạy cảm.

Tiêu chí để đánh giá tính hợp lý của khoảng cách giữa không khí cấp và không khí hồi là liệu luồng không khí có đi qua đối tượng được bảo vệ hay không. Nếu cửa thoát khí hồi quá gần bề mặt cấp khí và nằm ở phía trước phôi, luồng khí sẽ đi theo đường ngắn nhất trực tiếp vào cửa thoát khí hồi và phôi sẽ không được bảo vệ hiệu quả. Nếu cửa thoát gió hồi ở xa phôi và có chướng ngại vật trên đường đi, luồng khí có thể bị lệch và phôi cũng không được bảo vệ đầy đủ. Công nghiệp Aili làTrong giải pháp kết hợp bộ lọc HEPA/ULPA , mục đích thiết kế đường dẫn luồng khí được giải thích tùy theo vị trí phôi và điều kiện không khí hồi.Thử nghiệm máy hoàn chỉnh của bộ lọc quạt FFU ghi lại thể tích không khí và phân bổ áp suất trong khu vực. Trong quá trình đánh giá đường dẫn, khoảng cách hợp lý giữa không khí cấp và không khí hồi có thể được suy ra từ vị trí của phôi. Mối quan hệ giữa yêu cầu về cấp độ và luồng không khí có thể được tìm thấy trongSo sánh mức độ sạch ISO。

2. Xem xét chiều cao và độ tắc: khoảng cách mặt phẳng không bằng đường đi thực tế

Khoảng cách mặt phẳng giống nhau có thể tạo ra các đường đi khác nhau ở các độ cao, vách ngăn và bố trí thiết bị khác nhau. Khoảng cách không thể chỉ được đo trên bản đồ mặt phẳng.

Khoảng cách giữa cửa thoát khí cấp và cửa thoát khí hồi trên sơ đồ là khoảng cách hình học và đường dẫn khí thực tế là ba chiều. Chiều cao trần khác nhau, thiết bị hoặc vách ngăn ở giữa khác nhau và cửa thoát gió hồi ở các độ cao khác nhau đều sẽ khiến luồng khí đi theo những đường khác nhau. Công nghiệp Aili làbộ lọc quạt cuối thiết bị EFU, hãy xác nhận kênh luồng khí theo chiều cao của thiết bị và cấu trúc bên trong.Khi khớp Các mẫu nhỏ gọn như EFU siêu mỏng cân bằng hướng thoát khí và trả lại điều kiện không khí trong một độ cao giới hạn.Dự án bộ lọc ULPA phi tiêu chuẩn có thể đánh giá tính khả thi của khoảng cách không khí quay trở lại theo cấu hình không gian. Mối quan hệ giữa chiều cao và đường dẫn luồng không khí có thể được đề cập đếnCác câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn về HEPA。

3. Nguồn nhiệt và khí thải của quá trình sẽ thay đổi đường đi: chúng ta không thể chỉ nhìn vào bố cục hình học

Hệ thống sưởi của thiết bị tạo ra các luồng không khí bốc lên và quá trình khí thải làm thay đổi áp suất cục bộ, cả hai đều có thể lệch khỏi đường dẫn luồng khí thực tế so với cách sắp xếp hình học. Hướng luồng khí phía trên nguồn nhiệt có thể hướng lên trên, ngược với hướng cấp khí; khi thể tích khí thải của quá trình quá lớn, không khí xung quanh sẽ bị hút về phía cổng xả, làm thay đổi đường cấp và hồi khí.

Công nghiệp Aili làBộ lọc quạt FFU vàbộ lọc quạt cuối thiết bị EFU, có thể kiểm tra các thông số cấp không khí dựa trên điều kiện tải nhiệt và khí thải của thiết bị.Khi khớp Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại thể tích và áp suất không khí ở các chế độ vận hành khác nhau và kiểm tra đường dẫn theo trạng thái thực tế của nguồn nhiệt và khí thải trong quá trình thử nghiệm. Mối quan hệ giữa nguồn nhiệt và đường dẫn khí có thể được đề cập đếnCâu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA。

4. Khi cửa thoát khí hồi ở gần đỉnh phôi, cần đánh giá xem có bị đoản mạch nguồn cấp khí hay không.

Khi cửa thoát khí hồi ở gần đỉnh phôi, cần đánh giá xem nguồn cấp khí có bị đoản mạch hay không. Nó không thể được đánh giá chỉ dựa trên lượng không khí hồi lưu đạt tiêu chuẩn. Khi cửa thoát khí hồi được đặt ở vị trí cao hơn hoặc gần phôi gia công, không khí sạch có thể thoát ra khỏi bề mặt cấp khí và trực tiếp đi vào cửa thoát khí hồi, khiến phôi nằm ngoài đường dẫn khí.

Công nghiệp Aili làBộ lọc ULPA không chuẩn vàbộ lọc quạt FFU , rủi ro đoản mạch được đánh giá dựa trên vị trí của cửa thoát khí hồi và chiều cao của phôi.Trong gói Giải pháp phía thiết bị bộ lọc quạt phía thiết bị EFU có thể xác nhận hướng thoát khí theo vị trí của phôi, cho phép luồng khí đi qua phôi trước khi xả ra ngoài. Mối quan hệ giữa cách bố trí gió hồi và đoản mạch có thể được đề cập đếnCâu hỏi thường gặp về EFU và hỗ trợ kỹ thuật。

5. Xác minh theo hoạt động thực tế: bật khí trở lại và khí thải có liên quan cùng một lúc

Đồng thời, bật khí hồi lưu và khí thải có liên quan, quan sát hoặc đo đường dẫn và hiệu suất khu vực, đồng thời kiểm tra mối quan hệ giữa các máy trạm liền kề và áp suất sau khi cải chính.

Khoảng cách và cách bố trí trong giai đoạn thiết kế là cơ sở, hiệu quả thực tế phải được khẳng định trong điều kiện vận hành thực tế. Đồng thời mở khí cấp, khí hồi và xử lý khí thải, vận hành cửa và thiết bị theo trạng thái thực tế, đồng thời quan sát xem luồng khí có đi qua khu vực được bảo vệ theo đường dẫn thiết kế hay không. Công nghiệp Aili làBộ lọc quạt FFU vàBộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU hỗ trợ điều chỉnh tốc độ vùng.Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại thể tích, áp suất và chế độ vận hành không khí của vùng, đồng thời có thể so sánh các thông số thiết kế theo trạng thái vận hành thực tế trong quá trình xác minh. Để biết các phương pháp xác minh hoạt động thực tế, vui lòng tham khảoCác câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn về HEPA。

6. Câu hỏi và đáp án liên quan

Gió về càng xa thì càng tốt?
Quá xa cũng có thể làm tăng khả năng lưu giữ và tắc nghẽn, điều này cần được xác định dựa trên đường dẫn khí hợp lý và kết quả xác minh.

Nếu khoảng cách trên sơ đồ mặt bằng là phù hợp thì luồng không khí thực tế có hợp lý không?
không chắc chắn. Chiều cao, sự tắc nghẽn, nguồn nhiệt và khí thải của quá trình đều sẽ thay đổi đường dẫn thực tế và cần được xác minh trong điều kiện vận hành thực tế.

Cửa thoát khí hồi ở gần phía trên phôi. Chắc chắn là bị chập mạch phải không?
Cần đánh giá. Nguy cơ đoản mạch cao hơn khi cửa thoát khí hồi gần phôi, nhưng nó cũng phụ thuộc vào hướng cấp khí, lượng không khí và chiều cao của phôi và cần được xác nhận thông qua thử nghiệm.

7. Các bài viết liên quan

Câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA

EFU siêu mỏng

FFU được trang bị bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA

Các câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn về HEPA

8. Những điểm chính trong việc lựa chọn và nghiệm thu

9. Hỗ trợ kỹ thuật và kết hợp sản phẩm từ Aili Industrial

Công nghiệp Aili làBộ lọc quạt FFU vàKhi khớp bộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU , hãy kiểm tra vị trí của bề mặt cấp khí và đường dẫn khí hồi trong cùng một sơ đồ.Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại thể tích, áp suất và chế độ vận hành của vùng. Khi điều chỉnh khoảng cách giữa gió cấp và gió hồi, dữ liệu đo được thực tế có thể được so sánh với ý định thiết kế.Giải pháp kết hợp bộ lọc HEPA/ULPA giải thích ý định thiết kế đường dẫn luồng khí theo vị trí phôi và điều kiện không khí hồi.Bộ lọc quạt FFU hoàn chỉnh kiểm tra máy ghi lại thể tích không khí và phân bổ áp suất trong khu vực;Bộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU được trang bị để xác nhận kênh luồng khí theo chiều cao và cấu trúc bên trong của thiết bị.EFU siêu mỏng cân bằng hướng thoát khí và điều kiện không khí quay trở lại trong một độ cao giới hạn.Dự án bộ lọc ULPA phi tiêu chuẩn đánh giá tính khả thi của khoảng cách không khí hồi lưu dựa trên mặt cắt không gian.Bộ lọc quạt FFU vàBộ lọc quạt cuối thiết bị EFU có thể được sử dụng để kiểm tra các thông số cung cấp không khí dựa trên điều kiện tải nhiệt và khí thải của thiết bị.Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại thể tích và áp suất không khí ở các chế độ vận hành khác nhau. Trong quá trình thử nghiệm, đường dẫn được kiểm tra theo trạng thái thực tế của nguồn nhiệt và khí thải. Khi cửa thoát khí hồi gần với phôi, việc đánh giá rủi ro ngắn mạch được thực hiện và hướng thoát khí được điều chỉnh. Cung cấp các mục tiêu quy trình, bản vẽ lắp đặt, điều kiện vận hành và yêu cầu chấp nhận, đồng thời có thể truyền đạt thêm các thông số kỹ thuật tiêu chuẩn ULPA, giao diện phi tiêu chuẩn, mẫu và khớp lô. Các thông số cụ thể và phạm vi thử nghiệm dựa trên mô hình và tài liệu kỹ thuật đã được xác nhận.