Làm thế nào để đối phó với tình trạng đoản mạch hoặc dòng khí chảy ngược của nguồn cung cấp khí ULPA? Bố trí khí thải hồi lưu và xử lý

Nếu nguồn cung cấp không khí của bộ lọc ULPA bị đoản mạch hoặc chảy ngược, mối quan hệ không gian giữa không khí hồi lưu và khí thải của quá trình phải được điều chỉnh để cho phép không khí sạch đi qua khu vực được bảo vệ như thiết kế. Việc tăng mức lọc đầu cuối không tự động điều chỉnh các đường dẫn khí không chính xác. Bản chất của hiện tượng đoản mạch nguồn cung cấp không khí là 'không khí sạch không đi đến nơi cần đến': sau khi thoát ra khỏi bề mặt cấp không khí, nó sẽ bị cửa thoát khí hồi gần đó hút trực tiếp hoặc bị khí thải của thiết bị lấy đi mà không đi qua phôi và khu vực bảo vệ. Bản chất của dòng chảy ngược là 'không khí lẽ ra không thể thoát ra ngoài': đường dẫn khí quay trở lại bị chặn và luồng không khí chảy theo hướng ngược lại cục bộ. Cả hai trường hợp đều dẫn đến cùng một vấn đề - đường dẫn luồng khí không như thiết kế. Công nghiệp Aili làBộ lọc quạt FFU vàbộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU , hướng cấp khí và điều kiện không khí hồi được kiểm tra trong cùng một sơ đồ.Khi khớp Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại lượng không khí và trạng thái hoạt động của các vùng. Khi đường dẫn luồng không khí bất thường, dữ liệu đo được có thể được so sánh với phương án thiết kế.

1. Đầu tiên hãy quan sát đường đi thực tế: không khí cấp bị hút đi hoặc không thể thoát ra ngoài.

Kết hợp với tốc độ gió, áp suất và thử nghiệm mô hình dòng chảy hiện hành, xác định các vị trí nơi không khí cung cấp bị hút trực tiếp bởi không khí quay trở lại, luồng khí cản trở hoặc dòng chảy ngược cục bộ.

Đoản mạch và dòng chảy ngược hoạt động khác nhau và trọng tâm quan sát cũng khác nhau. Trong thời gian ngắn mạch, tốc độ gió gần bề mặt cấp khí có thể bình thường, nhưng tốc độ gió trong khu vực được bảo vệ thấp và hướng luồng khí thiên về cửa thoát khí hồi hơn là phôi; trong quá trình quay trở lại, tốc độ gió ở khu vực cục bộ có thể bị đảo ngược hoặc sự phân bổ áp suất có thể trái ngược với thiết kế. Khi quan sát, cần kết hợp đo tốc độ gió, phân bố áp suất và kiểm tra mô hình dòng chảy cần thiết để đánh dấu các vị trí bất thường. Công nghiệp Aili làSơ đồ kết hợp bộ lọc HEPA/ULPA giải thích các điều kiện phù hợp với hướng gió cấp và gió hồi.Thử nghiệm máy hoàn chỉnh của bộ lọc quạt FFU ghi lại thể tích không khí và phân bổ áp suất của các vùng. Nếu đường dẫn không bình thường, nó có thể được định vị theo dữ liệu thử nghiệm. Mối quan hệ giữa yêu cầu về cấp độ và luồng không khí có thể được tìm thấy trongSo sánh mức độ sạch ISO。

2. Kiểm tra xem tất cả các hệ thống có đang chạy cùng lúc hay không: không khí cấp, không khí hồi và khí thải quá trình phải được xem xét cùng nhau.

Việc cung cấp không khí, không khí trở lại và khí thải của thiết bị phải được kiểm tra theo chế độ thực. Chuyển động của cửa và thiết bị cũng có thể thay đổi đường dẫn và không thể được đánh giá chỉ khi ngừng sản xuất.

Đường dẫn luồng không khí không được xác định đơn phương bởi hệ thống cung cấp không khí. Áp suất âm của cửa thoát khí hồi, lực kéo của khí thải trong quá trình và trạng thái đóng mở của cửa đều sẽ thay đổi hướng của luồng khí. Nếu bạn chỉ bật khí cấp mà không bật khí hồi hoặc chỉ quan sát khi không sản xuất thì đường dẫn bạn nhìn thấy có thể khác hoàn toàn với đường dẫn trong quá trình vận hành thực tế. Công nghiệp Aili làbộ lọc quạt cuối thiết bị EFU .Xác nhận các điều kiện luồng khí theo chế độ vận hành của thiết bị khi khớp với Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU có thể ghi lại lượng và trạng thái không khí ở các chế độ vận hành khác nhau. Trong quá trình thử nghiệm, sự tương tác của không khí cấp, khí hồi và khí thải được kiểm tra theo chế độ vận hành thực tế. Để biết các điều kiện xác minh của đường dẫn luồng khí ở cuối thiết bị, vui lòng tham khảoCâu hỏi thường gặp về EFU và hỗ trợ kỹ thuật。

3. Chỉnh sửa thông qua bố cục và điều khiển: điều chỉnh vị trí và thông số cùng nhau

Sau khi điều chỉnh các giao diện, chướng ngại vật hoặc phân bổ thể tích không khí, hãy xem xét các hạng mục bị ảnh hưởng như luồng không khí, hạt và áp suất để tránh truyền sự cố sang các máy trạm lân cận.

Có hai cách để khắc phục hiện tượng đoản mạch và dòng chảy ngược: điều chỉnh bố cục và điều chỉnh tham số. Điều chỉnh bố cục bao gồm thay đổi vị trí của cửa thoát gió hồi, tăng khoảng cách đường dẫn giữa gió cấp và gió hồi, đồng thời điều chỉnh vị trí của thiết bị hoặc chướng ngại vật; điều chỉnh tham số bao gồm thay đổi tỷ lệ thể tích không khí của không khí cấp và không khí hồi, điều chỉnh lượng khí thải của quá trình và điều chỉnh hướng cấp khí cục bộ. Điều chỉnh bố cục sẽ thay đổi đường dẫn luồng khí và điều chỉnh tham số sẽ thay đổi lực truyền động luồng khí. Cả hai thường cần phải được phối hợp. Công nghiệp Aili làBộ lọc ULPA không chuẩn vàbộ lọc quạt FFU , kế hoạch khắc phục được đánh giá theo cách bố trí thiết bị và điều kiện không khí hồi lưu.Trong gói Bộ lọc quạt FFU hỗ trợ điều chỉnh tốc độ để tạo điều kiện thuận lợi cho việc điều chỉnh phân bổ lượng không khí.Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại sự so sánh các thông số vận hành trước và sau khi chỉnh lưu. Để biết sự phối hợp giữa kế hoạch khắc phục và xác minh, vui lòng tham khảoCâu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA。

4. Khi cửa thoát khí hồi quá gần và luồng khí sạch đi qua phôi, cần đánh giá lại cách bố trí luồng khí hồi.

Khi cửa thoát khí hồi quá gần và luồng không khí sạch đi qua phôi, cách bố trí không khí hồi và tấm chắn thiết bị phải được đánh giá lại thay vì tăng lượng cung cấp không khí một cách mù quáng. Việc tăng lượng cung cấp không khí sẽ tạo ra nhiều luồng không khí hơn trong thời gian ngắn mạch, nhưng hướng đường dẫn không thay đổi và khả năng bảo vệ ở phôi vẫn chưa đủ.

Công nghiệp Aili làBộ lọc quạt FFU vàTrong giải pháp phù hợp của bộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU , đường dẫn khí được kiểm tra theo vị trí của phôi và cửa thoát khí hồi. Nếu cửa gió hồi quá gần, hãy điều chỉnh nó theo hướng bố trí thay vì bù bằng lượng gió cấp. Có thể kết hợp các kịch bản bảo vệ cục bộ ở phía thiết bịEFU siêu mỏng được cấu hình để cho phép luồng khí đi qua phôi và sau đó được thải ra ngoài. Hướng thoát khí của Mối quan hệ giữa cách bố trí luồng gió hồi và đường dẫn luồng gió có thể được đề cập đếnCác câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn về HEPA。

5. Hỏi đáp liên quan

Việc kiểm tra mô hình dòng chảy có nhất thiết thất bại nếu bạn nhìn thấy các xoáy không?
Nó cần được đánh giá theo các quy định của dự án dựa trên mục đích thử nghiệm, vị trí và tác động di chuyển ô nhiễm, chứ không thể chỉ nhìn vào hình dạng.

Có thể giải quyết tình trạng đoản mạch nguồn cung cấp không khí bằng cách tăng lượng cung cấp không khí?
Thường thì không. Việc tăng lượng cung cấp không khí có thể cho phép nhiều luồng không khí ngắn mạch hơn và khả năng bảo vệ vẫn không đủ nếu hướng đường dẫn không thay đổi.

Các khu vực lân cận có cần được xem xét lại sau khi cải tạo không?
nhu cầu. Việc điều chỉnh luồng không khí có thể chuyển vấn đề sang các trạm làm việc lân cận và cần được xem xét dựa trên phạm vi tác động.

6. Các bài viết liên quan

Câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA

Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU

EFU siêu mỏng

Các câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn về HEPA

7. Những điểm chính trong việc lựa chọn và nghiệm thu

8. Hỗ trợ kỹ thuật và kết hợp sản phẩm từ Aili Industrial

Công nghiệp Aili làBộ lọc quạt FFU vàbộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU , hướng cấp khí và điều kiện không khí hồi được kiểm tra trong cùng một sơ đồ.Khi khớp Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại lượng không khí và trạng thái hoạt động của các vùng. Khi đường dẫn luồng không khí bất thường, dữ liệu đo được có thể được so sánh với phương án thiết kế.Sơ đồ kết hợp bộ lọc HEPA/ULPA giải thích các điều kiện phù hợp với hướng gió cấp và gió hồi.Thử nghiệm máy hoàn chỉnh của bộ lọc quạt FFU ghi lại thể tích không khí và phân bổ áp suất trong khu vực;Bộ lọc quạt phía thiết bị EFU được trang bị bộ lọc quạt để xác nhận các điều kiện luồng không khí theo chế độ vận hành của thiết bị.Bộ lọc ULPA không chuẩn vàThiết bị hỗ trợ bộ lọc quạt FFU đánh giá kế hoạch khắc phục dựa trên cách bố trí thiết bị và điều kiện không khí hồi lưu.Bộ lọc quạt FFU hỗ trợ điều chỉnh tốc độ để thuận tiện cho việc điều chỉnh phân bổ lượng không khí; khi cửa gió hồi quá gần, hãy điều chỉnh theo hướng bố trí.Cấu hình hướng thoát khí của EFU siêu mỏng cho phép luồng khí đi qua phôi và sau đó được thải ra. Cung cấp các mục tiêu quy trình, bản vẽ lắp đặt, điều kiện vận hành và yêu cầu chấp nhận, đồng thời có thể truyền đạt thêm các thông số kỹ thuật tiêu chuẩn ULPA, giao diện phi tiêu chuẩn, mẫu và khớp lô. Các thông số cụ thể và phạm vi thử nghiệm dựa trên mô hình và tài liệu kỹ thuật đã được xác nhận.