ULPAエア供給のショートや逆流が発生した場合の対処方法は？戻り空気とプロセス排気のレイアウト

ULPA フィルターの空気供給が短絡または逆流した場合は、設計どおりに清浄な空気が保護領域を通過できるように、戻り空気とプロセス排気の空間関係を調整する必要があります。ターミナルの濾過レベルを上げても、誤った空気経路が自動的に修正されるわけではありません。給気ショートの本質は、「きれいな空気が行くべきところに行かない」ということです。給気面から出た清浄な空気は、ワークや保護エリアを通らずに、近くの戻り空気出口から直接吸い込まれるか、装置の排気によって持ち去られてしまいます。逆流の本質は「出るべき空気が出ていかない」ことであり、戻り空気の経路が遮断され、空気の流れが局所的に逆方向に流れる。どちらの場合も同じ問題を示しています。つまり、空気流路が設計どおりではありません。アイリ産業はFFUファンフィルターユニットとEFU機器側のファンフィルタユニットとのマッチングの際、給気方向と還気条件を同一プランで確認します。FFUコンピュータグループ制御システムは、ゾーンの風量と動作状態を記録します。空気流路に異常がある場合、測定データと設計図を比較することができます。

1. まず実際の経路を観察します。供給エアが吸い取られたり、出られなくなったりします。

風速、圧力、該当する流れパターンのテストと組み合わせることで、供給空気が戻り空気、妨害となる後流、または局所的な逆流によって直接吸い取られる場所を特定します。

短絡と逆流では挙動が異なり、観察の焦点も異なります。短絡中、給気面付近の風速は正常ですが、保護領域の風速は低く、空気の流れの方向はワークではなく戻り空気出口に偏ります。戻り流中に、局所領域の風速が逆転したり、圧力分布が設計とは逆になる可能性があります。観察する際には、風速測定、圧力分布、および必要な流れパターンのテストを組み合わせて、異常な場所をマークする必要があります。アイリ産業はHEPA/ULPAフィルターマッチングプランでは、給気方向と還気のマッチング条件を説明します。FFU ファン フィルター ユニットの完全な機械テストでは、ゾーンの空気量と圧力分布が記録されます。パスに異常がある場合は、テスト データに従ってそのパスを特定できます。グレードとエアフロー要件の関係は、次のとおりです。ISO清浄度レベルの比較。

2. すべてのシステムが同時に稼働していることを確認します。供給空気、戻り空気、プロセス排気を一緒に確認する必要があります。

給気、還気、装置の排気はリアルモードに合わせて確認してください。ドアや設備の動きによっても経路が変化する可能性があり、生産停止時だけでは判断できません。

空気の流れの経路は、空気供給システムによって一方的に決定されるわけではありません。戻り空気出口の負圧、プロセス排気の吸引力、ドアの開閉状態により空気の流れの方向が変化します。供給空気のみをオンにして戻り空気をオンにしない場合や、非生産時に観察のみを行う場合、実際の動作時とまったく異なる経路が表示される可能性があります。アイリ産業はEFU装置側ファンフィルタユニットのマッチング時には、装置の動作モードに応じた風量条件を確認してください。FFU コンピュータグループ制御システムは、さまざまな動作モードでの風量とステータスを記録できます。テスト中は、実際の動作モードに従って、給気、戻り空気、排気の相互作用がチェックされます。装置端の風路の検証条件はこちらをご参照ください。EFU FAQ とテクニカル サポート。

3. レイアウトとコントロールによる修正: 位置とパラメータを一緒に調整します

インターフェース、障害物、または空気量の分布を調整した後、隣接するワークステーションに問題が波及するのを避けるために、気流、粒子、圧力などの影響を受ける項目を確認します。

ショートやリフローを修正するには、レイアウト調整とパラメータ調整の 2 つの方法があります。レイアウト調整には、還気出口の位置の変更、給気と還気間の経路距離の増加、機器や障害物の位置の調整などが含まれます。パラメータ調整には、供給空気と戻り空気の風量比の変更、プロセス排気量の調整、局所空気供給方向の調整が含まれます。レイアウト調整で風路が変わり、パラメータ調整で風駆動力が変わります。多くの場合、この 2 つを調整する必要があります。アイリ産業は非標準のULPAフィルターとFFUファンフィルタユニットパッケージでは、機器レイアウトや還気条件に応じて整流計画を検討します。FFUファンフィルターユニットは速度調整に対応しており、風量分布調整が容易です。FFU コンピュータグループ制御システムは、調整前後の動作パラメータの比較を記録します。是正計画と検証の連携については、こちらをご覧ください。ULPA超高性能フィルターFAQと選定ガイド。

4. 戻り空気出口が近すぎて、清浄な空気の流れがワークピースをバイパスする場合は、戻り空気の配置を再評価する必要があります。

戻り空気出口が近すぎて、きれいな空気の流れがワークピースをバイパスする場合は、やみくもに空気供給量を増やすのではなく、戻り空気のレイアウトと機器のシールドを再評価する必要があります。エア供給量を増やすと短絡時のエア流量は増加しますが、経路方向は変わらず、ワークでの保護はまだ不十分です。

アイリ産業はFFUファンフィルターユニットとEFU装置側のファンフィルタユニットのマッチングソリューションでは、ワークと戻り空気出口の位置に応じて空気流路をチェックします。戻り空気出口が近すぎる場合は、供給空気量で補うのではなく、配置方向から調整してください。デバイス側のローカル保護シナリオを組み合わせることが可能超薄型EFUの排気方向は、気流がワークを通過して排出されるように構成されています。還気配置と空気流路の関係を参照できます。HEPA FAQ と選択ガイド。

5. 関連する質問と回答

渦が見られる場合、フロー パターン テストは必ず不合格になりますか?
試験の目的、場所、汚染移行の影響などを踏まえ、事業ルールに基づいて判断する必要があり、形状だけを見ることはできません。

エア供給量を増やすことでエア供給ショートは解消できますか？
通常はそうではありません。空気供給量を増やすと短絡空気流が多くなる可能性があり、経路方向が変わらない場合は保護が不十分になります。

修正後に隣接エリアを見直す必要はありますか?
必要。エアフローの調整は隣接するワークステーションに問題を移す可能性があるため、影響範囲に基づいて検討する必要があります。

6. 関連記事

ULPA超高性能フィルターFAQと選定ガイド

FFUコンピュータ群制御システム

超薄型EFU

HEPA FAQ と選択ガイド

7. 選定・受入検査のポイント

8. Aili Industrial による製品マッチングと技術サポート

アイリ産業はFFUファンフィルターユニットとEFU機器側のファンフィルタユニットとのマッチングの際、給気方向と還気条件を同一プランで確認します。FFUコンピュータグループ制御システムは、ゾーンの風量と動作状態を記録します。空気流路に異常がある場合、測定データと設計図を比較することができます。HEPA/ULPAフィルターマッチングプランでは、給気方向と還気のマッチング条件を説明しています。FFU ファン フィルター ユニットの完全な機械テストは、地域の風量と圧力分布を記録します。EFU装置側ファンフィルタユニットは、装置の動作モードに応じた風量状態を確認するためのファンフィルタユニットを搭載しています。非標準のULPAフィルターとFFUファンフィルタユニット対応機器は、機器のレイアウトや還気条件に基づいて整流計画を評価します。FFUファンフィルターユニットは速度調整に対応しており、風量分布調整が容易です。戻り空気出口が近すぎる場合は配置方向から調整してください。超薄型EFUの排気方向構成により、気流がワークを通過して排出されます。プロセスの目標、設置図面、動作条件、および受け入れ要件を提供し、さらに ULPA 標準仕様、非標準インターフェース、サンプル、バッ​​チマッチングについても伝達できます。具体的なパラメータとテスト範囲は、確認されたモデルと技術文書に基づいています。