Làm thế nào để thiết kế khu vực dòng chảy một chiều ULPA? Bố trí cung cấp không khí và bảo vệ quá trình

Thiết kế vùng dòng khí một chiều của bộ lọc ULPA nên tập trung vào phạm vi bảo vệ quy trình, phân phối không khí cung cấp, đường dẫn khí hồi lưu và kiểm soát tắc nghẽn. Các quy tắc sắp xếp phần tử bộ lọc không tự động đảm bảo rằng khu vực được bảo vệ tạo thành mô hình dòng chảy dự kiến. Thiết kế luồng một chiều có thể dễ dàng rơi vào tâm lý “cứ đổ đầy”: nếu trần nhà được che bằng bộ lọc và lượng không khí đầy thì coi như đã hình thành luồng một chiều. Tuy nhiên, bản chất của dòng khí một chiều là hướng luồng khí nhất quán, tốc độ đồng đều và đi theo đường thẳng từ bề mặt cấp khí đến bề mặt không khí hồi. Khi bộ lọc đầy, nó chỉ cung cấp bề mặt cấp khí. Luồng khí có thực sự theo đường thẳng hay không phụ thuộc vào vị trí gió hồi, tấm chắn thiết bị và cách bố trí quy trình. Dòng sản phẩm của Aili Industrial bao gồm động cơ, quạt, hệ thống điều khiển, tấm kim loại, bộ lọc không khí và lắp ráp máy hoàn chỉnh. Thiết kế khu vực dòng chảy một chiều có thể kiểm tra quá trình lọc, công suất, cấu trúc và điều khiển trong cùng một sơ đồ, thay vì lựa chọn và lắp ráp từng bộ phận riêng biệt.

1. Xác định khu vực từ phôi và hành động: phạm vi bảo vệ không phải là toàn bộ căn phòng

Xác định các bề mặt nhạy cảm, chuyển động của thiết bị, hoạt động của nhân viên và các nguồn ô nhiễm, đồng thời xác định các không gian và điều kiện vận hành cần được bảo vệ.

Phạm vi bảo vệ của khu vực dòng chảy một chiều phải được xác định theo quy trình. Những gì cần được bảo vệ là bề mặt lộ ra của phôi, các điểm xử lý chính và khu vực vận hành của nhân viên chứ không phải mọi ngóc ngách của toàn bộ căn phòng. Ranh giới của phạm vi bảo vệ, chiều cao của phôi, quỹ đạo chuyển động của thiết bị và vị trí của nhân viên vận hành. Thông tin này xác định nơi nào bề mặt cấp không khí cần được che phủ và nơi không khí quay trở lại được thải ra. Công nghiệp Aili làBộ lọc HEPA/ULPA vàTrong gói bộ lọc quạt FFU , hãy xác nhận phạm vi cung cấp không khí theo vị trí phôi và chế độ vận hành.Đối với các dự án bộ lọc ULPA không chuẩn , kích thước bề mặt cấp khí và hướng lắp đặt có thể được xác nhận theo cấu trúc thiết bị. Mối quan hệ giữa yêu cầu về cấp độ và luồng không khí có thể được tìm thấy trongSo sánh mức độ sạch ISO。

2. Phối hợp gió cấp và gió hồi: luồng gió cần phối hợp với gió hồi để di chuyển theo đường thẳng

Kiểm tra cách bố trí bề mặt bộ lọc, sự phân bố thể tích không khí, các khe hở của thiết bị và khí thải để tránh ảnh hưởng từ bên, dòng chảy ngược và nhân viên nằm ở thượng nguồn ô nhiễm.

Luồng khí một chiều chảy thẳng đứng xuống từ bề mặt cấp khí, đi qua phôi và được thải ra từ luồng khí hồi lưu phía dưới. Nếu cửa thoát khí hồi bị lệch, đáy thiết bị chặn khí hồi hoặc khí thải của quá trình thay đổi áp suất cục bộ, luồng khí sẽ lệch khỏi hướng thẳng đứng. Bề mặt cấp không khí và bề mặt không khí hồi phải được bố trí phù hợp và phải có đường dẫn khí hồi dưới khu vực được bao phủ bởi không khí cấp. Công nghiệp Aili làBộ lọc quạt FFU vàKhi đỡ bộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU, hãy kiểm tra hướng cấp khí theo cách bố trí thiết bị và điều kiện không khí hồi.Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại thể tích không khí phân vùng và trạng thái vận hành để tạo điều kiện so sánh các điều kiện phân phối khí cấp và khí hồi. Hãy tham khảo sự phối hợp giữa gió cấp và gió hồi.Các câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn về HEPA。

3. Thiết kế phải bao gồm vị trí che chắn thiết bị và nhân sự: chất bẩn không thể chảy từ thượng nguồn đến phôi.

Khi thiết bị được đặt ở phía trước phôi, các hạt do thiết bị tạo ra sẽ đi qua phôi theo luồng không khí; Khi nhân viên đứng ngược dòng phôi, bụi do nhân viên tạo ra cũng sẽ được đưa lên bề mặt phôi. Thiết kế dòng chảy một chiều nên xem xét vị trí của thiết bị và con người so với phôi và đặt nguồn ô nhiễm ở hạ lưu luồng không khí.

Công nghiệp Aili làbộ lọc quạt phía thiết bị EFU, hãy xác nhận hướng thoát khí theo phạm vi hoạt động của thiết bị và vị trí của phôi.Khi đỡ Các mô hình nhỏ gọn như EFU siêu mỏng có thể cấu hình nguồn cung cấp không khí cục bộ theo cấu trúc khoang, cho phép luồng không khí đi qua phôi và sau đó được thải ra ngoài. Mối quan hệ giữa cách bố trí thiết bị và hướng luồng không khí có thể được đề cập đếnCâu hỏi thường gặp về EFU và hỗ trợ kỹ thuật。

4. Sử dụng các phép đo thực tế để xác minh ranh giới: phân bố tốc độ gió, mô hình dòng chảy và các hạt phải được xác nhận

Kết hợp với phân bố tốc độ gió, trực quan hóa luồng không khí có thể áp dụng và xác nhận hạt, nên giữ lại cài đặt bố cục và vận hành cũng như đánh giá và kiểm tra lại những thay đổi.

Việc bố trí, tính toán ở giai đoạn thiết kế là cơ sở, hiệu quả thực tế phải được khẳng định qua thử nghiệm. Việc phân bố tốc độ gió trên bề mặt cấp không khí có đồng đều hay không, hướng luồng không khí có nhất quán hay không và liệu nồng độ hạt ở ranh giới bảo vệ có đạt tiêu chuẩn hay không cần được kiểm tra riêng. Các thử nghiệm phải bao gồm các điều kiện vận hành thực tế, bao gồm cả hoạt động của thiết bị và hoạt động của con người. Công nghiệp Aili làBộ lọc hiệu suất cực cao ULPA có thể được cung cấp cùng với các dự án xác minh rõ ràng.Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại các thông số vận hành và thể tích không khí của vùng để tạo điều kiện so sánh các giá trị thiết kế với các giá trị đo được thực tế. Để biết các phương pháp xác minh luồng một chiều, vui lòng tham khảoCâu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA。

5. Sau khi thêm thiết bị cao cấp vào cùng một bàn làm việc, hãy kiểm tra vật cản ở hạ lưu và dòng chảy sau

Sau khi thêm thiết bị có cấu hình cao vào cùng một bàn làm việc, cần kiểm tra tắc nghẽn và dòng rẽ ở hạ lưu của nó. Đừng chỉ xác nhận rằng ULPA vẫn đang hoạt động. Việc bổ sung thiết bị mới sẽ thay đổi đường dẫn luồng khí cục bộ và các khu vực hoặc xoáy có tốc độ thấp có thể hình thành ở phía hạ lưu của thiết bị cao.

Công nghiệp Aili làBộ lọc ULPA không chuẩn vàTrong gói bộ lọc quạt FFU , tác động của luồng khí có thể được đánh giá theo những thay đổi trong cách bố trí thiết bị và nếu cần, hiệu quả bảo vệ có thể được duy trì bằng cách điều chỉnh hướng cấp khí hoặc tăng cường cục bộ. Để biết phương pháp đánh giá sau khi thay đổi bố cục, vui lòng tham khảoCác câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn về HEPA。

6. Câu hỏi và đáp án liên quan

Việc lấp đầy trần ULPA có phải là một chiều không?
Đường dẫn và phân phối luồng không khí cũng cần được kiểm tra và xác minh theo yêu cầu của dự án và không thể chỉ xác định bằng số lượng thiết bị.

Diện tích luồng một chiều có cần bao phủ toàn bộ căn phòng không?
không chắc chắn. Phạm vi bảo vệ phải được xác định theo quy trình, ưu tiên cho các trạm làm việc chính và bề mặt tiếp xúc của phôi, đồng thời các khu vực không quan trọng có thể được cấu hình theo độ sạch nền.

Điều gì sẽ xảy ra nếu thiết bị ở ngược dòng phôi?
Cần cân nhắc việc di dời thiết bị hoặc thay đổi hướng của luồng khí sao cho nguồn gây ô nhiễm ở phía cuối luồng khí để ngăn các hạt đi qua phôi.

7. Các bài viết liên quan

Câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA

Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU

EFU siêu mỏng

Các câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn về HEPA

8. Những điểm chính trong việc lựa chọn và nghiệm thu

9. Hỗ trợ kỹ thuật và kết hợp sản phẩm từ Aili Industrial

Các dòng sản phẩm của Aili Industrial bao gồm động cơ, quạt, hệ thống điều khiển, tấm kim loại, bộ lọc không khí và lắp ráp máy hoàn chỉnh. Thiết kế khu vực dòng chảy một chiều có thể kiểm tra quá trình lọc, công suất, cấu trúc và điều khiển trong cùng một giải pháp.Bộ lọc HEPA/ULPA vàBộ lọc quạt FFU được trang bị để xác nhận phạm vi cung cấp không khí theo vị trí phôi và chế độ vận hành.Đối với các dự án lọc ULPA không đạt tiêu chuẩn , xác nhận kích thước bề mặt cấp khí và hướng lắp đặt theo kết cấu thiết bị;Bộ lọc quạt FFU vàbộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU .Kiểm tra hướng cấp khí theo cách bố trí thiết bị và điều kiện không khí hồi khi khớp với Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại thể tích không khí phân vùng và trạng thái vận hành để tạo điều kiện so sánh lượng khí cấp và khí hồi.Thiết bị EFU bộ lọc quạt phía thiết bị khớp phía thiết bị xác nhận hướng thoát khí theo phạm vi hoạt động của thiết bị và vị trí phôi.EFU siêu mỏng có thể được cấu hình với nguồn cung cấp không khí cục bộ theo cấu trúc khoang;Bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA có thể được cung cấp cùng với dự án xác minh rõ ràng và khi thay đổi bố cục, tác động của luồng khí có thể được đánh giá theo các điều kiện mới. Cung cấp các mục tiêu quy trình, bản vẽ lắp đặt, điều kiện vận hành và yêu cầu chấp nhận, đồng thời có thể truyền đạt thêm các thông số kỹ thuật tiêu chuẩn ULPA, giao diện phi tiêu chuẩn, mẫu và khớp lô. Các thông số cụ thể và phạm vi thử nghiệm dựa trên mô hình và tài liệu kỹ thuật đã được xác nhận.