ULPA システムでエアフロー パターンのテストが必要になるのはどのような場合ですか?レイアウト変更・作業状況確認

ULPA フィルターシステムが空気経路、レイアウト変更、または汚染物質の移行の影響を確認する必要がある場合、プロジェクト要件に従って空気流パターン テストを実行できます。テストは特定の問題に対処し、トレーサー手法による環境への影響を制御する必要があります。エアフローパターンテストは日常的なテスト項目ではないため、定期的に行う必要はありません。その価値は、気流が設計された経路に従うかどうか、レイアウト変更後に保護領域が影響を受けるかどうか、局所的な渦流がワークピースに汚染物質をもたらすかどうかなど、特定の質問に答えることにあります。フローパターンテストには明確な問題はなく、撮影された画像だけでは判断が難しい。アイリ産業はFFUファンフィルターユニットとEFU 機器のエンドファンフィルターユニットには、プロジェクトの要件に応じたフローパターンテストを装備できます。FFUコンピュータ群制御システムは、試験中の稼働状況を記録し、実際の稼働状況に対応したフローパターン画像を実現します。

1. 観察すべき現象を明確にする：逆流、短絡、障害物またはドア開放の影響

逆流、短絡、障害物、ドアの開閉、機器の動作など、観察位置、動作モード、記録方法を決定します。

フロー テストの最初のステップは、問題を定義することです。観察する必要があるのは、あるワークステーションの上空で空気の流れが鉛直下向きかどうか、装置の動作中に保護エリアに逆流がないか、ドアを開けたときに外気が侵入しないか、障害物の下流に後流が形成されていないかなどです。観察位置、動作モード、記録方法が異なると、問題が異なります。アイリ産業はHEPA/ULPAフィルターのマッチングプランでは、保護エリアと機器のレイアウトに応じて気流構成の設計意図が説明されています。非標準ULPAフィルタープロジェクトでは、機器の構造に応じて遵守する必要がある重要な位置を確認できます。グレードとエアフロー要件の関係は、次のとおりです。ISO清浄度レベルの比較。

2. 該当する方法を選択します。トレーサー媒体はプロセス材料と互換性がある必要があります。

トレーサー媒体と操作は、観察目的で除去するのが難しい汚染物質の導入を避けるために、プロセス材料と清浄度要件に適合する必要があります。承認された手順に従って実施する必要があります。

フロー パターンのテストでは、通常、ヒュームまたはその他のトレーサー媒体が使用されますが、それら自体が粒子または化学物質である可能性があります。高度な清浄度要件が要求される領域では、トレーサーメディアの選択と投与量を評価する必要があります。メディアが製品に影響を与えるかどうか、除去が容易かどうか、プロセス材料との適合性があるかどうかなどです。テスト計画はプロジェクトの承認後に実施する必要があります。アイリ産業はEFU装置の端部ファンフィルタユニット装置の端部流量パターン試験では、装置の内部スペースとプロセス要件に応じてトレーサ方式を選択することをお勧めします。極薄EFUなどの小型モデルの流れパターン観察では、キャビティ構造に応じて観察窓を決定できます。試験方法の選択については、を参照してください。HEPA FAQ と選択ガイド。

3. 他のデータと組み合わせて解釈します。画像は空気量、圧力、プロセス境界に対応する必要があります。

流れパターンの画像は、空気量、圧力、プロセス境界に対応している必要があります。 1 つの静止画像をすべての動作状態の結論と見なすことはできません。

フロー パターンの画像は瞬間的かつ局所的なものであり、空気量、圧力、プロセス ステータスと組み合わせて解釈する必要があります。同じ気流パターンでも、風量が多い場合と少ない場合では意味が異なります。同じ画像は、機器が静止しているときと動作しているときの異なる状態を表します。アイリ産業は風量パラメータと圧力パラメータは、 FFU ファン フィルタ ユニットの流れパターン テスト パッケージに同時に記録されます。FFU コンピュータ グループ制御システムは、テスト中に動作モードとパーティション データを記録し、それに応じてフロー パターンの画像と動作データがアーカイブされます。フローパターンと稼働データの関係については、こちらをご参照ください。ULPA超高性能フィルターFAQと選定ガイド。

4. 自動機構が動くとき、保護領域は逆流の疑いがあるため、完全な動作プロセスを記録する必要があります。

自動機構が作動している場合、保護領域内で逆流が発生する可能性があります。機器が静止しているときにフローパターンの写真を撮るだけではなく、完全な動作プロセスを記録する必要があります。機器の動きにより局所的な空気の流れが変化し、静的な状態での流れパターンは動作状態を表すことができません。

アイリ産業は非標準のULPAフィルターとEFU装置エンドファンフィルタユニット装置エンドフローパターンテストでは、機構の動作、ドアの開閉、キャリアの出入りの状態を対象とする装置の動作シーケンスに従って観測ノードが決定されます。FFU コンピュータグループ制御システムは、動作時点と動作パラメータを記録し、フローパターン記録は時系列の動作に対応できます。デバイスの動作とフローパターンの関係については、を参照してください。EFU FAQ とテクニカル サポート。

5. 関連する質問と回答

流れのパターンが滑らかに見えるということは、清潔さが許容できることを意味しますか?
プロジェクトで指定された粒子やその他の性能検証を完了する必要があり、観測がすべてのテストに代わることはできません。

フローパターンテストは定期的に行う必要がありますか?
通常、定期的に行う必要はなく、レイアウトの変更、プロセスの調整、または特定のエアフローの問題を特定する必要がある場合に行われます。

トレーサー媒体はきれいな場所を汚染しますか?
媒体とプロセスの適合性や除去方法を評価し、承認された手順に従って実施し、投与量や残留物を管理する必要があります。

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アイリ産業はFFUファンフィルターユニットとEFU 機器のエンドファンフィルターユニットには、プロジェクトの要件に応じたフローパターンテストを装備できます。FFUコンピュータグループ制御システムは、テスト中の動作状態、動作モード、パーティションデータを記録し、フローパターンのイメージを実際の動作条件に対応させることができます。HEPA/ULPA フィルターのマッチング計画では、保護エリアと機器のレイアウトに応じた気流構成の設計意図が説明されています。非標準 ULPA フィルタープロジェクトでは、機器の構造に従って遵守する必要がある重要な位置を確認します。EFU装置のエンドファンフィルターユニット装置のエンドフローパターンテストでは、装置の内部スペースとプロセス要件に応じてトレース方法を選択します。極薄EFUフローパターン観察では、キャビティ構造に応じて観察ウィンドウを決定します。FFUファンフィルターユニットのフローパターンテストには、風量と圧力パラメータの同期記録が装備されており、機器の動作タイミングとフローパターンの記録が時系列でアーカイブされます。プロセスの目標、設置図面、動作条件、および受け入れ要件を提供し、さらに ULPA 標準仕様、非標準インターフェース、サンプル、バッ​​チマッチングについても伝達できます。具体的なパラメータとテスト範囲は、確認されたモデルと技術文書に基づいています。