كيفية ترتيب ULPA في منطقة تحميل ونقل الرقاقة؟ نطاق الحماية والتثبيت المحلي

منطقة تحميل ونقل الويفريجب تصميم موضع مرشح ULPA حول مواقع تعرض الرقاقة وإجراءات الآلية وحدود الدخول والخروج. يجب التأكد من إمداد الهواء النظيف المحلي من خلال عادم المعدات والفتحات والتحكم في المواد. منطقة تحميل ونقل الرقاقة (EFEM) هي المنطقة التي تتعرض فيها الرقاقات بشكل متكرر في معدات أشباه الموصلات: يتم إخراج الرقاقة من الناقل، ونقلها بواسطة الروبوت، وتدخل غرفة المعالجة. اكتملت العملية برمتها في هذا المجال. إن هدف التحكم بالجسيمات في هذه المنطقة محدد للغاية، وهو حماية سطح الرقاقة من تلوث الجسيمات أثناء النقل. يجب أن يتم تصميم تخطيط ULPA حول مسار الرقاقة والحركة الميكانيكية، بدلاً من مجرد وضع طبقة من المرشحات أعلى الجهاز. يغطي خط إنتاج Aili Industrial جانب المعداتوحدة تصفية المروحة الطرفية لمعدات EFU وفلتر HEPA/ULPA，يمكن لنماذج EFU فائقة الرقة وصغيرة الحجم أن تتطابق مع هيكل إمداد الهواء المحلي وفقًا لظروف مساحة EFEM.مرشحات PTFE HEPA/ULPA للتأكد من ملاءمتها بناءً على متطلبات إطلاق الغازات المادية.يمكن تقييم

1. تحديد نطاق حماية الرقاقة: التحميل والإرساء والنقل والتخزين المؤقت

مسح حالة التحميل والإرساء والنقل والتخزين المؤقت، وتسجيل فتح الباب أو السيارة وحركة المناول، وليس فقط حماية النقطة المركزية عندما تكون ثابتة.

نطاق حماية الرقاقة ليس مجرد موضع ثابت، ولكنه منطقة ديناميكية تتغير مع الحركة. عند إخراج الرقاقة من الحامل، ونقلها على الروبوت، وقبل الدخول إلى غرفة المعالجة، تكون أوضاع التعريض مختلفة وتختلف متطلبات الحماية أيضًا. في اللحظة التي يفتح فيها باب الناقل، والمسار الذي يمتد إليه الروبوت، وموقع التخزين المؤقت للرقائق، كلها يجب أن تكون مدرجة في نطاق الحماية. صناعة ايلي هيفي حزمة وحدة مرشح المروحة الطرفية لمعدات EFU ، تأكد من تغطية إمداد الهواء وفقًا لمسار الرقاقة والإجراء الميكانيكي.يقوم EFU الرقيق للغاية بتكوين اتجاه مخرج الهواء وفقًا لهيكل التجويف في المساحة المحدودة لـ EFEM.تتوافق وحدة مرشح مروحة معدات EFU صغيرة الحجم مع منطقة تحميل أكثر إحكاما. يمكن العثور على العلاقة بين المستويات ومتطلبات التصفية فيمقارنة مستوى النظافة ISO。

2. تنسيق سطح الترشيح ومسار الهواء: المساحة العلوية أو الجانبية، والعوائق، وتدفق الهواء العائد

ضع في اعتبارك المساحة العلوية أو الجانبية، والعوائق، وتدفق الهواء العائد، وموضع المروحة لتجنب عبور الهواء الملوث لسطح الرقاقة، مع مراعاة إمكانية الوصول للتركيب واكتشاف التسرب.

المساحة الداخلية لـ EFEM مضغوطة، وموقع تركيب الفلتر محدود بالآلية والكابلات وأجهزة الاستشعار. يعتمد ما إذا كان سطح المرشح موضوعًا بالأعلى أو جانبيًا أو بشكل غير مباشر على مسار الرقاقة وعمل الآلية. يكون اتجاه تدفق الهواء بحيث يمر الهواء النظيف أولاً عبر سطح الرقاقة ثم يزيل الجزيئات، بدلاً من النفخ مباشرة من مصدر التلوث إلى الرقاقة. صناعة ايلي هيفي مشروع مرشح ULPA غير القياسي ، تأكد من موضع سطح المرشح واتجاه مخرج الهواء وفقًا للهيكل الداخلي لـ EFEM.يمكن تقييم المواد مثل مرشحات PTFE HEPA/ULPA وفقًا لمتطلبات إطلاق الغازات المنخفضة، ويتم تأكيد إمكانية الوصول إلى الاختبار الداخلي للمعدات في مرحلة الخطة الهيكلية. لتنسيق مسار الهواء وموضع سطح الفلتر، يرجى الرجوع إلىالأسئلة الشائعة حول HEPA ودليل الاختيار。

3. التحقق من الحركات الفعلية للمعدات: حركة الروبوت، فتح وإغلاق باب السيارة

التحقق من توزيع حجم الهواء وسلامته وأدائه فيما يتعلق بمنطقة العملية. يتم تحديد متطلبات المواد وAMC بشكل فردي بناءً على العملية ولا يتم استنتاجها مباشرة من مستوى ULPA.

يجب تأكيد تأثير الحماية لمنطقة الرقاقة في ظل حالة التشغيل الفعلية للمعدات. ما إذا كان مسار إمداد الهواء مسدودًا عندما يتحرك المناور إلى الموضع الأقصى، وما إذا كان اتجاه تدفق الهواء يتغير عند فتح باب الناقل، وما إذا كان تركيز الجسيمات المحلية يتقلب عندما تدخل الرقاقة وتخرج، فيجب اختبارها وفقًا لتسلسل العمل. صناعة ايلي هيوحدة مرشح المروحة الطرفية لمعدات EFU .يمكن تأكيد ظروف إمداد الهواء وفقًا لتسلسل عمل المعدات عند مطابقة يقوم نظام التحكم بمجموعة الكمبيوتر FFU بتسجيل حالة تشغيل المعدات ومعلمات حجم الهواء، والتي يمكن مقارنتها بحالة العمل الفعلية أثناء التحقق. للتعرف على طرق التحقق من الإجراء من جانب الجهاز، يرجى الرجوع إلىالأسئلة الشائعة حول EFU والدعم الفني。

4. عندما يتحرك المناور إلى الموضع الأقصى ويمنع مسار إمداد الهواء، يجب تضمين هذه الحالة في التحقق

عندما يتحرك المناور إلى الموضع الأقصى ويغلق مسار إمداد الهواء، يجب تضمين هذه الحالة في التحقق بدلاً من الاختبار فقط عندما يعود المناور إلى الصفر. قد يقوم المناور بسد سطح إمداد الهواء مؤقتًا أو تغيير اتجاه تدفق الهواء أثناء الحركة. لا يمكن للاختبار في حالة الإرجاع الصفري أن يمثل العملية بأكملها.

صناعة ايلي هيمرشحات ULPA غير القياسية وفي مشروع EFEM الخاص بوحدة مرشح المروحة في نهاية معدات EFU ، يتم تقييم تأثير الانسداد بناءً على حركة الروبوت وموضع سطح إمداد الهواء. إذا لزم الأمر، يتم تعديل موضع سطح المرشح أو زيادة إمداد الهواء المحلي بحيث يمكن لتدفق الهواء أن يغطي مسار الرقاقة طوال نطاق حركة الروبوت بالكامل.توفر وحدة مرشح مروحة معدات EFU صغيرة الحجم طريقة تركيب أكثر مرونة عندما تكون المساحة محدودة. ويمكن الإشارة إلى العلاقة بين العمل الميكانيكي ومسار إمداد الهواءالأسئلة الشائعة حول مرشح ULPA عالي الكفاءة ودليل الاختيار。

5. الأسئلة والأجوبة ذات الصلة

هل تحتاج المعدات إلى ULPA محلي إذا كانت موجودة في غرفة نظيفة؟
يجب دمج الأحكام مع تعرض الرقاقة وإنتاج غبار المعدات، ولا يمكن أن تمثل ظروف الغرفة الحماية الداخلية تلقائيًا.

المساحة الداخلية لـ EFEM صغيرة، هل يمكن تركيب ULPA فيها؟
يمكن تركيبه من خلال حجم صغير أو EFU فائق النحافة مع هيكل مدمج. يتم تأكيد التفاصيل وفقًا للأبعاد الداخلية لـ EFEM وشوط الآلية.

هل يلزم تأكيد متطلبات إطلاق الغازات المادية بشكل منفصل؟
يحتاج. لا يتضمن ترشيح جسيمات ULPA إطلاق الغازات من المواد، ويجب تقييم إطلاق المواد داخل EFEM بشكل فردي بناءً على متطلبات العملية.

6. المقالات ذات الصلة

الأسئلة الشائعة حول مرشح ULPA عالي الكفاءة ودليل الاختيار

EFU فائق النحافة

وحدة تصفية مروحة معدات EFU صغيرة الحجم

PTFE HEPA/ULPA مرشح عالي الكفاءة

7. النقاط الرئيسية لفحص الاختيار والقبول

8. مطابقة المنتج والدعم الفني من Aili Industrial

يغطي خط إنتاج Aili Industrial جانب المعداتوحدة تصفية المروحة الطرفية لمعدات EFU وفلتر HEPA/ULPA，يمكن لنماذج EFU فائقة الرقة وصغيرة الحجم أن تتطابق مع هيكل إمداد الهواء المحلي وفقًا لظروف مساحة EFEM.مرشحات PTFE HEPA/ULPA للتأكد من ملاءمتها بناءً على متطلبات إطلاق الغازات المادية.يمكن تقييم تم تجهيز وحدة مرشح المروحة الطرفية لمعدات EFU بمسار رقاقة وعمل ميكانيكي لتأكيد تغطية إمداد الهواء.يقوم EFU الرقيق للغاية بتكوين اتجاه مخرج الهواء وفقًا لهيكل التجويف في المساحة المحدودة لـ EFEM.تتوافق وحدة مرشح مروحة معدات EFU صغيرة الحجم مع منطقة تحميل أكثر إحكاما؛يؤكد مشروع مرشح ULPA غير القياسي موضع سطح المرشح واتجاه مخرج الهواء وفقًا للهيكل الداخلي لـ EFEM، ويتم تأكيد إمكانية الوصول إلى الفحص الداخلي للمعدات في مرحلة الخطة الهيكلية.يمكن لوحدة مرشح المروحة لنهاية المعدات EFU تأكيد ظروف إمداد الهواء وفقًا لتسلسل عمل المعدات.يقوم نظام التحكم بمجموعة الكمبيوتر FFU بتسجيل حالة تشغيل المعدات ومعلمات حجم الهواء، ومقارنتها بحالة العمل الفعلية أثناء التحقق؛ يقوم بتقييم تأثير الانسداد بناءً على حركة الروبوت وموضع سطح إمداد الهواء، ويضبط موضع سطح المرشح أو يزيد إمداد الهواء المحلي إذا لزم الأمر. توفير أهداف العملية ورسومات التثبيت وظروف التشغيل ومتطلبات القبول، ويمكنه أيضًا توصيل مواصفات ULPA القياسية والواجهات غير القياسية والعينات ومطابقة الدُفعات. تعتمد المعلمات المحددة ونطاق الاختبار على النموذج المؤكد والوثائق الفنية.