¿Cómo disponer ULPA en el área de carga y transferencia de obleas? Alcance de instalación y protección local

Zona de carga y transferencia de obleasLa ubicación del filtro ULPA debe diseñarse teniendo en cuenta los lugares de exposición de las obleas, las acciones del mecanismo y los límites de entrada y salida. El suministro local de aire limpio debe confirmarse con el escape del equipo, las aberturas y el control de materiales. El área de carga y transferencia de obleas (EFEM) es el área donde las obleas quedan expuestas con mayor frecuencia en los equipos semiconductores: la oblea se saca del soporte, el robot la transporta y entra en la cámara de proceso. Todo el proceso se completa en esta área. El objetivo del control de partículas en esta área es muy específico: proteger la superficie de la oblea de la contaminación por partículas durante el transporte. El diseño de ULPA debe diseñarse teniendo en cuenta la trayectoria de la oblea y el movimiento mecánico, en lugar de simplemente colocar una capa de filtros encima del dispositivo. La línea de productos de Aili Industrial cubre el lado de los equipos.Unidad de filtrado del ventilador del extremo del equipo EFU yFiltro HEPA/ULPA，Los modelos EFU ultradelgados y de tamaño pequeño pueden adaptarse a la estructura de suministro de aire local según las condiciones del espacio EFEM.los filtros PTFE HEPA/ULPA en función de los requisitos de desgasificación del material.Se puede evaluar la idoneidad de

1. Definir el alcance de la protección de las obleas: carga, atraque, transmisión y almacenamiento temporal

Borre el estado de carga, acoplamiento, transmisión y almacenamiento temporal, registre la apertura de la puerta o del vehículo y el movimiento del manipulador, no solo protegiendo el punto central cuando está parado.

El rango de protección de la oblea no es sólo una posición fija, sino un área dinámica que cambia con el movimiento. Cuando la oblea se saca del transportador, se transfiere al robot y antes de ingresar a la cámara de proceso, las posiciones de exposición son diferentes y los requisitos de protección también son diferentes. El momento en que se abre la puerta del transportador, el camino que recorre el robot y la ubicación de almacenamiento temporal de las obleas deben estar incluidos en el alcance de la protección. La industria Aili esEn el paquete de la unidad de filtro del ventilador del extremo del equipo EFU , confirme la cobertura del suministro de aire de acuerdo con la ruta de la oblea y la acción mecánica.La EFU ultradelgada configura la dirección de salida de aire de acuerdo con la estructura de la cavidad en el espacio limitado de EFEM.La unidad de filtrado del ventilador del equipo EFU de tamaño pequeño corresponde a un área de carga más compacta. La relación entre los niveles y los requisitos de filtrado se puede encontrar enComparación del nivel de limpieza ISO。

2. Coordinar la superficie de filtración y la ruta del aire: espacio superior o lateral, obstáculos y flujo de aire de retorno.

Considere el espacio superior o lateral, los obstáculos, el flujo de aire de retorno y la posición del ventilador para evitar que el aire contaminado cruce la superficie de la oblea y tenga en cuenta la accesibilidad para la instalación y la detección de fugas.

El espacio interno de EFEM es compacto y la ubicación de instalación del filtro está limitada por el mecanismo, cables y sensores. El hecho de que la superficie del filtro se coloque arriba, de lado u oblicuamente depende de la trayectoria de la oblea y de la acción del mecanismo. La dirección del flujo de aire es tal que el aire limpio pasa primero a través de la superficie de la oblea y luego elimina las partículas, en lugar de soplar directamente desde la fuente de contaminación a la oblea. La industria Aili esEn el proyecto de filtro ULPA no estándar , confirme la posición de la superficie del filtro y la dirección de salida del aire de acuerdo con la estructura interna de EFEM.Materiales como los filtros PTFE HEPA/ULPA se pueden evaluar de acuerdo con los requisitos de baja desgasificación, y la accesibilidad de las pruebas internas del equipo se confirma en la etapa del plan estructural. Para coordinar la ruta del aire y la posición de la superficie del filtro, consultePreguntas frecuentes sobre HEPA y guía de selección。

3. Verificar con los movimientos reales del equipo: movimiento del robot, apertura y cierre de puertas del vehículo.

Verificar la distribución, integridad y desempeño del volumen de aire relacionado con el área de proceso. Los requisitos de materiales y AMC se determinan individualmente según el proceso y no se infieren directamente del grado ULPA.

El efecto de protección del área de la oblea debe confirmarse en el estado operativo real del equipo. Si la ruta de suministro de aire está bloqueada cuando el manipulador se mueve a la posición extrema, si la dirección del flujo de aire cambia cuando se abre la puerta del transportador y si la concentración local de partículas fluctúa cuando la oblea entra y sale, estos deben probarse de acuerdo con la secuencia de acción. La industria Aili esla unidad de filtro del ventilador del extremo del equipo EFU .Las condiciones del suministro de aire se pueden confirmar de acuerdo con la secuencia de acción del equipo al hacer coincidir El sistema de control del grupo informático FFU registra el estado operativo del equipo y los parámetros del volumen de aire, que se pueden comparar con el estado de acción real durante la verificación. Para conocer los métodos de verificación de acciones del lado del dispositivo, consultePreguntas frecuentes y soporte técnico de EFU。

4. Cuando el manipulador se mueve a la posición extrema y bloquea la ruta de suministro de aire, este estado debe incluirse en la verificación.

Cuando el manipulador se mueve a la posición extrema y bloquea la ruta de suministro de aire, este estado debe incluirse en la verificación en lugar de realizar la prueba únicamente cuando el manipulador vuelve a cero. El manipulador puede bloquear temporalmente la superficie de suministro de aire o cambiar la dirección del flujo de aire durante el movimiento. La prueba en el estado de retorno cero no puede representar todo el proceso.

La industria Aili esFiltros ULPA no estándar yEn el proyecto EFEM de la unidad de filtrado del ventilador en el extremo del equipo EFU , el impacto de la oclusión se evalúa en función de la carrera del robot y la posición de la superficie de suministro de aire. Si es necesario, se ajusta la posición de la superficie del filtro o se aumenta el suministro de aire local para que el flujo de aire pueda cubrir la trayectoria de la oblea en todo el rango de movimiento del robot.La unidad de filtrado del ventilador del equipo EFU de tamaño pequeño proporciona un método de instalación más flexible cuando el espacio es limitado. La relación entre la acción mecánica y la ruta de suministro de aire se puede referir aPreguntas frecuentes y guía de selección del filtro de ultra alta eficiencia ULPA。

5. Preguntas y respuestas relacionadas

¿El equipo necesita una ULPA local si está ubicado en una sala limpia?
Los criterios deben combinarse con la exposición a las obleas y la producción de polvo en los equipos, y las condiciones de la habitación no pueden representar automáticamente una protección interna.

El espacio interno de EFEM es reducido, ¿se puede instalar ULPA en él?
Se puede instalar mediante EFU de tamaño pequeño o ultradelgado con estructura compacta. Los detalles se confirman según las dimensiones internas del EFEM y la carrera del mecanismo.

¿Es necesario confirmar por separado los requisitos de desgasificación de materiales?
necesidad. La filtración de partículas ULPA no implica desgasificación de material, y la desgasificación de material dentro de EFEM debe evaluarse individualmente según los requisitos del proceso.

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7. Puntos clave para la inspección de selección y aceptación.

8. Emparejamiento de productos y soporte técnico de Aili Industrial

La línea de productos de Aili Industrial cubre el lado de los equipos.Unidad de filtrado del ventilador del extremo del equipo EFU yFiltro HEPA/ULPA，Los modelos EFU ultradelgados y de tamaño pequeño pueden adaptarse a la estructura de suministro de aire local según las condiciones del espacio EFEM.los filtros PTFE HEPA/ULPA en función de los requisitos de desgasificación del material.Se puede evaluar la idoneidad de La unidad de filtrado del ventilador del extremo del equipo EFU está equipada con una ruta de oblea y acción mecánica para confirmar la cobertura del suministro de aire.La EFU ultradelgada configura la dirección de salida de aire de acuerdo con la estructura de la cavidad en el espacio limitado de EFEM.La unidad de filtrado del ventilador del equipo EFU de tamaño pequeño corresponde a un área de carga más compacta;El proyecto de filtro no estándar ULPA confirma la posición de la superficie del filtro y la dirección de salida del aire de acuerdo con la estructura interna de EFEM, y la accesibilidad de la inspección interna del equipo se confirma en la etapa del plano estructural.La unidad de filtrado del ventilador del extremo del equipo EFU puede confirmar las condiciones del suministro de aire de acuerdo con la secuencia de acción del equipo.El sistema de control del grupo informático FFU registra el estado operativo del equipo y los parámetros del volumen de aire y los compara con el estado de acción real durante la verificación; evalúa el impacto de la oclusión en función de la carrera del robot y la posición de la superficie de suministro de aire, y ajusta la posición de la superficie del filtro o aumenta el suministro de aire local si es necesario. Proporciona objetivos de proceso, planos de instalación, condiciones operativas y requisitos de aceptación, y puede comunicar aún más las especificaciones estándar ULPA, interfaces no estándar, muestras y coincidencia de lotes. Los parámetros específicos y el rango de prueba se basan en el modelo confirmado y los documentos técnicos.