Как выбрать U15 или U16 для EFEM? Проверка объема и однородности воздуха в полупроводниковой зоне

Выбор EFEM U15 или U16 должен быть подтвержден на основе целей процесса, стандартов испытаний, распределения объема воздуха, сопротивления и требований к материалам. Более высокий класс не означает, что производительность всей пластины обязательно улучшится. Разница между U15 и U16 заключается в уровне эффективности, но производительность EFEM в зоне пластины зависит не только от уровня фильтра – равномерности подачи воздуха, достаточности объема воздуха, стабильности потока воздуха при работе механизма и газовыделения материала. Эти факторы совместно определяют, будет ли пластина защищена в процессе транспортировки. Если уровень выбран на один уровень выше, сопротивление увеличится, а объем воздуха может уменьшиться. Если в системе нет соответствующего запаса, это может повлиять на производительность пластины. Айли ИндустрияБлок фильтра вентилятора на стороне оборудования EFU может соответствовать классу и конфигурации вентилятора в соответствии с требованиями к объему воздуха и условиями размещения EFEM.Фильтр сверхвысокой эффективности ULPA обеспечивает передачи U15/U16.Ультратонкие модели EFU и модели небольшого размера могут быть сконфигурированы в соответствии со структурой EFEM.

1. Сначала уточните требования к оборудованию: цели межфланцевой зоны, рабочее состояние и условия возвратного воздуха.

Перечислите цели для частиц, состояние держателя и двери, механические действия, возвратный и вытяжной воздух в зоне пластины и подтвердите тестовое положение и режим работы.

Прежде чем выбрать U15 или U16, необходимо сначала уточнить, чего необходимо достичь EFEM. Какой размер частиц и уровень концентрации являются целевыми для контроля частиц в зоне пластины, при каких условиях проводится испытание (статические или динамические), насколько механическое воздействие и открытие дверцы носителя влияют на поток воздуха, а также каковы условия возврата и выпуска — эти входные данные определяют требования к уровню и объему воздуха. Айли Индустрияфильтров HEPA/ULPA подтвердите передачу в соответствии с размером частиц и степенью защиты.При выборе При выборе блока фильтра торцевого вентилятора оборудования EFU подтвердите требуемый объем воздуха в соответствии со статусом действия EFEM.Нестандартные проекты фильтров ULPA могут подтвердить условия установки в соответствии со структурой пластины. Взаимосвязь между уровнями и требованиями фильтрации можно найти вСравнение уровня чистоты ISO。

2. Сравните полную конфигурацию: проверьте фильтрующий элемент, вентилятор и уплотнительную поверхность при одном и том же объеме воздуха.

Проверьте данные фильтрующего элемента, запас вентилятора, эффективную площадь и поверхность уплотнения при одинаковых условиях объема воздуха и при необходимости отрегулируйте размер или структуру вместо прямого изменения класса.

Замена U15 на U16 повышает эффективность, но обычно также увеличивает сопротивление. Если запас мощности вентилятора недостаточен и объем воздуха уменьшается, охват воздушного потока в области пластины может ухудшиться. При сравнении следует проверить при одном и том же целевом объеме воздуха: каково сопротивление U16 при этом объеме воздуха, можно ли сохранить существующий вентилятор, достаточна ли эффективная площадь фильтрации и совместимо ли уплотнительное соединение. Айли ИндустрияПри выборе фильтра сверхвысокой эффективности ULPA данные сопротивления U15 и U16 предоставляются в соответствии с заданным объемом воздуха.Блок вентиляторного фильтра ФФУ иБлок вентиляторного фильтра на стороне оборудования EFU может проверять рабочую точку в зависимости от изменения сопротивления.Компьютерная система управления группой ФФУ фиксирует объем воздуха и рабочие параметры, при сравнении калибр согласуется. Взаимосвязь между сопротивлением фильтра и согласованием вентилятора можно описать следующим образом:HEPA: часто задаваемые вопросы и руководство по выбору。

3. Проверьте область пластины: объем воздуха, однородность и защиту в реальных условиях.

Подтвердите целостность установки, однородность воздуховыпускного отверстия и границы защиты в реальных условиях эксплуатации, а также при необходимости добавьте данные AMC и данные о выбросах материалов.

После определения уровня проверка должна охватывать три аспекта: целостность установки (эффективно ли уплотнение между фильтром и коробкой), равномерность воздуховыпускного отверстия (последовательно ли распределение скорости ветра вдоль пути пластины) и защита при реальном воздействии (концентрация частиц на пластине при движении робота и открытии и закрытии дверцы носителя). Требования AMC и дегазации материалов оцениваются индивидуально для каждого процесса и не могут быть выведены из рейтинга ULPA. Айли ИндустрияПри поддержке блока вентиляторного фильтра со стороны оборудования EFU направление выпуска воздуха и условия однородности могут быть подтверждены в соответствии со структурой EFEM.Система управления компьютерной группой ФФУ фиксирует рабочий объем воздуха и состояние оборудования, которые можно сравнить с фактическими действиями при проверке;Фильтры HEPA/ULPA из ПТФЭ могут быть оценены на предмет низких требований к дегазации. Методы проверки площади пластины см.Часто задаваемые вопросы и руководство по выбору сверхвысокоэффективного фильтра ULPA。

4. Если объем воздуха в образце U16 после установки недостаточен, всю машину следует перенастроить.

Если после установки объем воздуха в образце U16 недостаточен, всю машину следует перенастроить, и результат, подтверждающий эффективность фильтрующего элемента, не должен сохраняться. Недостаточный объем воздуха означает, что охват воздушного потока и возможности удаления частиц уменьшаются, а фактическая защита области пластины может не соответствовать ожиданиям.

Айли ИндустрияВ проекте концевого вентиляторного фильтрующего блока оборудования EFU EFEM, когда после модернизации объем воздуха недостаточен, план регулировки оценивается по трем аспектам: площадь фильтра, конфигурация вентилятора и конструкция воздуховыпускного отверстия.Небольшой блок вентиляторного фильтра оборудования EFU обеспечивает различные варианты конфигурации в условиях ограниченного пространства.Структура нестандартных фильтров ULPA может быть скорректирована в соответствии с пространством EFEM. Пожалуйста, обратитесь к методу регулировки объема воздуха после обновления.Часто задаваемые вопросы по EFU и техническая поддержка。

5. Похожие вопросы и ответы

Неужели U15 не так подходит для EFEM, как U16?
Применимость зависит от соответствия процесса и системы и не может быть отсортирована просто по номерам классов.

Что делать, если объем воздуха падает после того, как EFEM выбирает U16?
Запас вентилятора и площадь фильтра следует проверять и регулировать с учетом площади фильтра, конфигурации вентилятора или конструкции воздуховыпускного отверстия, а не просто сохранять индекс эффективности.

Могут ли требования EFEM AMC быть удовлетворены с помощью класса ULPA?
не могу. ULPA отвечает за фильтрацию частиц, требования к AMC и дегазации материала должны оцениваться индивидуально для каждого процесса.

6. Статьи по теме

Часто задаваемые вопросы и руководство по выбору сверхвысокоэффективного фильтра ULPA

Ультратонкий ЭФУ

Малогабаритный блок вентиляторного фильтра оборудования EFU

Высокоэффективный фильтр PTFE HEPA/ULPA

7. Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

8. Подбор продуктов и техническая поддержка от Aili Industrial.

Айли ИндустрияБлок фильтра вентилятора на стороне оборудования EFU соответствует классу и конфигурации вентилятора в соответствии с требованиями к объему воздуха и условиям помещения EFEM.Фильтр сверхвысокой эффективности ULPA обеспечивает передачу U15/U16 и предоставляет данные о сопротивлении в зависимости от целевого объема воздуха.Ультратонкие модели EFU и модели небольшого размера сконфигурированы в соответствии со структурой EFEM.Выбор фильтра HEPA/ULPA основан на определенном размере частиц и диапазоне защиты.Блок фильтра вентилятора на стороне оборудования EFU оборудован для подтверждения потребности в объеме воздуха в соответствии со статусом действия EFEM.Нестандартный проект фильтра ULPA подтверждает условия установки в соответствии со структурой пластины;Блок вентиляторного фильтра ФФУ иБлок фильтра концевого вентилятора оборудования EFU оснащен рабочей точкой для проверки изменения сопротивления.Компьютерная система управления группой ФФУ фиксирует объем воздуха и рабочие параметры.Блок вентиляторного фильтра на стороне оборудования EFU согласуется с конструкцией EFEM для подтверждения направления выпуска воздуха и условий однородности.Система управления компьютерной группой ФФУ фиксирует рабочий объем воздуха и состояние оборудования и сравнивает их с фактическими действиями при проверке;Фильтры HEPA/ULPA из ПТФЭ рассчитаны на низкие требования к дегазации. Если после модернизации объем воздуха недостаточен, площадь фильтра, конфигурация вентилятора и конструкция воздуховыпускного отверстия будут оценены и отрегулированы.Малогабаритные фильтрующие вентиляторы оборудования EFU доступны в различных вариантах конфигурации. Предоставляйте цели процесса, установочные чертежи, условия эксплуатации и требования приемки, а также можете дополнительно сообщать стандартные спецификации ULPA, нестандартные интерфейсы, образцы и соответствие партий. Конкретные параметры и диапазон испытаний основаны на подтвержденной модели и технической документации.