Chọn U15 hay U16 cho EFEM như thế nào? Xác minh khối lượng không khí và tính đồng nhất của khu vực wafer

Việc lựa chọn U15 hoặc U16 của EFEM cần được xác nhận dựa trên mục tiêu quy trình, tiêu chuẩn kiểm tra, phân bổ thể tích không khí, sức cản và yêu cầu vật liệu. Cấp độ cao hơn không có nghĩa là hiệu suất của toàn bộ khu vực tấm bán dẫn nhất thiết sẽ được cải thiện. Sự khác biệt giữa U15 và U16 nằm ở mức hiệu suất, nhưng hiệu suất của EFEM trong khu vực tấm bán dẫn không chỉ phụ thuộc vào cấp độ bộ lọc - tính đồng nhất của nguồn cung cấp không khí, lượng không khí có đủ hay không, độ ổn định của luồng không khí khi cơ chế hoạt động và sự thoát khí của vật liệu. Những yếu tố này cùng xác định xem tấm bán dẫn có được bảo vệ trong quá trình vận chuyển hay không. Nếu mức được chọn cao hơn một mức, lực cản sẽ tăng và thể tích không khí có thể giảm. Nếu hệ thống không có lề tương ứng, nó có thể ảnh hưởng đến hiệu suất của vùng wafer. Công nghiệp Aili làBộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU có thể phù hợp với cấp độ và cấu hình quạt theo yêu cầu về thể tích không khí và điều kiện không gian của EFEM.Bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA cung cấp bánh răng U15/U16.Các mô hình EFU siêu mỏng và kích thước nhỏ có thể được cấu hình theo cấu trúc EFEM.

1. Trước tiên hãy làm rõ các yêu cầu về thiết bị: mục tiêu diện tích tấm bán dẫn, trạng thái vận hành và điều kiện không khí hồi lưu

Liệt kê các mục tiêu hạt, chất mang và trạng thái cửa, tác động cơ học, không khí hồi và khí thải trong khu vực tấm bán dẫn, đồng thời xác nhận vị trí thử nghiệm và chế độ vận hành.

Trước khi chọn U15 hay U16, trước tiên bạn phải làm rõ EFEM cần đạt được những gì. Kích thước hạt và mức độ tập trung nào được nhắm mục tiêu để kiểm soát hạt trong khu vực tấm bán dẫn, thử nghiệm được tiến hành trong những điều kiện nào (tĩnh hoặc động), mức độ tác động cơ học và việc mở cửa vận chuyển ảnh hưởng đến luồng không khí cũng như điều kiện quay trở lại và thoát ra là gì—những đầu vào này xác định các yêu cầu về mức độ và yêu cầu về thể tích không khí. Công nghiệp Aili làbộ lọc HEPA/ULPA, hãy xác nhận thiết bị theo kích thước hạt và phạm vi bảo vệ.Khi chọn Khi khớp bộ lọc quạt cuối thiết bị EFU, hãy xác nhận yêu cầu về thể tích không khí theo trạng thái hoạt động của EFEM.Các dự án bộ lọc ULPA không chuẩn có thể xác nhận các điều kiện lắp đặt theo cấu trúc vùng wafer. Mối quan hệ giữa các cấp độ và yêu cầu lọc có thể được tìm thấy trongSo sánh mức độ sạch ISO。

2. So sánh cấu hình hoàn chỉnh: Kiểm tra phần tử lọc, quạt và giao diện bịt kín trong cùng một thể tích không khí

Kiểm tra dữ liệu phần tử bộ lọc, biên độ quạt, diện tích hiệu dụng và giao diện bịt kín trong cùng điều kiện thể tích không khí và điều chỉnh kích thước hoặc cấu trúc nếu cần thay vì thay đổi trực tiếp cấp độ.

Thay thế U15 bằng U16 cải thiện hiệu quả nhưng thường cũng làm tăng sức đề kháng. Nếu biên độ quạt không đủ và thể tích không khí giảm, phạm vi bao phủ của luồng không khí trong khu vực tấm bán dẫn có thể trở nên kém. Khi so sánh, bạn nên kiểm tra cùng một thể tích không khí mục tiêu: điện trở của U16 ở thể tích không khí này là bao nhiêu, liệu quạt hiện có có thể được duy trì hay không, diện tích lọc hiệu quả có đủ hay không và liệu giao diện bịt kín có tương thích hay không. Công nghiệp Aili làKhi lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA, dữ liệu điện trở của U15 và U16 được cung cấp theo thể tích không khí mục tiêu.Bộ lọc quạt FFU vàBộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU có thể kiểm tra điểm làm việc theo sự thay đổi điện trở.Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại thể tích không khí và các thông số vận hành, đồng thời cỡ nòng nhất quán khi so sánh. Mối quan hệ giữa điện trở của bộ lọc và sự phù hợp của quạt có thể được tham khảoCác câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn về HEPA。

3. Xác minh diện tích tấm bán dẫn: thể tích không khí, tính đồng nhất và khả năng bảo vệ trong hoạt động thực tế

Xác nhận tính toàn vẹn của quá trình lắp đặt, tính đồng nhất của cửa thoát khí và ranh giới bảo vệ trong quá trình vận hành thực tế, đồng thời bổ sung AMC và dữ liệu giải phóng vật liệu nếu cần.

Sau khi xác định mức độ, việc xác minh phải bao gồm ba khía cạnh: tính toàn vẹn của lắp đặt (liệu lớp đệm giữa bộ lọc và hộp có hiệu quả hay không), tính đồng nhất của cửa thoát khí (liệu phân bố tốc độ gió dọc theo đường dẫn của tấm bán dẫn có nhất quán hay không) và bảo vệ dưới tác động thực tế (nồng độ hạt tại tấm bán dẫn khi robot di chuyển và cửa vận chuyển mở và đóng). Các yêu cầu về AMC và lượng khí thoát ra của vật liệu được đánh giá riêng lẻ theo quy trình và không thể suy ra từ xếp hạng ULPA. Công nghiệp Aili làKhi đỡ bộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU , hướng thoát khí và điều kiện đồng nhất có thể được xác nhận theo cấu trúc EFEM.Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại lượng không khí vận hành và trạng thái thiết bị, có thể so sánh với các hành động thực tế trong quá trình xác minh;Bộ lọc PTFE HEPA/ULPA có thể được đánh giá để đáp ứng yêu cầu thoát khí thấp. Để biết các phương pháp xác minh diện tích wafer, vui lòng tham khảoCâu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA。

4. Khi thể tích không khí của mẫu U16 không đủ sau khi lắp đặt, cần phải khớp lại toàn bộ máy.

Khi thể tích không khí của mẫu U16 không đủ sau khi lắp đặt, toàn bộ máy phải được kết hợp lại và không được giữ lại kết quả là hiệu suất của phần tử lọc đủ tiêu chuẩn. Lượng không khí không đủ có nghĩa là khả năng bao phủ luồng không khí và loại bỏ hạt bị giảm và khả năng bảo vệ thực tế của khu vực tấm bán dẫn có thể không đáp ứng được mong đợi.

Công nghiệp Aili làTrong dự án EFEM bộ lọc quạt cuối thiết bị EFU , khi lượng không khí không đủ sau khi nâng cấp, kế hoạch điều chỉnh được đánh giá từ ba khía cạnh: diện tích bộ lọc, cấu hình quạt và cấu trúc cửa thoát khí.Bộ lọc quạt thiết bị EFU kích thước nhỏ cung cấp các tùy chọn cấu hình khác nhau khi không gian bị hạn chế.Cấu trúc của bộ lọc ULPA không chuẩn có thể được điều chỉnh theo không gian EFEM. Vui lòng tham khảo phương pháp điều chỉnh âm lượng không khí sau khi nâng cấp.Câu hỏi thường gặp về EFU và hỗ trợ kỹ thuật。

5. Hỏi đáp liên quan

U15 có nhất thiết không phù hợp với EFEM như U16 không?
Khả năng áp dụng phụ thuộc vào sự phù hợp giữa quy trình và hệ thống và không thể chỉ sắp xếp theo số lớp.

Tôi nên làm gì nếu lượng không khí giảm sau khi EFEM chọn U16?
Cần kiểm tra biên độ quạt và diện tích bộ lọc và phải thực hiện các điều chỉnh từ diện tích bộ lọc, cấu hình quạt hoặc cấu trúc cửa thoát khí thay vì chỉ giữ lại chỉ số hiệu suất.

Các yêu cầu AMC của EFEM có thể được giải quyết bằng cấp độ ULPA không?
không thể. ULPA chịu trách nhiệm lọc hạt, AMC và các yêu cầu về thoát khí của vật liệu cần được đánh giá riêng lẻ theo quy trình.

6. Các bài viết liên quan

Câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA

EFU siêu mỏng

Bộ lọc quạt thiết bị EFU kích thước nhỏ

Bộ lọc hiệu suất cao PTFE HEPA/ULPA

7. Những điểm chính trong việc lựa chọn và nghiệm thu

8. Hỗ trợ kỹ thuật và kết hợp sản phẩm từ Aili Industrial

Công nghiệp Aili làBộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU phù hợp với loại và cấu hình quạt theo yêu cầu về lượng không khí và điều kiện không gian của EFEM.Bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA cung cấp bánh răng U15/U16 và cung cấp dữ liệu lực cản theo thể tích không khí mục tiêu.Các model EFU siêu mỏng và kích thước nhỏ được cấu hình theo cấu trúc EFEM.Lựa chọn bộ lọc HEPA/ULPA dựa trên kích thước hạt và phạm vi bảo vệ đã xác định.Bộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU được trang bị để xác nhận nhu cầu thể tích không khí theo trạng thái hoạt động của EFEM.Dự án bộ lọc ULPA không chuẩn xác nhận các điều kiện lắp đặt theo cấu trúc khu vực tấm bán dẫn;Bộ lọc quạt FFU vàBộ lọc quạt cuối thiết bị EFU được trang bị một điểm làm việc để kiểm tra theo sự thay đổi điện trở.Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại lượng không khí và các thông số vận hành.Bộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU được khớp với cấu trúc EFEM để xác nhận hướng thoát khí và điều kiện đồng nhất.Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại lượng không khí vận hành và trạng thái thiết bị, đồng thời so sánh chúng với các hành động thực tế trong quá trình xác minh;Bộ lọc PTFE HEPA/ULPA được đánh giá có yêu cầu thoát khí thấp. Khi lượng không khí không đủ sau khi nâng cấp, việc điều chỉnh sẽ được thực hiện từ ba khía cạnh: diện tích bộ lọc, cấu hình quạt và cấu trúc cửa thoát khí.Bộ lọc quạt thiết bị EFU kích thước nhỏ có sẵn trong các tùy chọn cấu hình khác nhau. Cung cấp các mục tiêu quy trình, bản vẽ lắp đặt, điều kiện vận hành và yêu cầu chấp nhận, đồng thời có thể truyền đạt thêm các thông số kỹ thuật tiêu chuẩn ULPA, giao diện phi tiêu chuẩn, mẫu và khớp lô. Các thông số cụ thể và phạm vi thử nghiệm dựa trên mô hình và tài liệu kỹ thuật đã được xác nhận.