كيفية تكوين ULPA في منطقة الطباعة الضوئية؟ الكفاءة وملاءمة AMC وإعلانات المواد

منطقة الطباعة الضوئيةيجب أن تشتمل تكوينات مرشح ULPA على مدخلات العملية مثل التحكم في الجسيمات، وAMC، وإطلاق المواد، وتثبيت تدفق الهواء. تقوم ULPA بحل رابط تصفية الجسيمات فقط ولا يمكنها إثبات بشكل مستقل أن بيئة الطباعة الحجرية الضوئية تلبي المتطلبات. إن التحكم في التلوث في مناطق الطباعة الحجرية الضوئية ذو شقين: يمكن للجسيمات أن تحجب أو تبعثر ضوء التعرض، ويمكن للتلوث الجزيئي أن يغير خصائص مقاومة الضوء أو ظروف سطح المكون البصري. ULPA مسؤول عن خط الجسيمات، AMC وإطلاق الغازات المادية مسؤولان عن الخط الجزيئي، ولا يمكن للاثنين أن يحلا محل بعضهما البعض. عند اختيار درجة ULPA، إذا كنت تفكر فقط في كفاءة الجسيمات دون تقييم إطلاق الغازات المادية وتنسيق AMC، فإن الأداء الفعلي لمنطقة الطباعة الحجرية الضوئية قد لا يلبي التوقعات. يغطي خط إنتاج Aili Industrial جانب المعداتوحدة تصفية المروحة الطرفية لمعدات EFU وفلتر HEPA/ULPA，يمكن تقييم مرشحات PTFE HEPA/ULPA لمتطلبات إطلاق الغازات المنخفضة،يمكن تكوين المرشحات الكيميائية للملوثات الغازية المستهدفة، ويمكن معالجة متطلبات الخط المزدوج للجزيئات والجزيئات في منطقة الطباعة الحجرية الضوئية في نفس النظام.

1. توضيح حدود التلوث والعملية: يتم تأكيد الجسيمات وAMC بشكل منفصل

الأمر متروك للمعدات وأطراف العملية لتحديد الجسيمات والملوثات الغازية المثيرة للقلق، والتمييز بين الغرف والديكورات الداخلية للمعدات ومناطق التعرض المحلية، وتجنب المتطلبات العامة 'المناسبة للطباعة الحجرية الضوئية'.

يجب أن تكون أهداف مكافحة التلوث في مجال الطباعة الحجرية الضوئية محددة: تحديد حجم الجسيمات وتركيزها، ونوع AMC (حمضي، قلوي، مكثف عضوي، إشابة) والتركيز المستهدف، وما إذا كان نطاق التحكم على مستوى الغرفة أو داخل المعدات. وبدون توضيح هذه المدخلات، لا يوجد خط أساس لتصنيفات ULPA وتكوينات AMC. صناعة ايلي هيمرشحات HEPA/ULPA، تأكد من الترس وفقًا لحجم الجسيمات المحدد.عند اختيار يمكن لمشاريع مرشح ULPA غير القياسية تأكيد ظروف التثبيت وفقًا لهيكل المعدات، ويمكن تجاوز متطلبات AMCالمرشحات الكيميائية بشكل فردي. يتم تكوين يمكن العثور على العلاقة بين المستويات وحدود الجسيمات فيمقارنة مستوى النظافة ISO。

2. تنسيق المواد وحلول AMC: ULPA نفسها لا تحل مشكلة تلوث الغاز

تحقق من المعلومات المتعلقة بالوسائط الكيميائية والغرويات والأختام ومواد الإطار وفقًا للملوثات المستهدفة، واطلب توضيحًا لنطاق الاختبار وشروطه لتجنب الوعود التي لا أساس لها من الصحة بالإطلاق المنخفض.

تشمل مصادر إطلاق الغاز من ULPA لمعدات أشباه الموصلات مواد الترشيح والمواد المانعة للتسرب والمواد اللاصقة المذوبة بالحرارة. قد تكون كمية إطلاق الأيونات في المواد المانعة للتسرب أعلى من تلك الموجودة في مواد الترشيح، ويجب تقييم الإطلاق العضوي للمواد اللاصقة المذوبة بالحرارة بشكل منفصل. تحتوي مادة مرشح PTFE على إطلاق عضوي منخفض جدًا في ظل الظروف القاسية، لكن المواد المانعة للتسرب والمواد اللاصقة المذوبة بالحرارة قد لا تزال تطلق ملوثات عضوية. وهذا يعني أنه عند اختيار ULPA، يجب ألا تنظر فقط إلى مادة المرشح. ويجب أيضًا تأكيد بيانات إطلاق الغازات الخاصة بمادة الختم والمواد اللاصقة. صناعة ايلي هيفي حزمة مرشح PTFE HEPA/ULPA ، يمكن تقييم مدى ملاءمة مادة المرشح وفقًا لمتطلبات إطلاق الغازات المنخفضة.يتم تأكيد لمرشح ULPA لختم الخزان السائل وفقًا للظروف البيئية. يتم توفير معالجة الغاز AMC بواسطةسائل الختم ومواد الخزان المرشحات الكيميائية ومراسلات المرشح الكيميائي FFU . لتنسيق المواد وAMC، يرجى الرجوع إلىالأسئلة الشائعة حول HEPA ودليل الاختيار。-2-5

3. تحقق من تدفق الهواء والواجهات المثبتة: حجم الهواء، والتوحيد، ومساحة الصيانة والتكامل

يجب التأكيد بشكل مشترك على حجم الهواء والتوحيد ومساحة الصيانة والتكامل، وتقييم العناصر المتأثرة بعد تغيير المواد أو التخطيط.

عادةً ما يتم استخدام معدات الطباعة الحجرية الداخلية ULPA جنبًا إلى جنب مع EFU. يحدد توزيع حجم الهواء وسلامة الختم بعد التثبيت تأثير التحكم في الجسيمات بشكل مباشر. تتمتع منطقة الطباعة الحجرية الضوئية بمتطلبات عالية لاستقرار تدفق الهواء. قد تؤدي سرعات الرياح غير المتساوية أو الدوامات المحلية على سطح مصدر الهواء إلى ترسيب الجزيئات على سطح الرقاقة. صناعة ايلي هيعند مطابقة وحدة مرشح المروحة الطرفية لمعدات EFU، تأكد من اتجاه مخرج الهواء وظروف التوحيد وفقًا لهيكل المعدات.تم تجهيز EFU فائق النحافة بإمدادات الهواء المحلية في المساحة المدمجة لمعدات الطباعة الحجرية.يقوم نظام التحكم بمجموعة الكمبيوتر FFU بتسجيل حجم هواء التشغيل وحالته، والتي يمكن مقارنتها وفقًا لظروف العمل الفعلية أثناء التحقق. لمعرفة طرق التحقق من التثبيت، يرجى الرجوع إلىالأسئلة الشائعة حول مرشح ULPA عالي الكفاءة ودليل الاختيار。

4. عندما يكون اختبار الجسيمات مؤهلاً ولكن لا تزال هناك مخاوف بشأن التلوث الجزيئي، ينبغي استكمال مراقبة واختبار AMC

عندما يكون اختبار الجسيمات مؤهلاً ولكن لا تزال هناك مخاوف بشأن التلوث الجزيئي في العملية، يجب تنفيذ التحكم الإضافي والكشف عن الملوثات بدلاً من مجرد زيادة مستوى ULPA. مؤشر كفاءة ULPA مخصص للجسيمات، وزيادة الدرجة لن تعزز قدرة إزالة الجزيئات الغازية.

يمكن لشركة Aili Industrial تقييم احتياجات ترشيح الجسيمات والتحكم في الغاز في نفس الوقت في مخطط منطقة الطباعة الحجرية الضوئية.تم تكوين المرشح الكيميائي لـ AMC المستهدف،يمكن تقييم لمرشحات PTFE HEPA/ULPA وفقًا لظروف العمل. فالاثنان يكملان بعضهما البعض بدلا من أن يحل كل منهما محل الآخر. إطلاق الغازات المادية ويمكن الإشارة إلى تقسيم العمل بين مكافحة التلوث الجزيئي وترشيح الجسيماتالأسئلة الشائعة حول مرشح ULPA عالي الكفاءة ودليل الاختيار。

5. الأسئلة والأجوبة ذات الصلة

ليست هناك حاجة للترشيح الكيميائي مع ULPA؟
تعتمد الحاجة إلى ضوابط AMC على متطلبات المادة الملوثة والعملية ويجب تقييمها بشكل منفصل. ULPA مسؤولة عن التلوث الجزيئي والغازي وتتطلب حلول الترشيح الكيميائي المقابلة.

هل يجب أن أختار U15 أو U16 لـ ULPA في منطقة الطباعة الحجرية الضوئية؟
ذلك يعتمد على تحديد حجم الجسيمات ومعايير العملية. وفي الوقت نفسه، يجب التحقق من تغيرات هامش المروحة والمقاومة. لا يمكنك الاختيار بناءً على أرقام الدرجات وحدها.

هل يجب تأكيد إطلاق الغازات من مواد ULPA بشكل منفصل؟
يحتاج. قد تؤدي جميع مواد الترشيح والمواد المانعة للتسرب والمواد اللاصقة المذوبة بالحرارة إلى إطلاق الغازات. وينبغي توفير بيانات الاختبار المقابلة عند الطلب. لا يمكن استنتاج مستوى إطلاق الغازات الإجمالي بناءً على نوع مادة المرشح وحدها.

6. المقالات ذات الصلة

الأسئلة الشائعة حول مرشح ULPA عالي الكفاءة ودليل الاختيار

PTFE HEPA/ULPA مرشح عالي الكفاءة

مرشح كيميائي

EFU فائق النحافة

7. النقاط الرئيسية لفحص الاختيار والقبول

8. مطابقة المنتج والدعم الفني من Aili Industrial

يغطي خط إنتاج Aili Industrial جانب المعداتوحدة تصفية المروحة الطرفية لمعدات EFU وفلتر HEPA/ULPA，يمكن تقييم مرشحات PTFE HEPA/ULPA لمتطلبات إطلاق الغازات المنخفضة،يمكن تكوين المرشحات الكيميائية للملوثات الغازية المستهدفة، ويمكن معالجة متطلبات الخط المزدوج للجزيئات والجزيئات في منطقة الطباعة الحجرية الضوئية في نفس النظام.يعتمد اختيار مرشح HEPA/ULPA على حجم الجسيمات المحددة لتأكيد الترس.تؤكد مشاريع مرشح ULPA غير القياسية شروط التثبيت وفقًا لهيكل المعدات؛ يمكن تأكيد بيانات إطلاق الغاز الخاصة بمواد الختم والمواد اللاصقة من خلال بيانات المنتج.يتم اختيار لمرشح ULPA لختم الخزان السائل وفقًا للظروف البيئية.مادة مانعة للتسرب وجسم الخزان تتم مطابقة وحدة مرشح المروحة في نهاية معدات EFU مع هيكل المعدات لتأكيد اتجاه مخرج الهواء وظروف التوحيد.تم تجهيز EFU فائق النحافة بإمدادات الهواء المحلية في المساحة المدمجة لمعدات الطباعة الحجرية.يسجل نظام التحكم في مجموعة الكمبيوتر FFU حجم هواء التشغيل وحالته لتسهيل التحقق من التثبيت. يتم توفير معالجة الغاز AMC بواسطةالمرشحات الكيميائية وتتوافق مرشحات FFU الكيميائية مع الجزيئات والغازات التي يتم تكوينها بشكل منفصل بدلاً من استبدال بعضها البعض. توفير أهداف العملية ورسومات التثبيت وظروف التشغيل ومتطلبات القبول، ويمكنه أيضًا توصيل مواصفات ULPA القياسية والواجهات غير القياسية والعينات ومطابقة الدُفعات. تعتمد المعلمات المحددة ونطاق الاختبار على النموذج المؤكد والوثائق الفنية.