Как настроить область литографии ULPA? Декларации эффективности, соответствия AMC и материалов

Зона фотолитографииКонфигурации фильтров ULPA должны включать в себя такие параметры процесса, как контроль частиц, AMC, высвобождение материала и стабилизация воздушного потока. ULPA решает только проблему фильтрации частиц и не может независимо доказать, что среда фотолитографии соответствует требованиям. Контроль загрязнения в зонах фотолитографии осуществляется двояко: частицы могут блокировать или рассеивать экспонирующий свет, а молекулярное загрязнение может изменить свойства фоторезиста или состояние поверхности оптических компонентов. ULPA отвечает за линию частиц, AMC и дегазация материала отвечают за молекулярную линию, и они не могут заменить друг друга. Если при выборе марки ULPA вы учитываете только эффективность частиц, не оценивая выделение газа из материала и координацию AMC, фактическая производительность участка фотолитографии может не соответствовать ожиданиям. Линейка продуктов Aili Industrial охватывает сторону оборудования.Блок фильтра концевого вентилятора оборудования EFU иHEPA/ULPA-фильтр，Фильтры HEPA/ULPA из ПТФЭ могут быть оценены на предмет низких требований к дегазации.Химические фильтры можно настроить для целевых газообразных загрязняющих веществ, а в одной системе можно удовлетворить требования к частицам и молекулам в двойной линии в области фотолитографии.

1. Уточнение загрязнений и границ процесса: частицы и АМК подтверждаются отдельно.

Оборудование и участники процесса должны определять вызывающие беспокойство частицы и газообразные загрязняющие вещества, различать помещения, внутренние части оборудования и локальные зоны воздействия, а также избегать общих требований, «подходящих для фотолитографии».

Цели контроля загрязнения в области фотолитографии должны быть конкретными: размер и концентрация частиц, тип АМС (кислотный, щелочной, органический конденсат, легирующая добавка) и целевая концентрация, а также то, находится ли диапазон контроля на уровне помещения или внутри оборудования. Без ясности этих входных данных не будет базовых показателей для рейтингов ULPA и конфигураций AMC. Айли Индустрияфильтров HEPA/ULPA подтвердите передачу в зависимости от размера частиц.При выборе Нестандартные проекты фильтров ULPA могут подтвердить условия установки в соответствии со структурой оборудования, а также могут быть выполнены требования AMC.Химические фильтры настраиваются индивидуально. Взаимосвязь между уровнями и пределами частиц можно найти вСравнение уровня чистоты ISO。

2. Координируйте материалы и решения AMC: ULPA сама по себе не решает проблему газового загрязнения.

Проверьте информацию о химических средах, коллоидах, уплотнениях и материалах каркаса в соответствии с целевыми загрязнителями и потребуйте объяснения объема и условий испытаний, чтобы избежать необоснованных обещаний о низких выбросах.

Источниками газовыделения ULPA для полупроводникового оборудования являются фильтрующие материалы, герметики и клеи-расплавы. Степень выделения ионов из герметиков может быть выше, чем из фильтрующих материалов, а выделение органических веществ из термоплавких клеев необходимо оценивать отдельно. Фильтрующий материал из ПТФЭ выделяет очень мало органических веществ в суровых условиях, однако герметики и термоплавкие клеи все равно могут выделять органические загрязнители. Это означает, что при выборе ULPA не следует просто смотреть на фильтрующий материал. Также необходимо подтвердить данные по выделению газов из уплотнительного материала и клея. Айли ИндустрияВ пакете фильтров HEPA/ULPA из ПТФЭ пригодность фильтрующего материала можно оценить по требованиям к низкому выделению газов.фильтра ULPA уплотнения бака для жидкости соответствуют условиям окружающей среды. Очистку газа АМЦ обеспечиваетУплотняющая жидкость и материал бака химические фильтры иСоответствие химических фильтров ФФУ . По вопросам согласования материалов и АМК обращайтесь кHEPA: часто задаваемые вопросы и руководство по выбору。-2-5

3. Проверьте установленный воздушный поток и интерфейсы: объем воздуха, однородность, пространство для обслуживания и целостность.

Объем воздуха, однородность, пространство для обслуживания и целостность должны быть совместно подтверждены, а затронутые элементы оценены после изменения материала или компоновки.

Оборудование для внутренней литографии ULPA обычно используется вместе с EFU. Распределение объема воздуха и целостность уплотнения после установки напрямую определяют эффект контроля частиц. В области фотолитографии предъявляются высокие требования к стабильности воздушного потока. Неравномерная скорость ветра или локальные водовороты на поверхности подачи воздуха могут привести к осаждению частиц на поверхности пластины. Айли ИндустрияПри выборе блока фильтра торцевого вентилятора оборудования EFU проверьте направление выпуска воздуха и условия однородности в соответствии со структурой оборудования.Ультратонкий ЭФУ оснащен локальной подачей воздуха в компактном пространстве литографического оборудования.Компьютерная система управления группой FFU фиксирует объем и состояние рабочего воздуха, которые во время проверки можно сравнить с фактическими условиями работы. Методы проверки установки см.Часто задаваемые вопросы и руководство по выбору сверхвысокоэффективного фильтра ULPA。

4. Если тест на частицы признан квалифицированным, но по-прежнему существуют опасения по поводу молекулярного загрязнения, следует дополнить контроль и тестирование AMC.

Если тест на частицы прошел проверку, но по-прежнему существуют опасения по поводу молекулярного загрязнения в процессе, следует внедрить дополнительный контроль и обнаружение загрязнений, а не просто повышать уровень ULPA. Индекс эффективности ULPA предназначен для частиц, и повышение класса не повысит способность удаления газообразных молекул.

Aili Industrial может одновременно оценить потребности в фильтрации частиц и контроле газа в плане участка фотолитографии.Химический фильтр настроен на целевой AMC,ПТФЭ-фильтров HEPA/ULPA можно оценить в зависимости от условий работы. Они дополняют друг друга, а не заменяют друг друга. Выделение газов из Разделение труда между контролем молекулярного загрязнения и фильтрацией частиц можно назватьЧасто задаваемые вопросы и руководство по выбору сверхвысокоэффективного фильтра ULPA。

5. Похожие вопросы и ответы

Нет ли необходимости в химической фильтрации с помощью ULPA?
Необходимость контроля AMC зависит от загрязняющего вещества и требований процесса и должна оцениваться отдельно. ULPA несет ответственность за загрязнение твердыми частицами и газами и требует соответствующих решений химической фильтрации.

Должен ли я выбрать U15 или U16 для ULPA в области фотолитографии?
Это зависит от определения размера частиц и стандартов процесса. При этом необходимо проверять запас хода вентилятора и изменения сопротивления. Вы не можете сделать выбор, основываясь только на цифрах оценок.

Нужно ли отдельно подтверждать выделение газов из материалов ULPA?
нуждаться. Фильтрующие материалы, герметики и термоплавкие клеи могут выделять газы. Соответствующие данные испытаний должны быть предоставлены по запросу. Общий уровень газовыделения нельзя определить только на основании типа фильтрующего материала.

6. Статьи по теме

Часто задаваемые вопросы и руководство по выбору сверхвысокоэффективного фильтра ULPA

Высокоэффективный фильтр PTFE HEPA/ULPA

химический фильтр

Ультратонкий ЭФУ

7. Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

8. Подбор продуктов и техническая поддержка от Aili Industrial.

Линейка продуктов Aili Industrial охватывает сторону оборудования.Блок фильтра концевого вентилятора оборудования EFU иHEPA/ULPA-фильтр，Фильтры HEPA/ULPA из ПТФЭ могут быть оценены на предмет низких требований к дегазации.Химические фильтры можно настроить для целевых газообразных загрязняющих веществ, а в одной системе можно удовлетворить требования к частицам и молекулам в двойной линии в области фотолитографии.Выбор фильтра HEPA/ULPA основан на оценке размера частиц для подтверждения соответствия.Нестандартные проекты фильтров ULPA подтверждают условия установки согласно конструкции оборудования; данные о выделении газов из герметизирующих материалов и клеев могут быть подтверждены данными о продукте.фильтра ULPA уплотнения бака для жидкости выбираются в соответствии с условиями окружающей среды.Уплотняющая жидкость и материал корпуса бака Блок вентиляторного фильтра на стороне оборудования EFU согласуется с конструкцией оборудования для подтверждения направления выпуска воздуха и условий однородности.Ультратонкий ЭФУ оснащен локальной подачей воздуха в компактном пространстве литографического оборудования.Компьютерная система управления группой FFU записывает объем и состояние рабочего воздуха, чтобы облегчить проверку установки. Компания AMC Gas Processing предоставленахимические фильтры иХимические фильтры FFU соответствуют частицам и газам, которые настраиваются отдельно, а не заменяют друг друга. Предоставляйте цели процесса, установочные чертежи, условия эксплуатации и требования приемки, а также можете дополнительно сообщать стандартные спецификации ULPA, нестандартные интерфейсы, образцы и соответствие партий. Конкретные параметры и диапазон испытаний основаны на подтвержденной модели и технической документации.