¿Cómo controla ULPA la liberación de material en la deposición de películas delgadas y la fabricación de pantallas?

Deposición y control de películas finas en la fabricación de pantallas.El núcleo de la liberación de material de filtro ULPA es desmontar el filtro en tres componentes: material de filtro, sellador y adhesivo termofusible para un control separado. No se puede limitarse a fijarse en el tipo de material filtrante. La liberación orgánica del material filtrante de PTFE es realmente muy baja, pero los selladores y adhesivos termofusibles son las principales fuentes de contaminación iónica y orgánica. Las condiciones de alta temperatura o alta humedad aumentarán aún más la liberación. El interior del equipo de deposición de películas delgadas y la cavidad de fabricación del panel de visualización son sensibles a la contaminación molecular. Como filtro terminal, el propio ULPA puede convertirse en una fuente de contaminación secundaria para AMC. La comprobación de la desgasificación durante la selección no puede detenerse en el nivel del material filtrante. Cobertura de la línea de productos de Aili IndustrialFiltros HEPA/ULPA yUnidad de filtro de ventilador lateral del equipo EFU，Los filtros PTFE HEPA/ULPA pueden evaluar los materiales filtrantes de acuerdo con los requisitos de baja desgasificación, y los datos de desgasificación de los materiales de sellado y los adhesivos termofusibles se pueden confirmar con los datos del producto.

1. Primero, observe de dónde proviene la liberación: cada uno de los tres componentes maneja un tipo de contaminación.

El filtro ULPA en la EFU de equipos semiconductores consta de tres partes: material filtrante, sellador y adhesivo termofusible, los cuales son fuentes potenciales de AMC.-4-10

La liberación total de iones más alta fue del sellador (22,43 ppbw) y la más baja del material del filtro (9,10 ppbw). Los catalizadores y aditivos que quedan durante el proceso de curado de los selladores son los principales contribuyentes a la contaminación iónica.

En términos de liberación orgánica, la liberación orgánica del material filtrante de PTFE es casi indetectable tanto en condiciones estándar como severas, pero la liberación orgánica de selladores y adhesivos termofusibles puede alcanzar 621 ppbw. Los selladores liberan principalmente ésteres C₄-C₈ de alto punto de ebullición, mientras que los adhesivos termofusibles liberan fragmentos de cera de poliolefina C₈-C₁₆.-15

Entre las emisiones de metales, el boro y el sodio son los dos contaminantes más sensibles al rendimiento de los semiconductores. El sellador tiene la mayor liberación total de metales (20,29 ppbw), de los cuales el sodio contribuye significativamente. La liberación de boro del material filtrante aumenta de 0,84 ppbw a 2,41 ppbw en condiciones de alta temperatura, lo que indica que la temperatura acelerará la difusión. La relación entre los niveles y los requisitos de filtrado se puede encontrar enComparación del nivel de limpieza ISO。-15

2. La humedad es un factor de aceleración y la deposición de la película y la fabricación de la pantalla deben controlarse por separado.

En condiciones de alta humedad (90% HR), la cantidad de liberación de iones del material del filtro aumentará 4,88 veces, lo que confirma que la adsorción de humedad es el principal factor de aceleración para la liberación de iones. Si hay fluctuaciones de humedad dentro del equipo de deposición de película delgada (como apertura y cierre de la cámara, recuperación después del mantenimiento), la liberación de iones de ULPA puede aumentar por un corto tiempo. Si ULPA está expuesto a alta humedad cerca de procesos húmedos en la fabricación, este impacto también debe evaluarse.-4-10

La industria Aili esAl combinar filtros PTFE HEPA/ULPA , la idoneidad del material se puede evaluar en función de las condiciones de humedad de trabajo.filtro ULPA con sello de tanque de líquido se confirman de acuerdo con las condiciones ambientales.El líquido de sellado y el material del tanque del Para proyectos de filtros ULPA no estándar , el plan de materiales se puede verificar de acuerdo con el rango de temperatura y humedad interna del equipo. Para conocer la combinación de materiales y condiciones de trabajo, consultePreguntas frecuentes sobre HEPA y guía de selección。

3. Método de verificación durante la selección del modelo: solicite datos basados ​​en componentes, no saque conclusiones basadas en materiales de filtro

A nivel de material filtrante, el PTFE tiene claras ventajas en la liberación orgánica y es adecuado para la deposición de películas delgadas y escenarios de fabricación de pantallas que son sensibles a los condensados ​​orgánicos (AMC-MC). Sin embargo, el PTFE no resuelve los problemas de los selladores y adhesivos termofusibles, por lo que no se puede asumir que la liberación general es controlable sólo por elegir el material de filtro PTFE.

Para los selladores y adhesivos termofusibles, los proveedores deben proporcionar datos de liberación iónica, orgánica y metálica para selladores y adhesivos termofusibles, en lugar de solo datos para los medios filtrantes. Los selladores de baja liberación reducen las contribuciones orgánicas e iónicas. Si en la fabricación de pantallas intervienen procesos de alta temperatura, se deben obtener datos de liberación en condiciones de alta temperatura. Los datos de temperatura normal no pueden representar el rendimiento a alta temperatura.

La industria Aili esEl paquete de filtro HEPA/ULPA puede proporcionar datos de liberación de gas de los materiales de filtrado y materiales de sellado de acuerdo con los requisitos del proyecto.Los datos del material filtrante de los filtros PTFE HEPA/ULPA se proporcionan por separado y los datos de desgasificación de selladores y adhesivos termofusibles se confirman por modelo. La selección de materiales de sellado en el paquete EFU del lado del equipo se puede verificar de acuerdo con las condiciones ambientales internas del equipo. Para conocer la correlación entre los datos de liberación de gas y la verificación de selección, consultePreguntas frecuentes sobre filtros de ultra alta eficiencia ULPA y guía de selección。

4. Consideraciones especiales en la fabricación de pantallas: los procesos OLED son más sensibles a la contaminación orgánica

La deposición de películas delgadas en la fabricación de paneles de visualización es similar al proceso inicial de semiconductores, pero el tamaño del sustrato es mayor y el método de control del entorno de la cavidad es diferente. En los procesos de evaporación y encapsulación que son sensibles a la contaminación orgánica en la fabricación de OLED, la liberación del sellador ULPA y del adhesivo termofusible debe evaluarse por separado. La lógica de selección es consistente con la EFU en el lado del equipo semiconductor: verifique los datos de liberación por componente y tome el valor según las condiciones reales de temperatura y humedad. No se puede juzgar el conjunto basándose en la promoción de materiales filtrantes de baja liberación.

La industria Aili esde la unidad de filtro del ventilador del extremo del equipo EFU , el plan de suministro de aire se puede confirmar de acuerdo con el espacio interno y las condiciones del proceso del equipo mostrado.En el paquete La EFU ultradelgada configura el suministro de aire local en el espacio compacto del equipo del panel.El sistema de control del grupo informático FFU registra el estado operativo para su verificación y comparación. Consulte la cooperación entre el suministro de aire del extremo del equipo y el control de materiales.Preguntas frecuentes y soporte técnico de EFU。

5. Preguntas y respuestas relacionadas

Si elige material de filtro de PTFE, ¿no tiene que preocuparse por la desgasificación del sellador?
no puedo. El PTFE sólo soluciona la liberación orgánica a nivel del material filtrante. La liberación iónica y orgánica de selladores y adhesivos termofusibles aún debe confirmarse por separado, y los tres deben verificarse por separado.

¿Pueden los datos de liberación de gas a temperatura normal representar condiciones de trabajo a alta temperatura?
no puedo. La alta temperatura acelerará la difusión. La liberación de boro del material filtrante aumenta de 0,84 ppbw a 2,41 ppbw a alta temperatura. La liberación orgánica del sellador aumenta aproximadamente un 40% en condiciones duras. Para procesos de alta temperatura, se deben obtener datos sobre las condiciones correspondientes.

¿La lógica de elegir ULPA para la fabricación de pantallas es la misma que la del front-end de semiconductores?
La lógica básica es la misma: verificar la liberación según el componente y tomar el valor según la temperatura y humedad reales. El proceso OLED en la fabricación de pantallas es sensible a la contaminación orgánica, y es necesario confirmar especialmente los datos sobre selladores y adhesivos termofusibles.

6. Artículos relacionados

Preguntas frecuentes sobre filtros de ultra alta eficiencia ULPA y guía de selección

Filtro de alta eficiencia PTFE HEPA/ULPA

EFU ultrafino

Preguntas frecuentes sobre HEPA y guía de selección

7. Puntos clave para la inspección de selección y aceptación.

8. Emparejamiento de productos y soporte técnico de Aili Industrial

Cobertura de la línea de productos de Aili IndustrialFiltros HEPA/ULPA yUnidad de filtro de ventilador lateral del equipo EFU，Los filtros PTFE HEPA/ULPA pueden evaluar los materiales filtrantes de acuerdo con los requisitos de baja desgasificación, y los datos de desgasificación de los materiales de sellado y los adhesivos termofusibles se pueden confirmar con los datos del producto.Los materiales compatibles con los filtros PTFE HEPA/ULPA se evalúan de acuerdo con las condiciones de trabajo y de humedad.filtro ULPA con sello de tanque de líquido se confirman de acuerdo con las condiciones ambientales.El líquido de sellado y el material del tanque del Los proyectos de filtros ULPA no estándar verifican el plan de materiales de acuerdo con el rango de temperatura y humedad interna del equipo.Los paquetes de filtros HEPA/ULPA pueden proporcionar datos de desgasificación de materiales filtrantes y materiales de sellado según los requisitos del proyecto;la unidad de filtro del ventilador en el extremo del equipo EFU .Confirme el plan de suministro de aire de acuerdo con el espacio interno y las condiciones de proceso del equipo de visualización al hacer coincidir La EFU ultradelgada configura el suministro de aire local en el espacio compacto del equipo del panel.El sistema de control del grupo informático FFU registra el estado operativo para su verificación y comparación. Proporcione objetivos de proceso, estructura de equipos y condiciones de temperatura y humedad, y comunique aún más los datos de desgasificación de materiales de ULPA y sugerencias de configuración. Los parámetros específicos y el rango de prueba se basan en el modelo confirmado y los documentos técnicos.