¿Cómo dividen FFU y EFU su trabajo en una sala limpia Clase 100?

En sala limpia clase 100Unidad de filtrado de ventilador FFU yLa división del trabajo de la unidad de filtrado del ventilador en el extremo del equipo EFU se divide según el rango de suministro de aire: FFU es responsable del suministro de aire a toda la habitación desde el techo para mantener la limpieza del fondo; EFU es responsable del suministro de aire independiente dentro del equipo o espacios locales para proteger procesos clave. Las posiciones de instalación, la lógica del flujo de aire y los métodos de combinación de los dos son diferentes y no pueden reemplazarse entre sí. Cuando la división del trabajo no está clara, es fácil que surjan problemas como una cobertura insuficiente de toda la habitación o una protección interna insuficiente del equipo. La línea de productos de Aili Industrial cubre tanto FFU para escenarios de techo como EFU para escenarios del lado del equipo. En el mismo proyecto de 100 niveles, puede comparar y seleccionar entre los dos métodos de instalación, en lugar de buscar cotizaciones separadas de los proveedores y unirlas.

1. Dividido por alcance del servicio: FFU es el lado de la fábrica, EFU es el lado del equipo

FFU generalmente se instala en el techo de la sala limpia para servir al macroentorno de toda la fábrica y es un equipo del lado de la fábrica. Forma un flujo unidireccional estable al cubrir un área grande, enviando aire limpio al área limpia y manteniendo la concentración de partículas en toda la habitación.-1

La EFU se instala directamente dentro del equipo de proceso o cerca del equipo, y está diseñada para proporcionar un suministro de aire terminal preciso para máquinas de fotolitografía, máquinas de grabado, máquinas de limpieza, equipos de revelado y recubrimiento de pegamento, etc. No realiza la tarea de purificar toda la sala, sino que solo protege las piezas de trabajo y los procesos clave dentro del equipo. FFU mantiene la limpieza básica de la sala limpia Clase 100, mientras que EFU mantiene la capa de protección más sofisticada dentro del equipo. La industria Aili esAl seleccionar filtros HEPA/ULPA , confirme el nivel según el objeto de protección. La EFU del lado del equipo puede coincidir con el modo de suministro de aire según la ruta de la oblea y la estructura de la cavidad. La relación entre niveles y límites de partículas se puede encontrar enComparación del nivel de limpieza ISO。-1-8

2. El método de instalación es diferente de la lógica del flujo de aire: sellado autopesado versus fijación rígida

FFU generalmente se instala horizontalmente y depende de su propio peso, quillas de techo y filtros para lograr el sellado. Su flujo de aire cubre el gran espacio desde el techo hacia abajo y coopera con el aire de retorno inferior para formar una organización del flujo de aire en toda la habitación. La instalación es relativamente sencilla y el mantenimiento se puede realizar desde debajo o encima del techo suspendido.-1

El método de instalación de EFU es más complicado y tiene dos formas: instalación horizontal e instalación vertical. La caja y el filtro generalmente están conectados de forma fija con pernos y tuercas, y toda la máquina y la máquina están fijadas rígidamente mediante soportes especiales. Su guía del flujo de aire es más precisa y requiere una presión estática más alta para superar la compleja resistencia dentro del equipo y entregar aire limpio a la superficie de la oblea o pieza de trabajo. La industria Aili esla unidad de filtro del ventilador del extremo del equipo EFU, confirme el método de fijación de acuerdo con la estructura del equipo y la dirección de instalación.Al combinar La EFU ultradelgada proporciona una solución de instalación compacta cuando el espacio en la parte superior del equipo es limitado. Consulte los puntos clave de la interfaz instalada en el lado del dispositivo.Preguntas frecuentes y soporte técnico de EFU。-1-8

3. Diferencias en las condiciones de trabajo: la contrapresión que enfrenta la EFU no es un valor fijo

La contrapresión que enfrenta la EFU no es un valor fijo. Estructuras como el brazo robótico, el escenario y la puerta de la cámara dentro del equipo crearán una resistencia adicional, que cambiará con los movimientos del proceso. Por lo tanto, las EFU requieren una mayor capacidad de presión estática, un diseño de caja más delgada y un control de vibración más estricto, y los requisitos técnicos suelen ser más altos que los de las FFU de uso general.-3-8

FFU se enfrenta a un espacio de techo relativamente estable. El punto de trabajo se ve afectado principalmente por la resistencia del filtro y la contrapresión del aire de retorno. La lógica de coincidencia es diferente de la EFU del lado del equipo. Ai Li industrialUnidad de filtrado de ventilador FFU yLa unidad de filtrado del ventilador en el extremo del equipo EFU verifica los puntos de trabajo de acuerdo con las condiciones de trabajo correspondientes en sus respectivas líneas de productos.El sistema de control del grupo informático FFU registra el volumen de aire y el estado operativo de las zonas, lo que facilita comparar el rendimiento real de los dos tipos de equipos con los valores de diseño. Para conocer los métodos de coincidencia de puntos de trabajo, consultePreguntas frecuentes y soporte técnico de FFU。

4. La combinación de los dos en una sala limpia Clase 100: protección de fondo + mejora local

La división típica del trabajo es: la FFU del techo mantiene la limpieza del fondo y la EFU establece protección local dentro del equipo. El área de fondo de la sala limpia Clase 100 está cubierta por FFU, alcanzando el nivel de concentración de partículas de ISO Clase 5; EFU proporciona un suministro de aire más preciso dentro de equipos clave para proteger las obleas o piezas de trabajo de la contaminación por partículas durante el transporte y el procesamiento.

La línea de productos de Aili Industrial cubre ambos aspectos. HayUnidad de filtrado de ventilador FFU , equipada en el lado del equipoUnidad de filtro de ventilador lateral del equipo EFU , ambas se pueden usar juntas en el mismo proyecto. FFU es responsable de cubrir toda la habitación y EFU iguala el patrón de salida de aire de acuerdo con la contrapresión de la máquina y la estructura de la cavidad.El sistema de control del grupo informático FFU puede gestionar la velocidad del viento y la diferencia de presión por área, permitiendo que el área de fondo y el equipo mantengan su estado operativo respectivamente. Consulte el esquema de protección local dentro del equipo.Preguntas frecuentes y guía de selección del filtro de ultra alta eficiencia ULPA。

5. Abusos comunes que se deben evitar

El uso de EFU para reemplazar la cobertura FFU en toda la habitación no tiene suficiente cobertura de servicio y no se puede mantener la limpieza de toda la habitación. Cuando se utiliza FFU para reemplazar la EFU dentro del equipo, es difícil que el flujo de aire del techo ingrese a la cavidad del equipo y los procesos internos clave no se pueden proteger de manera efectiva. Los dos puntos de trabajo se configuran según el mismo conjunto de parámetros. Ignorar la diferencia en la contrapresión de la máquina que enfrenta la EFU dará lugar a un volumen de aire insuficiente o fluctuante en el extremo del equipo.

Al confirmar la división del trabajo, primero aclare el objetivo de limpieza de toda la sala y la ubicación de los procesos clave, luego verifique la cobertura del techo de FFU y la interfaz del extremo del equipo de EFU respectivamente, y finalmente confirme el límite del flujo de aire entre el área local y el área de fondo. La industria Aili esFiltros ULPA no estándar yEFU ultradelgado , el límite del suministro de aire se confirma de acuerdo con la ruta de la oblea y la acción del mecanismo.En el proyecto final del equipo La solución de techo con unidad de filtrado de ventilador FFU confirma la cobertura según el diseño de la habitación y las condiciones del aire de retorno. Para verificar los límites de la división del trabajo, consultePreguntas frecuentes sobre HEPA y guía de selección。

6. Preguntas y respuestas relacionadas

¿Puede una sala limpia Clase 100 utilizar únicamente EFU?
no puedo. El interior o el espacio local del equipo de servicio EFU no puede mantener la limpieza de toda la habitación. La cobertura total de la habitación aún requiere FFU o un sistema de suministro de aire centralizado.

¿Pueden FFU y EFU utilizar el mismo filtro?
Sí, pero el tamaño, el método de sellado y la interfaz de instalación deben coincidir respectivamente. Las estructuras de caja de FFU y EFU son diferentes y los filtros no se pueden intercambiar directamente.

El equipo está ubicado en una sala limpia Clase 100. ¿Todavía requiere EFU en el interior?
necesidad. El cumplimiento de las condiciones de la habitación no significa que el equipo interno cumpla con los estándares. El movimiento mecánico, la manipulación de piezas de trabajo y la apertura de puertas pueden convertirse en fuentes locales de contaminación. El suministro de aire local dentro del equipo debe evaluarse por separado.

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8. Puntos clave para la inspección de selección y aceptación.

9. Emparejamiento de productos y soporte técnico de Aili Industrial

Aili Industrial tiene una base de producción de aproximadamente 30.000 metros cuadrados. El sistema de fabricación abarca motores, ventiladores, sistemas de control, chapa, filtros de aire y montaje completo de máquinas. FFU y EFU se pueden combinar en el mismo sistema. Lado del techoLa unidad de filtrado del ventilador FFU es responsable de la cobertura total de la habitación, del lado del equipo.La unidad de filtro del ventilador del extremo del equipo EFU coincide con el tipo de salida de aire de acuerdo con la contrapresión de la máquina y la estructura de la cavidad;El EFU ultradelgado proporciona una solución compacta cuando el espacio en la parte superior del dispositivo es limitado.El sistema de control del grupo informático FFU puede gestionar la velocidad del viento y la diferencia de presión por área, permitiendo que el área de fondo y el equipo mantengan su estado operativo respectivamente.filtros HEPA/ULPA, confírmelos por separado según las diferentes condiciones de evaluación de toda la habitación y del extremo del equipo.Al seleccionar Los filtros ULPA no estándar pueden tener interfaces personalizadas según la estructura del equipo. Proporcione objetivos de proceso, planos de instalación, condiciones operativas y requisitos de aceptación para comunicar aún más la división del trabajo y las sugerencias de configuración entre FFU y EFU. Los parámetros específicos y el rango de prueba se basan en el modelo confirmado y los documentos técnicos.