Как FFU и EFU разделяют свой труд в чистом помещении класса 100?

В классе 100 чистая комнатаБлок вентиляторного фильтра ФФУ иРазделение труда вентиляторно-фильтровальной установки со стороны оборудования ЭФУ разделено по диапазону подачи воздуха: ФФУ отвечает за подачу воздуха во все помещение от потолка для поддержания фоновой чистоты; EFU отвечает за независимую подачу воздуха внутри оборудования или локальных помещений для защиты ключевых процессов. Положения установки, логика воздушного потока и методы согласования у них разные и не могут заменить друг друга. Когда разделение труда неясно, могут легко возникнуть такие проблемы, как недостаточное освещение всего помещения или недостаточная внутренняя защита оборудования. Линейка продуктов Aili Industrial охватывает как FFU для потолочных сценариев, так и EFU для сценариев со стороны оборудования. В одном и том же 100-уровневом проекте вы можете сравнивать и выбирать между двумя методами установки, вместо того, чтобы искать отдельные предложения от поставщиков и собирать их вместе.

1. Разделено по объему обслуживания: FFU — заводская сторона, EFU — сторона оборудования.

FFU обычно устанавливается на потолке чистого помещения для обслуживания макросреды всего завода и представляет собой заводское оборудование. Он формирует стабильный односторонний поток, охватывая большую площадь, направляя чистый воздух в чистую зону и поддерживая концентрацию частиц во всем помещении.-1

EFU устанавливается непосредственно внутри технологического оборудования или рядом с оборудованием и предназначен для обеспечения точной конечной подачи воздуха для фотолитографических машин, травильных машин, чистящих машин, оборудования для нанесения клеевых покрытий и проявочного оборудования и т. д. Он не берет на себя задачу очистки всего помещения, а только защищает детали и ключевые процессы внутри оборудования. Фоновая чистота чистого помещения класса 100 поддерживается FFU, а более сложный уровень защиты внутри оборудования поддерживается EFU. Айли ИндустрияПри выборе фильтров HEPA/ULPA подтвердите уровень в соответствии с объектом защиты. EFU на стороне оборудования может подбирать режим подачи воздуха в зависимости от пути пластины и структуры полости. Взаимосвязь между уровнями и пределами частиц можно найти вСравнение уровня чистоты ISO。-1-8

2. Способ установки отличается от логики воздушного потока: самовзвешенное уплотнение или жесткое крепление.

FFU обычно устанавливается горизонтально и для обеспечения герметизации опирается на собственный вес, потолочные кили и фильтры. Его воздушный поток покрывает большое пространство от потолка вниз и взаимодействует с нижним возвратным воздухом, образуя организацию воздушного потока по всему помещению. Установка относительно проста, а обслуживание можно выполнять снизу или над подвесным потолком.-1

Способ установки ЭФУ более сложен и имеет две формы: горизонтальную установку и вертикальную установку. Коробка и фильтр обычно жестко соединяются болтами и гайками, а вся машина и машина жестко фиксируются специальными кронштейнами. Его направление воздушного потока более точное и требует более высокого статического давления для преодоления сложного сопротивления внутри оборудования и подачи чистого воздуха на поверхность пластины или заготовки. Айли Индустрияблока фильтра торцевого вентилятора оборудования EFU подтвердите метод крепления в соответствии с конструкцией оборудования и направлением установки.При выборе Ультратонкий EFU обеспечивает компактное решение для установки, когда пространство на верхней части оборудования ограничено. Пожалуйста, ознакомьтесь с ключевыми моментами интерфейса, установленного на стороне устройства.Часто задаваемые вопросы по EFU и техническая поддержка。-1-8

3. Различия в условиях работы: противодавление, с которым сталкивается EFU, не является фиксированным значением.

Противодавление, с которым сталкивается EFU, не является фиксированной величиной. Такие конструкции, как роботизированная рука, сцена и дверь камеры внутри оборудования, будут создавать дополнительное сопротивление, которое будет меняться в зависимости от движения процесса. Таким образом, EFU требует более высокой устойчивости к статическому давлению, более тонкой конструкции коробки и более строгого контроля вибрации, а технические требования обычно выше, чем у FFU общего назначения.-3-8

ФФУ сталкивается с относительно стабильным потолочным пространством. На рабочую точку в основном влияют сопротивление фильтра и противодавление возвратного воздуха. Логика сопоставления отличается от логики EFU на стороне оборудования. Ай Ли ИндастриалБлок вентиляторного фильтра ФФУ иБлок вентиляторного фильтра на стороне оборудования EFU проверяет рабочие точки в соответствии с соответствующими условиями работы в соответствующих линейках продуктов.Компьютерная групповая система управления ФФУ фиксирует объем воздуха и рабочее состояние зон, что позволяет легко сравнивать фактическую производительность двух типов оборудования с проектными значениями. Методы сопоставления рабочих точек см.Часто задаваемые вопросы ФФУ и техническая поддержка。

4. Комбинация этих двух факторов в чистой комнате класса 100: фоновая защита + локальное улучшение.

Типичное разделение труда такое: потолочный ФФУ поддерживает чистоту фона, а ЭФУ устанавливает локальную защиту внутри оборудования. Фоновая зона чистого помещения класса 100 покрыта FFU, достигающим уровня концентрации частиц класса 5 по ISO; EFU обеспечивает более точную подачу воздуха внутри основного оборудования для защиты пластин или заготовок от загрязнения частицами во время транспортировки и обработки.

Линейка продуктов Aili Industrial охватывает оба аспекта. ЕстьФильтрующий вентилятор FFU , оборудованный со стороны оборудованияБлок фильтра вентилятора со стороны оборудования EFU , оба могут использоваться вместе в одном проекте. FFU отвечает за полное покрытие помещения, а EFU подбирает схему выпуска воздуха в соответствии с противодавлением машины и структурой полости.Компьютерная система управления группой FFU может управлять скоростью ветра и перепадом давления по районам, позволяя фоновой зоне и оборудованию поддерживать рабочее состояние соответственно. Пожалуйста, ознакомьтесь с местной схемой защиты внутри оборудования.Часто задаваемые вопросы и руководство по выбору сверхвысокоэффективного фильтра ULPA。

5. Распространенные злоупотребления, которых следует избегать

Использование EFU для замены покрытия FFU во всем помещении не обеспечивает достаточного покрытия обслуживания и невозможно поддерживать чистоту всего помещения. Когда FFU используется для замены EFU внутри оборудования, потоку потолочного воздуха трудно проникнуть в полость оборудования, и ключевые внутренние процессы не могут быть эффективно защищены. Две рабочие точки настраиваются по одному и тому же набору параметров. Игнорирование разницы противодавления машины, с которой сталкивается EFU, приведет к недостаточному или нестабильному объему воздуха на конце оборудования.

При подтверждении разделения труда сначала уточните целевой показатель чистоты всего помещения и расположение ключевых процессов, затем проверьте покрытие потолка FFU и конечного интерфейса оборудования EFU соответственно и, наконец, подтвердите границу воздушного потока между локальной областью и фоновой областью. Айли ИндустрияНестандартные фильтры ULPA иультратонкого оборудования EFU граница подачи воздуха подтверждается в зависимости от пути пластины и действия механизма.В конечном проекте Потолочное решение с вентиляторным фильтрующим блоком FFU подтверждает покрытие в зависимости от планировки помещения и условий вытяжного воздуха. Для проверки границ разделения труда см.HEPA: часто задаваемые вопросы и руководство по выбору。

6. Похожие вопросы и ответы

Может ли чистая комната класса 100 использовать только EFU?
не могу. Внутреннее или локальное пространство сервисного оборудования ЭФУ не может поддерживать чистоту всего помещения. Для полного покрытия помещения по-прежнему требуется FFU или централизованная система подачи воздуха.

Могут ли FFU и EFU использовать один и тот же фильтр?
Да, но размер, метод уплотнения и интерфейс установки должны совпадать соответственно. Структуры коробок FFU и EFU различны, и фильтры не могут быть заменены напрямую.

Оборудование расположено в чистом помещении класса 100. Требуется ли внутри EFU?
нуждаться. Соответствие условий помещения не означает, что внутреннее оборудование соответствует стандартам. Механические движения, манипуляции с заготовками и открывание дверей могут стать локальными источниками загрязнения. Местную подачу воздуха внутри оборудования необходимо оценивать отдельно.

7. Похожие статьи

Часто задаваемые вопросы и руководство по выбору сверхвысокоэффективного фильтра ULPA

EFU оснащен фильтром сверхвысокой эффективности ULPA.

FFU оснащен фильтром сверхвысокой эффективности ULPA.

HEPA: часто задаваемые вопросы и руководство по выбору

8. Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

9. Подбор продуктов и техническая поддержка от Aili Industrial.

Aili Industrial имеет производственную базу площадью около 30 000 квадратных метров. Производственная система охватывает двигатели, вентиляторы, системы управления, листовой металл, воздушные фильтры и полную сборку машин. FFU и EFU могут быть объединены в одной системе. Сторона потолкаБлок фильтра-вентилятора FFU отвечает за полное покрытие помещения со стороны оборудования.Блок фильтра торцевого вентилятора оборудования EFU соответствует типу воздуховыпускного отверстия в соответствии с противодавлением машины и структурой полости;Ультратонкий EFU представляет собой компактное решение, когда пространство в верхней части устройства ограничено.Компьютерная система управления группой FFU может управлять скоростью ветра и перепадом давления по районам, позволяя фоновой зоне и оборудованию поддерживать рабочее состояние соответственно.фильтров HEPA/ULPA подтвердите их отдельно в соответствии с различными условиями оценки всего помещения и оборудования.При выборе Нестандартные фильтры ULPA позволяют настроить интерфейс в соответствии со структурой оборудования. Предоставьте цели процесса, установочные чертежи, условия эксплуатации и требования приемки для дальнейшего обмена информацией о разделении труда и предложениях по конфигурации между FFU и EFU. Конкретные параметры и диапазон испытаний основаны на подтвержденной модели и технической документации.