В чем разница между передовой комплектацией и выбором полупроводникового интерфейса ULPA?

Передовая линия передовой упаковки и полупроводниковВыбор фильтра ULPA должен основываться на конкретном процессе, воздействии продукта, чувствительности к частицам и AMC, а также условиях оборудования. Названия отраслей не могут напрямую соответствовать уникальным уровням фильтрации. Распространенным заблуждением является то, что «требования к интерфейсу высоки, а требования к упаковке — низки». Поэтому достаточно использовать ULPA для фронтенда и HEPA для инкапсуляции. Это суждение примерно верно в эпоху традиционной упаковки, но оно уже не является точным в случае современной упаковки (Flip Chip, Fan-Out, упаковка на уровне пластины, 3D-стекирование). Размер выпуклости современной упаковки увеличен до десятков микрон или даже меньше. Частицы размером в одну пятую диаметра выступа могут вызвать пустоты в припое или короткое замыкание перемычки. На участке производства ударов обычно требуется уровень чистоты ISO 5 или выше. В то же время, испытания упаковки должны быть не только «чистыми», но и контролировать вибрацию, статическое электричество, локальное повышение температуры и химические загрязнители. Чувствительные измерения параметров окружающей среды шире, чем в предыдущем процессе. Выбор должен основываться на конкретных процессах и объектах защиты, а не на единой маркировке «передовая линия» или «упаковка». Линейка продуктов Aili Industrial охватывает сторону оборудования.Блок фильтра концевого вентилятора оборудования EFU иHEPA/ULPA-фильтр , передняя зона фотолитографии и усовершенствованная область выступа упаковки могут соответствовать решениям по фильтрации в соответствии с соответствующими условиями работы.-2

1. Определите требования к процессу: посмотрите на путь фотолитографии на передней части, а также на неровности и поверхность соединения упаковки.

Различные предварительные процессы, а также монтаж, склеивание, покрытие или тестирование упаковки могут иметь разные источники загрязнения и объемы защиты, поэтому необходимо уточнить фактические цели.

Риски основных частиц на предварительной стадии сконцентрированы в зонах фотолитографии, травления и осаждения пленки. Область фотолитографии чрезвычайно чувствительна к частицам, поскольку частицы, попадающие на маску или пластину, могут напрямую разрушить рисунок. Точки риска современной упаковки более разбросаны: выравнивание фотолитографии и проверка образования выступов, установка чипа и интерфейс склеивания. Каждое звено имеет разные открытые поверхности и чувствительные размеры частиц. Упаковка на уровне пластины (WLP) завершает перемонтаж и производство непосредственно на пластине. Время выдержки длительное, а требования к чистоте близки к фронтальному процессу. Первым шагом в выборе является составление списка мест воздействия, чувствительных размеров частиц и допустимых концентраций для конкретного процесса, а не выбора предварительного сорта. Айли Индустрияфильтров HEPA/ULPA подтвердите передачу в соответствии с размером частиц и степенью защиты.При выборе Нестандартные проекты фильтров ULPA могут подтвердить условия установки в соответствии со структурой оборудования. Взаимосвязь между уровнями и пределами частиц можно найти вСравнение уровня чистоты ISO。-2

2. Сравните состояние оборудования и системы: переднее оборудование герметично, а упаковочное оборудование более открыто.

Проверьте зону подачи воздуха, пределы вентилятора, защиту механизма, статический контроль, материалы и пространство для обслуживания, чтобы избежать простого копирования марки фильтрующего элемента другой линии.

Входное оборудование (например, фотолитографические машины и машины для травления) обычно герметично закрыто. Пластины передаются и обрабатываются внутри оборудования, а контроль окружающей среды сосредоточен в микросреде внутри оборудования. Усовершенствованное упаковочное оборудование имеет более высокую степень открытости: в таких процессах, как установка перевернутого чипа, соединение проводов и проверка, чипы или подложки могут перемещаться между различным оборудованием и подвергаться воздействию окружающей среды мастерской в ​​течение более длительного периода времени. Это означает, что чистоту фона и локальную защиту упаковочного цеха необходимо проектировать вместе, а не полагаться исключительно на внутреннюю ULPA оборудования. Айли ИндустрияПоддерживая блок вентиляторного фильтра со стороны оборудования EFU, подтвердите местный план подачи воздуха в соответствии с конструкцией оборудования и степенью открытия.Ультратонкий EFU настраивает направление выпуска воздуха в компактном пространстве упаковочного оборудования.Фильтрующий вентилятор FFU можно использовать на заднем плане или над рабочими станциями. Для сравнения оборудования и состояния системы см.HEPA: часто задаваемые вопросы и руководство по выбору。

3. АМК и выделение газов: упаковка очень чувствительна к химическому загрязнению.

В области предварительной фотолитографии основное внимание уделяется влиянию AMC на оптические компоненты и фоторезист, а в области передовой упаковки основное внимание уделяется влиянию химических загрязнений на однородность покрытия, границы склеивания и совместимость материалов.

В процессе химического покрытия упаковки на уровне пластин органические добавки в растворе меднения чувствительны к щелочным молекулам в окружающей среде и могут повлиять на однородность покрытия. Требования к интерфейсу и упаковке для конкретного типа AMC разные, но тот факт, что «ULPA решает только частицы», один и тот же. Фильтрация частиц и контроль газа должны оцениваться отдельно во время выбора. Айли ИндустрияВ пакете фильтров HEPA/ULPA из ПТФЭ материалы могут быть оценены в соответствии с низкими требованиями к выделению газов.Химические фильтры настроены на целевые газообразные загрязнители,Химические фильтры FFU можно использовать с FFU. По вопросам согласования материалов и АМК обращайтесь кЧасто задаваемые вопросы и руководство по выбору сверхвысокоэффективного фильтра ULPA。-2

4. Определяется путем проверки прототипа и эксплуатации: один и тот же уровень не означает одинаковую производительность.

Подтвердите целостность фильтрации и установки, а также оцените воздушный поток и соответствующие показатели окружающей среды в соответствующих условиях эксплуатации. Ключевые материалы и требования AMC должны быть указаны отдельно.

Даже если передний канал и упаковка имеют одинаковый уровень, фактический эффект защиты может быть разным, если структура оборудования, путь воздушного потока и рабочее состояние различны. Проверка должна охватывать соответствующие фактические действия: внешний интерфейс проверяет внутренний процесс передачи и экспонирования литографической машины, а упаковка проверяет действия по размещению, склеиванию и обнаружению. Айли Индустрияфильтрующего блока концевого вентилятора оборудования EFU .Условия подачи воздуха можно подтвердить в соответствии с последовательностью действий оборудования при подборе Система управления компьютерной группой ФФУ фиксирует объем рабочего воздуха и состояние оборудования и при проверке сравнивает их с реальными условиями работы. Способы проверки см.Часто задаваемые вопросы по EFU и техническая поддержка。

5. Похожие вопросы и ответы

Может ли усовершенствованная упаковка быть единообразно выбрана на более низком уровне?
Единое суждение не может быть вынесено на основе отраслевых маркировок, оно должно определяться совместно целями процесса, структурой и результатами испытаний. Зона выступания может потребовать такой же чистоты, как и некоторые предварительные процессы.

Используйте U16 для переднего канала и U15 для упаковки. Это правильно?
Его нельзя разделить так просто. Марка зависит от определенного размера частиц и чувствительности к частицам в конкретном процессе, а потребности разных процессов в одной отрасли также могут различаться.

Повлияет ли вибрация и статическое электричество в цехе упаковки на выбор ULPA?
Это повлияет на общее решение, но не изменит функцию фильтрации частиц ULPA. Вибрацию и статическое электричество необходимо оценивать отдельно, а выбор ULPA по-прежнему необходимо определять на основе целевых частиц.

6. Статьи по теме

Часто задаваемые вопросы и руководство по выбору сверхвысокоэффективного фильтра ULPA

Высокоэффективный фильтр PTFE HEPA/ULPA

химический фильтр

Ультратонкий ЭФУ

7. Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

8. Подбор продуктов и техническая поддержка от Aili Industrial.

Линейка продуктов Aili Industrial охватывает сторону оборудования.Блок фильтра концевого вентилятора оборудования EFU иHEPA/ULPA-фильтр , передняя зона фотолитографии и усовершенствованная область выступа упаковки могут соответствовать решениям по фильтрации в соответствии с соответствующими условиями работы.Выбор фильтра HEPA/ULPA основан на определенном размере частиц и диапазоне защиты.Нестандартные проекты фильтров ULPA подтверждают условия установки согласно конструкции оборудования;Фильтрующая установка концевого вентилятора оборудования ЭФУ оснащена локальной схемой подачи воздуха, которая определяется исходя из конструкции оборудования и степени открытия.Ультратонкий EFU настраивает направление выпуска воздуха в компактном пространстве упаковочного оборудования.Фильтрующий вентилятор FFU можно использовать на заднем плане или над рабочими станциями.Фильтры HEPA/ULPA из ПТФЭ оценивают материалы в соответствии с низкими требованиями к выделению газов,химические фильтры иХимические фильтры ФФУ настроены на целевые газообразные загрязнители;Блок вентиляторного фильтра со стороны оборудования EFU оснащен блоком вентиляторного фильтра для подтверждения условий подачи воздуха в соответствии с последовательностью действий оборудования.Компьютерная система управления группой FFU записывает объем рабочего воздуха и состояние оборудования для облегчения проверки. Предоставляйте цели процесса, установочные чертежи, условия эксплуатации и требования приемки, а также можете дополнительно сообщать стандартные спецификации ULPA, нестандартные интерфейсы, образцы и соответствие партий. Конкретные параметры и диапазон испытаний основаны на подтвержденной модели и технической документации.