Sự khác biệt giữa bao bì tiên tiến và lựa chọn ULPA mặt trước bán dẫn là gì?

Tuyến đầu về đóng gói và bán dẫn tiên tiếnViệc lựa chọn bộ lọc ULPA phải dựa trên quy trình cụ thể, mức độ tiếp xúc với sản phẩm, độ nhạy hạt và AMC cũng như điều kiện thiết bị. Tên ngành không thể tương ứng trực tiếp với các cấp độ lọc duy nhất. Một sự hiểu lầm phổ biến là 'yêu cầu về mặt trước cao và yêu cầu về đóng gói thấp'. Vì vậy, chỉ cần sử dụng ULPA cho phần đầu và HEPA cho phần đóng gói là đủ. Nhận định này gần như đúng trong thời đại bao bì truyền thống, nhưng nó không còn chính xác trong bao bì tiên tiến (Flip Chip, Fan-Out, bao bì cấp wafer, xếp chồng 3D). Kích thước vết sưng của bao bì tiên tiến đã được đẩy lên hàng chục micron hoặc thậm chí nhỏ hơn. Một hạt có kích thước bằng 1/5 đường kính vết sưng có thể gây ra các lỗ rỗng khi hàn hoặc đoản mạch cầu. Khu vực sản xuất Bump thường yêu cầu độ sạch ISO cấp 5 trở lên. Đồng thời, ngoài việc “sạch”, việc kiểm tra bao bì còn cần kiểm soát độ rung, tĩnh điện, độ tăng nhiệt độ cục bộ và các chất ô nhiễm hóa học. Kích thước nhạy cảm của các thông số môi trường rộng hơn so với quy trình trước. Việc lựa chọn phải quay trở lại quy trình cụ thể và các đối tượng bảo vệ, thay vì dán nhãn một kích cỡ phù hợp cho tất cả về 'tiền tuyến' hoặc 'đóng gói'. Dòng sản phẩm của Aili Industrial bao gồm mặt thiết bịBộ lọc quạt cuối thiết bị EFU vàBộ lọc HEPA/ULPA , khu vực quang khắc mặt trước và khu vực gập bao bì tiên tiến có thể phù hợp với các giải pháp lọc theo điều kiện làm việc tương ứng của chúng.-2

1. Xác định các yêu cầu từ quy trình: xem xét đường dẫn quang khắc ở mặt trước và xem các phần va chạm và giao diện liên kết của bao bì.

Các quy trình giao diện người dùng khác nhau và việc lắp đặt, liên kết, phủ hoặc thử nghiệm trong bao bì có thể có các nguồn ô nhiễm và phạm vi bảo vệ khác nhau, vì vậy cần phải làm rõ các mục tiêu thực tế.

Rủi ro hạt cốt lõi ở mặt trước tập trung ở các khu vực quang khắc, khắc và lắng đọng màng. Khu vực quang khắc cực kỳ nhạy cảm với các hạt, vì các hạt rơi trên mặt nạ hoặc tấm bán dẫn có thể trực tiếp phá hủy mẫu. Các điểm rủi ro của bao bì tiên tiến rải rác hơn: căn chỉnh quang khắc và kiểm tra quá trình sản xuất vết sưng, gắn chip và giao diện liên kết. Mỗi liên kết có bề mặt tiếp xúc khác nhau và kích thước hạt nhạy cảm. Đóng gói ở cấp độ wafer (WLP) hoàn tất việc nối lại và sản xuất trực tiếp trên wafer. Thời gian phơi sáng dài và yêu cầu về độ sạch gần với yêu cầu của quy trình trước. Bước đầu tiên trong việc lựa chọn là liệt kê các vị trí tiếp xúc, kích thước hạt nhạy cảm và nồng độ cho phép đối với quy trình cụ thể, thay vì chọn loại đầu tiên. Công nghiệp Aili làbộ lọc HEPA/ULPA, hãy xác nhận thiết bị theo kích thước hạt và phạm vi bảo vệ.Khi chọn Các dự án lọc ULPA không chuẩn có thể xác nhận các điều kiện lắp đặt theo cấu trúc thiết bị. Mối quan hệ giữa mức độ và giới hạn hạt có thể được tìm thấy trongSo sánh mức độ sạch ISO。-2

2. So sánh điều kiện thiết bị và hệ thống: thiết bị phía trước được niêm phong và thiết bị đóng gói cởi mở hơn.

Kiểm tra khu vực cấp khí, lề quạt, tấm chắn cơ chế, điều khiển tĩnh, vật liệu và không gian bảo trì để tránh việc chỉ sao chép cấp phần tử bộ lọc của dòng khác.

Thiết bị đầu cuối (chẳng hạn như máy quang khắc và máy khắc) thường có độ kín cao. Các tấm bán dẫn được chuyển và xử lý bên trong thiết bị, đồng thời việc kiểm soát môi trường tập trung ở môi trường vi mô bên trong thiết bị. Thiết bị đóng gói tiên tiến có mức độ mở cao hơn: Trong các quy trình như lắp chip lật, liên kết dây và kiểm tra, chip hoặc chất nền có thể được chuyển giữa các thiết bị khác nhau và tiếp xúc với môi trường xưởng trong thời gian dài hơn. Điều này có nghĩa là độ sạch nền và bảo vệ cục bộ của xưởng đóng gói cần phải được thiết kế cùng nhau, thay vì chỉ dựa vào ULPA bên trong của thiết bị. Công nghiệp Aili làKhi đỡ bộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU, hãy xác nhận sơ đồ cấp không khí cục bộ theo cấu trúc thiết bị và mức độ mở.EFU siêu mỏng định cấu hình hướng thoát khí trong không gian nhỏ gọn của thiết bị đóng gói.Bộ lọc quạt FFU có thể được sử dụng ở khu vực nền hoặc phía trên máy trạm. Để so sánh tình trạng thiết bị và hệ thống, vui lòng tham khảoCác câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn về HEPA。

3. AMC và sự thoát khí của vật liệu: bao bì rất nhạy cảm với ô nhiễm hóa chất

Khu vực quang khắc mặt trước tập trung vào tác động của AMC lên các thành phần quang học và chất quang dẫn, trong khi bao bì tiên tiến tập trung vào tác động của các chất gây ô nhiễm hóa học đến tính đồng nhất của lớp mạ, giao diện liên kết và khả năng tương thích vật liệu.

Trong quy trình mạ hóa học của bao bì cấp wafer, các chất phụ gia hữu cơ trong dung dịch mạ đồng rất nhạy cảm với các phân tử kiềm trong môi trường và có thể ảnh hưởng đến tính đồng nhất của lớp mạ. Giao diện người dùng và bao bì có các yêu cầu khác nhau đối với loại AMC cụ thể, nhưng thực tế là 'ULPA chỉ giải quyết các hạt' là như nhau. Quá trình lọc hạt và kiểm soát khí phải được đánh giá riêng biệt trong quá trình lựa chọn. Công nghiệp Aili làVật liệu trong gói bộ lọc PTFE HEPA/ULPA có thể được đánh giá theo yêu cầu thoát khí thấp.Bộ lọc hóa học được cấu hình cho các chất gây ô nhiễm khí mục tiêu,Bộ lọc hóa học FFU có thể được sử dụng cùng với FFU. Để phối hợp tài liệu và AMC, vui lòng tham khảoCâu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA。-2

4. Được xác định bằng xác minh nguyên mẫu và vận hành: cùng mức không có nghĩa là hiệu suất như nhau

Xác nhận tính toàn vẹn của quá trình lọc và lắp đặt, đồng thời đánh giá luồng không khí và các chỉ số môi trường liên quan trong các điều kiện vận hành tương ứng. Các vật liệu chính và yêu cầu của AMC phải được liệt kê riêng.

Ngay cả khi kênh phía trước và bao bì có cùng cấp độ, hiệu quả bảo vệ thực tế có thể khác nếu cấu trúc thiết bị, đường dẫn luồng không khí và trạng thái vận hành khác nhau. Việc xác minh phải bao gồm các hành động thực tế tương ứng của chúng: giao diện người dùng xem xét quá trình truyền tải và phơi sáng bên trong của máy in thạch bản, còn bao bì xem xét các hành động đặt, liên kết và phát hiện. Công nghiệp Aili làbộ lọc quạt cuối thiết bị EFU .Các điều kiện cung cấp không khí có thể được xác nhận theo trình tự hành động của thiết bị khi khớp với Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại lượng không khí vận hành và trạng thái thiết bị, đồng thời so sánh chúng theo điều kiện làm việc thực tế trong quá trình xác minh. Để biết các phương pháp xác minh, vui lòng tham khảoCâu hỏi thường gặp về EFU và hỗ trợ kỹ thuật。

5. Câu hỏi và đáp án liên quan

Bao bì tiên tiến có thể được lựa chọn thống nhất ở mức độ thấp hơn không?
Đánh giá thống nhất không thể được đưa ra dựa trên nhãn ngành mà phải được xác định chung bởi các mục tiêu của quy trình, cấu trúc và kết quả thử nghiệm. Khu vực va chạm có thể yêu cầu độ sạch tương tự như một số quy trình giao diện người dùng.

Sử dụng U16 cho kênh phía trước và U15 cho bao bì. Điều này có đúng không?
Nó không thể được chia một cách đơn giản như vậy. Cấp độ này phụ thuộc vào kích thước hạt được xác định và độ nhạy hạt của quy trình cụ thể và nhu cầu của các quy trình khác nhau trong cùng một ngành cũng có thể khác nhau.

Độ rung và tĩnh điện trong xưởng đóng gói có ảnh hưởng đến việc lựa chọn ULPA không?
Nó sẽ ảnh hưởng đến giải pháp tổng thể nhưng sẽ không làm thay đổi chức năng lọc hạt của ULPA. Độ rung và tĩnh điện cần được đánh giá riêng biệt và việc lựa chọn ULPA vẫn cần được xác định dựa trên mục tiêu hạt.

6. Các bài viết liên quan

Câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA

Bộ lọc hiệu suất cao PTFE HEPA/ULPA

bộ lọc hóa học

EFU siêu mỏng

7. Những điểm chính trong việc lựa chọn và nghiệm thu

8. Hỗ trợ kỹ thuật và kết hợp sản phẩm từ Aili Industrial

Dòng sản phẩm của Aili Industrial bao gồm mặt thiết bịBộ lọc quạt cuối thiết bị EFU vàBộ lọc HEPA/ULPA , khu vực quang khắc mặt trước và khu vực gập bao bì tiên tiến có thể phù hợp với các giải pháp lọc theo điều kiện làm việc tương ứng của chúng.Lựa chọn bộ lọc HEPA/ULPA dựa trên kích thước hạt và phạm vi bảo vệ đã xác định.Các dự án lọc ULPA phi tiêu chuẩn xác nhận điều kiện lắp đặt theo kết cấu thiết bị;Bộ lọc quạt cuối thiết bị EFU được trang bị sơ đồ cấp không khí cục bộ được xác định dựa trên cấu trúc thiết bị và mức độ mở.EFU siêu mỏng định cấu hình hướng thoát khí trong không gian nhỏ gọn của thiết bị đóng gói.Bộ lọc quạt FFU có thể được sử dụng ở khu vực nền hoặc phía trên máy trạm.Bộ lọc PTFE HEPA/ULPA đánh giá vật liệu theo yêu cầu thoát khí thấp,bộ lọc hóa học vàBộ lọc hóa học FFU được cấu hình cho các chất gây ô nhiễm khí mục tiêu;Bộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU được trang bị bộ lọc quạt để xác nhận các điều kiện cấp khí theo trình tự hoạt động của thiết bị.Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại lượng không khí vận hành và trạng thái thiết bị để dễ dàng xác minh. Cung cấp các mục tiêu quy trình, bản vẽ lắp đặt, điều kiện vận hành và yêu cầu chấp nhận, đồng thời có thể truyền đạt thêm các thông số kỹ thuật tiêu chuẩn ULPA, giao diện phi tiêu chuẩn, mẫu và khớp lô. Các thông số cụ thể và phạm vi thử nghiệm dựa trên mô hình và tài liệu kỹ thuật đã được xác nhận.