¿Cuál es la diferencia entre el empaquetado avanzado y la selección ULPA frontal de semiconductores?

Primera línea de embalaje avanzado y semiconductoresLa selección del filtro ULPA debe basarse en el proceso específico, la exposición del producto, la sensibilidad a partículas y AMC y las condiciones del equipo. Los nombres de la industria no pueden corresponder directamente a niveles de filtrado únicos. Un malentendido común es que 'los requisitos iniciales son altos y los requisitos de empaque son bajos'. Por tanto, basta con utilizar ULPA para el front-end y HEPA para la encapsulación. Este juicio es más o menos cierto en la era del embalaje tradicional, pero ya no es exacto en el embalaje avanzado (Flip Chip, Fan-Out, embalaje a nivel de oblea, apilamiento 3D). El tamaño de la protuberancia de los envases avanzados se ha reducido a decenas de micrones o incluso menos. Una partícula con un tamaño de una quinta parte del diámetro de la protuberancia puede causar huecos en la soldadura o cortocircuitos en los puentes. El área de producción de protuberancias generalmente requiere una limpieza de nivel ISO 5 o superior. Al mismo tiempo, además de ser 'limpios', las pruebas de embalaje también deben controlar la vibración, la electricidad estática, el aumento de temperatura local y los contaminantes químicos. Las dimensiones sensibles de los parámetros ambientales son más amplias que el proceso anterior. La selección debería volver al proceso específico y a los objetos de protección, en lugar de un etiquetado único de 'primera línea' o 'envasado'. La línea de productos de Aili Industrial cubre el lado de los equipos.Unidad de filtrado del ventilador del extremo del equipo EFU yEl filtro HEPA/ULPA , el área de fotolitografía frontal y el área de empaque avanzado pueden combinar soluciones de filtrado según sus respectivas condiciones de trabajo.-2

1. Identifique los requisitos del proceso: observe la ruta de fotolitografía en la parte frontal y observe las protuberancias y la interfaz de unión del embalaje.

Los diferentes procesos iniciales y el montaje, unión, recubrimiento o prueba en embalajes pueden tener diferentes fuentes de contaminación y alcances de protección, por lo que es necesario aclarar los objetivos reales.

Los principales riesgos de partículas en la parte delantera se concentran en las áreas de fotolitografía, grabado y deposición de películas. El área fotolitográfica es extremadamente sensible a las partículas, ya que las partículas que caen sobre la máscara o la oblea pueden destruir directamente el patrón. Los puntos de riesgo del empaquetado avanzado están más dispersos: alineación de fotolitografía e inspección de la producción de protuberancias, montaje de chips e interfaz de unión. Cada eslabón tiene diferentes superficies expuestas y tamaños de partículas sensibles. El empaquetado a nivel de oblea (WLP) completa el recableado y la producción de golpes directamente en la oblea. El tiempo de exposición es largo y los requisitos de limpieza se aproximan a los del proceso frontal. El primer paso en la selección es enumerar los lugares de exposición, los tamaños de partículas sensibles y las concentraciones permitidas para el proceso específico, en lugar de seleccionar primero un grado. La industria Aili esfiltros HEPA/ULPA, confirme el equipo según el tamaño de partícula y el rango de protección.Al seleccionar Los proyectos de filtros ULPA no estándar pueden confirmar las condiciones de instalación de acuerdo con la estructura del equipo. La relación entre niveles y límites de partículas se puede encontrar enComparación del nivel de limpieza ISO。-2

2. Compare las condiciones del equipo y del sistema: el equipo frontal está sellado y el equipo de embalaje está más abierto.

Verifique el área de suministro de aire, el margen del ventilador, el blindaje del mecanismo, el control estático, los materiales y el espacio de mantenimiento para evitar simplemente copiar el grado del elemento filtrante de otra línea.

Los equipos frontales (como las máquinas de fotolitografía y las máquinas de grabado) suelen estar muy sellados. Las obleas se transfieren y procesan dentro del equipo, y el control ambiental se concentra en el microambiente dentro del equipo. Los equipos de embalaje avanzados tienen un mayor grado de apertura: en procesos como el montaje de chips invertidos, la unión de cables y la inspección, los chips o sustratos pueden transferirse entre diferentes equipos y quedar expuestos al entorno del taller durante un período de tiempo más largo. Esto significa que la limpieza de fondo y la protección local del taller de embalaje deben diseñarse juntas, en lugar de depender únicamente de la ULPA interna del equipo. La industria Aili esAl sostener la unidad de filtro del ventilador en el extremo del equipo EFU, confirme el plan de suministro de aire local de acuerdo con la estructura del equipo y el grado de apertura.La EFU ultradelgada configura la dirección de salida del aire en el espacio compacto del equipo de envasado.La unidad de filtrado de ventilador FFU se puede utilizar en áreas de fondo o encima de estaciones de trabajo. Para comparar las condiciones del equipo y del sistema, consultePreguntas frecuentes sobre HEPA y guía de selección。

3. AMC y desgasificación de materiales: los envases son muy sensibles a la contaminación química

El área de fotolitografía inicial se centra en el impacto de AMC en los componentes ópticos y el fotorresistente, mientras que el embalaje avanzado se centra en el impacto de los contaminantes químicos en la uniformidad del revestimiento, las interfaces de unión y la compatibilidad de los materiales.

En el proceso de revestimiento químico de envases a nivel de oblea, los aditivos orgánicos en la solución de revestimiento de cobre son sensibles a las moléculas alcalinas del medio ambiente y pueden afectar la uniformidad del revestimiento. El front-end y el embalaje tienen requisitos diferentes para el tipo específico de AMC, pero el hecho de que 'ULPA solo resuelve partículas' es el mismo. La filtración de partículas y el control de gases deben evaluarse por separado durante la selección. La industria Aili esLos materiales de los paquetes de filtros PTFE HEPA/ULPA se pueden evaluar según requisitos de baja desgasificación.Los filtros químicos están configurados para contaminantes gaseosos específicos,Los filtros químicos FFU se pueden utilizar con FFU. Para la coordinación de materiales y AMC, consultePreguntas frecuentes sobre filtros de ultra alta eficiencia ULPA y guía de selección。-2

4. Determinado por prototipo y verificación de operación: el mismo nivel no significa el mismo desempeño

Confirme la integridad de la filtración y la instalación, y evalúe el flujo de aire y los indicadores ambientales relacionados en las condiciones de funcionamiento correspondientes. Los materiales clave y los requisitos de AMC deben enumerarse por separado.

Incluso si el canal frontal y el embalaje están al mismo nivel, el efecto de protección real puede ser diferente si la estructura del equipo, la ruta del flujo de aire y el estado operativo son diferentes. La verificación debe cubrir sus respectivas acciones reales: la parte frontal analiza la transmisión interna y el proceso de exposición de la máquina de litografía, y el empaque analiza las acciones de colocación, unión y detección. La industria Aili esla unidad de filtro del ventilador del extremo del equipo EFU .Las condiciones del suministro de aire se pueden confirmar de acuerdo con la secuencia de acción del equipo al hacer coincidir El sistema de control del grupo informático FFU registra el volumen de aire operativo y el estado del equipo y los compara según las condiciones de trabajo reales durante la verificación. Para conocer los métodos de verificación, consultePreguntas frecuentes y soporte técnico de EFU。

5. Preguntas y respuestas relacionadas

¿Se pueden seleccionar uniformemente envases avanzados en un nivel inferior?
No se puede realizar un juicio unificado basándose en las etiquetas de la industria, sino que debe determinarse conjuntamente por los objetivos del proceso, la estructura y los resultados de las pruebas. El área de choque puede requerir la misma limpieza que algunos procesos iniciales.

Utilice U16 para el canal frontal y U15 para el embalaje. ¿Es esto correcto?
No se puede dividir tan simplemente. El grado depende del tamaño de partícula determinado y de la sensibilidad de las partículas del proceso específico, y las necesidades de diferentes procesos dentro de la misma industria también pueden ser diferentes.

¿La vibración y la electricidad estática en el taller de embalaje afectarán la selección de ULPA?
Afectará la solución general, pero no cambiará la función de filtrado de partículas de ULPA. La vibración y la electricidad estática deben evaluarse por separado, y la selección de ULPA aún debe determinarse en función de los objetivos de partículas.

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7. Puntos clave para la inspección de selección y aceptación.

8. Emparejamiento de productos y soporte técnico de Aili Industrial

La línea de productos de Aili Industrial cubre el lado de los equipos.Unidad de filtrado del ventilador del extremo del equipo EFU yEl filtro HEPA/ULPA , el área de fotolitografía frontal y el área de empaque avanzado pueden combinar soluciones de filtrado según sus respectivas condiciones de trabajo.La selección del filtro HEPA/ULPA se basa en el tamaño de partícula evaluado y el rango de protección para confirmar el equipo.Los proyectos de filtros ULPA no estándar confirman las condiciones de instalación de acuerdo con la estructura del equipo;La unidad de filtrado del ventilador del extremo del equipo EFU está equipada con un plan de suministro de aire local que se determina en función de la estructura del equipo y el grado de apertura.La EFU ultradelgada configura la dirección de salida del aire en el espacio compacto del equipo de envasado.La unidad de filtrado de ventilador FFU se puede utilizar en áreas de fondo o encima de estaciones de trabajo.Los filtros PTFE HEPA/ULPA evalúan los materiales según requisitos de baja desgasificación,filtros químicos yLos filtros químicos FFU están configurados para contaminantes gaseosos específicos;La unidad de filtro de ventilador en el extremo del equipo EFU está equipada con una unidad de filtro de ventilador para confirmar las condiciones del suministro de aire de acuerdo con la secuencia de acción del equipo.El sistema de control del grupo informático FFU registra el volumen de aire operativo y el estado del equipo para una fácil verificación. Proporciona objetivos de proceso, planos de instalación, condiciones operativas y requisitos de aceptación, y puede comunicar aún más las especificaciones estándar ULPA, interfaces no estándar, muestras y coincidencia de lotes. Los parámetros específicos y el rango de prueba se basan en el modelo confirmado y los documentos técnicos.