Quelle est la différence entre le packaging avancé et la sélection ULPA frontale de semi-conducteurs ?

Emballage avancé et première ligne des semi-conducteursLa sélection du filtre ULPA doit être basée sur un processus spécifique, l'exposition au produit, la sensibilité aux particules et à l'AMC et les conditions de l'équipement. Les noms d’industries ne peuvent pas correspondre directement à des niveaux de filtrage uniques. Un malentendu courant est que « les exigences initiales sont élevées et les exigences d’emballage sont faibles ». Il suffit donc d’utiliser ULPA pour le front-end et HEPA pour l’encapsulation. Ce jugement est à peu près vrai à l’ère du packaging traditionnel, mais il n’est plus exact dans le packaging avancé (Flip Chip, Fan-Out, packaging au niveau tranche, empilement 3D). La taille des bosses des emballages avancés a été poussée à des dizaines de microns, voire même moins. Une particule d'une taille d'un cinquième du diamètre de la bosse peut provoquer des vides de soudure ou des courts-circuits de pont. La zone de production de bosses nécessite généralement une propreté de niveau ISO 5 ou supérieur. Dans le même temps, en plus d'être « propres », les tests d'emballage doivent également contrôler les vibrations, l'électricité statique, l'échauffement local et les polluants chimiques. Les dimensions sensibles des paramètres environnementaux sont plus larges que le processus précédent. La sélection doit revenir aux objets spécifiques du processus et de la protection, plutôt qu'à un étiquetage unique de « première ligne » ou d'« emballage ». La gamme de produits d'Aili Industrial couvre le côté équipementUnité de filtre de ventilateur d'extrémité d'équipement EFU etLe filtre HEPA/ULPA , la zone de photolithographie frontale et la zone de bosse d'emballage avancée peuvent correspondre aux solutions de filtrage en fonction de leurs conditions de travail respectives.-2

1. Identifiez les exigences du processus : examinez le chemin de photolithographie à l'avant et examinez les bosses et l'interface de collage pour l'emballage.

Différents processus initiaux ainsi que le montage, le collage, le revêtement ou les tests dans l'emballage peuvent avoir différentes sources de pollution et différentes étendues de protection, de sorte que les objectifs réels doivent être clarifiés.

Les principaux risques liés aux particules en amont sont concentrés dans les zones de photolithographie, de gravure et de dépôt de film. La zone photolithographique est extrêmement sensible aux particules, car les particules tombant sur le masque ou la plaquette peuvent directement détruire le motif. Les points de risque des emballages avancés sont plus dispersés : alignement par photolithographie et inspection de la production de bosses, montage des puces et interface de liaison. Chaque maillon présente des surfaces exposées différentes et des tailles de particules sensibles. Le packaging au niveau des tranches (WLP) réalise le recâblage et la production de bosses directement sur la tranche. Le temps de pose est long et les exigences de propreté sont proches de celles du procédé front. La première étape de la sélection consiste à répertorier les emplacements d'exposition, les tailles de particules sensibles et les concentrations admissibles pour le processus spécifique, plutôt que de sélectionner d'abord une qualité. L'industrie Aili estdes filtres HEPA/ULPA, confirmez l'équipement en fonction de la taille des particules et de la plage de protection.Lors de la sélection Les projets de filtres ULPA non standard peuvent confirmer les conditions d'installation en fonction de la structure de l'équipement. La relation entre les niveaux et les limites de particules peut être trouvée dansComparaison du niveau de propreté ISO。-2

2. Comparez les conditions de l'équipement et du système : l'équipement avant est scellé et l'équipement d'emballage est plus ouvert.

Vérifiez la zone d'alimentation en air, la marge du ventilateur, le blindage du mécanisme, le contrôle statique, les matériaux et l'espace de maintenance pour éviter de simplement copier la qualité de l'élément filtrant d'une autre ligne.

Les équipements front-end (tels que les machines de photolithographie et les machines de gravure) sont généralement hautement étanches. Les tranches sont transférées et traitées à l'intérieur de l'équipement, et le contrôle environnemental est concentré dans le microenvironnement à l'intérieur de l'équipement. Les équipements d'emballage avancés ont un degré d'ouverture plus élevé : dans des processus tels que le montage de puces retournées, la liaison par fil et l'inspection, les puces ou les substrats peuvent être transférés entre différents équipements et exposés à l'environnement de l'atelier pendant une période plus longue. Cela signifie que la propreté de fond et la protection locale de l'atelier de conditionnement doivent être conçues ensemble, plutôt que de s'appuyer uniquement sur l'ULPA interne de l'équipement. L'industrie Aili estLors du support de l'unité de filtre de ventilateur du côté de l'équipement EFU, confirmez le plan d'alimentation en air local en fonction de la structure de l'équipement et du degré d'ouverture.L'EFU ultra-mince configure la direction de sortie d'air dans l'espace compact de l'équipement d'emballage.L'unité de filtre ventilateur FFU peut être utilisée en arrière-plan ou au-dessus des postes de travail. Pour comparer les conditions de l'équipement et du système, veuillez vous référer àFAQ HEPA et guide de sélection。

3. AMC et dégazage de matière : les emballages sont très sensibles à la pollution chimique

Le domaine de la photolithographie frontale se concentre sur l'impact de l'AMC sur les composants optiques et la résine photosensible, tandis que l'emballage avancé se concentre sur l'impact des contaminants chimiques sur l'uniformité du placage, les interfaces de liaison et la compatibilité des matériaux.

Dans le processus de placage chimique du conditionnement au niveau des tranches, les additifs organiques contenus dans la solution de placage de cuivre sont sensibles aux molécules alcalines présentes dans l'environnement et peuvent affecter l'uniformité du placage. Le frontal et l'emballage ont des exigences différentes pour le type spécifique d'AMC, mais le fait que « ULPA ne résout que les particules » est le même. La filtration des particules et le contrôle des gaz doivent être évalués séparément lors de la sélection. L'industrie Aili estDans l'ensemble de filtres PTFE HEPA/ULPA , les matériaux peuvent être évalués en fonction des exigences de faible dégazage.Les filtres chimiques sont configurés pour cibler les polluants gazeux,Les filtres chimiques FFU peuvent être utilisés avec FFU. Pour la coordination des matériaux et de l'AMC, veuillez vous référer àFAQ et guide de sélection des filtres ultra-haute efficacité ULPA。-2

4. Déterminé par prototype et vérification du fonctionnement : le même niveau ne signifie pas la même performance

Confirmez l’intégrité de la filtration et de l’installation, et évaluez le débit d’air et les indicateurs environnementaux associés dans les conditions de fonctionnement correspondantes. Les matériaux clés et les exigences AMC doivent être répertoriés séparément.

Même si le canal avant et l'emballage sont du même niveau, l'effet de protection réel peut être différent si la structure de l'équipement, le chemin du flux d'air et l'état de fonctionnement sont différents. La vérification doit couvrir leurs actions réelles respectives : le frontal examine le processus interne de transmission et d'exposition de la machine de lithographie, et l'emballage examine les actions de placement, de liaison et de détection. L'industrie Aili estl'unité de filtre de ventilateur d'extrémité de l'équipement EFU .Les conditions d'alimentation en air peuvent être confirmées en fonction de la séquence d'action de l'équipement lors de la correspondance avec Le système de contrôle du groupe informatique FFU enregistre le volume d'air de fonctionnement et l'état de l'équipement, et les compare aux conditions de travail réelles lors de la vérification. Pour les méthodes de vérification, veuillez vous référer àFAQ EFU et support technique。

5. Questions et réponses connexes

Les emballages avancés peuvent-ils être sélectionnés uniformément à un niveau inférieur ?
Un jugement unifié ne peut pas être porté sur la base des étiquettes industrielles et doit être déterminé conjointement par les objectifs du processus, la structure et les résultats des tests. La zone de déplacement peut nécessiter la même propreté que certains processus frontaux.

Utilisez U16 pour le canal avant et U15 pour l'emballage. Est-ce exact ?
On ne peut pas le diviser aussi simplement. La qualité dépend de la taille des particules déterminée et de la sensibilité des particules du processus spécifique, et les besoins des différents processus au sein d'une même industrie peuvent également être différents.

Les vibrations et l’électricité statique dans l’atelier d’emballage affecteront-elles la sélection ULPA ?
Cela affectera la solution globale, mais ne modifiera pas la fonction de filtrage des particules de l'ULPA. Les vibrations et l'électricité statique doivent être évaluées séparément, et la sélection ULPA doit encore être déterminée en fonction des cibles de particules.

6. Articles connexes

FAQ et guide de sélection des filtres ultra-haute efficacité ULPA

Filtre haute efficacité PTFE HEPA/ULPA

filtre chimique

EFU ultra-mince

7. Points clés pour le contrôle de sélection et d'acceptation

8. Correspondance des produits et support technique d'Aili Industrial

La gamme de produits d'Aili Industrial couvre le côté équipementUnité de filtre de ventilateur d'extrémité d'équipement EFU etLe filtre HEPA/ULPA , la zone de photolithographie frontale et la zone de bosse d'emballage avancée peuvent correspondre aux solutions de filtrage en fonction de leurs conditions de travail respectives.La sélection des filtres HEPA/ULPA est basée sur la taille des particules et la plage de protection déterminées.Les projets de filtres ULPA non standard confirment les conditions d'installation en fonction de la structure de l'équipement ;L'unité de filtrage du ventilateur d'extrémité de l'équipement EFU est équipée d'un plan d'alimentation en air local basé sur la structure de l'équipement et le degré d'ouverture.L'EFU ultra-mince configure la direction de sortie d'air dans l'espace compact de l'équipement d'emballage.L'unité de filtre ventilateur FFU peut être utilisée en arrière-plan ou au-dessus des postes de travail.Les filtres PTFE HEPA/ULPA évaluent les matériaux en fonction des exigences de faible dégazage,filtres chimiques etLes filtres chimiques FFU sont configurés pour cibler les polluants gazeux ;L'unité de filtre de ventilateur à l'extrémité de l'équipement EFU est équipée d'une unité de filtre de ventilateur pour confirmer les conditions d'alimentation en air en fonction de la séquence d'action de l'équipement.Le système de contrôle du groupe informatique FFU enregistre le volume d'air de fonctionnement et l'état de l'équipement pour une vérification facile. Fournissez les objectifs du processus, les dessins d'installation, les conditions de fonctionnement et les exigences d'acceptation, et pouvez communiquer davantage les spécifications standard ULPA, les interfaces non standard, les échantillons et la correspondance des lots. Les paramètres spécifiques et la plage de test sont basés sur le modèle confirmé et les documents techniques.