FFU và EFU phân chia lao động trong phòng sạch Cấp 100 như thế nào?

Trong phòng sạch lớp 100Bộ lọc quạt FFU vàSự phân công lao động của bộ phận lọc quạt ở đầu thiết bị EFU được phân chia theo phạm vi cung cấp không khí: FFU có nhiệm vụ cung cấp không khí cho toàn phòng từ trần nhà để duy trì độ sạch nền; EFU chịu trách nhiệm cung cấp không khí độc lập bên trong thiết bị hoặc không gian cục bộ để bảo vệ các quy trình quan trọng. Vị trí lắp đặt, logic luồng khí và phương pháp khớp của cả hai là khác nhau và không thể thay thế nhau. Khi sự phân công lao động không rõ ràng, các vấn đề như không đủ tầm bao phủ toàn bộ phòng hoặc không đủ khả năng bảo vệ bên trong của thiết bị có thể dễ dàng xảy ra. Dòng sản phẩm của Aili Industrial bao gồm cả FFU cho kịch bản trần và EFU cho kịch bản phía thiết bị. Trong cùng một dự án 100 cấp, bạn có thể so sánh và lựa chọn giữa hai phương pháp lắp đặt, thay vì tìm kiếm báo giá riêng biệt từ nhà cung cấp và ghép chúng lại với nhau.

1. Phân chia theo phạm vi dịch vụ: FFU là phía nhà máy, EFU là phía thiết bị

FFU thường được lắp đặt trên trần phòng sạch để phục vụ môi trường vĩ mô của toàn bộ nhà máy và là thiết bị phía nhà máy. Nó tạo thành luồng một chiều ổn định bằng cách bao phủ một khu vực rộng lớn, đưa không khí sạch vào khu vực sạch và duy trì nồng độ hạt trong toàn bộ căn phòng.-1

EFU được lắp đặt trực tiếp bên trong thiết bị xử lý hoặc gần thiết bị và được thiết kế để cung cấp nguồn không khí đầu cuối chính xác cho máy quang khắc, máy khắc, máy làm sạch, phủ keo và thiết bị phát triển, v.v. Nó không đảm nhận nhiệm vụ thanh lọc toàn bộ phòng mà chỉ bảo vệ các phôi và các quy trình chính bên trong thiết bị. Độ sạch nền của phòng sạch Cấp 100 được duy trì bởi FFU, trong khi lớp bảo vệ phức tạp hơn bên trong thiết bị được duy trì bởi EFU. Công nghiệp Aili làKhi chọn bộ lọc HEPA/ULPA , hãy xác nhận mức độ theo đối tượng bảo vệ. EFU phía thiết bị có thể khớp với chế độ cấp khí theo đường dẫn tấm bán dẫn và cấu trúc khoang. Mối quan hệ giữa mức độ và giới hạn hạt có thể được tìm thấy trongSo sánh mức độ sạch ISO。-1-8

2. Phương pháp lắp đặt khác với logic của luồng không khí: bịt kín tự trọng và cố định cứng nhắc

FFU thường được lắp đặt theo chiều ngang và dựa vào trọng lượng riêng, ke trần và bộ lọc để đạt được độ kín. Luồng khí của nó bao phủ không gian rộng lớn từ trần nhà trở xuống và phối hợp với luồng gió hồi phía dưới để tạo thành một tổ chức luồng không khí cho cả phòng. Việc lắp đặt tương đối đơn giản và việc bảo trì có thể được thực hiện từ bên dưới hoặc bên trên trần treo.-1

Phương pháp cài đặt của EFU phức tạp hơn, có hai hình thức: cài đặt ngang và cài đặt dọc. Hộp và bộ lọc thường được kết nối cố định bằng bu lông và đai ốc, toàn bộ máy và máy được cố định chắc chắn bằng các giá đỡ đặc biệt. Hướng dẫn luồng không khí của nó chính xác hơn, đòi hỏi áp suất tĩnh cao hơn để vượt qua lực cản phức tạp bên trong thiết bị và cung cấp không khí sạch đến bề mặt của tấm bán dẫn hoặc phôi. Công nghiệp Aili làbộ lọc quạt cuối thiết bị EFU, hãy xác nhận phương pháp sửa chữa theo cấu trúc thiết bị và hướng lắp đặt.Khi khớp EFU siêu mỏng cung cấp giải pháp lắp đặt nhỏ gọn khi không gian phía trên thiết bị bị hạn chế. Vui lòng tham khảo các điểm chính của giao diện được cài đặt ở phía thiết bị.Câu hỏi thường gặp về EFU và hỗ trợ kỹ thuật。-1-8

3. Sự khác biệt về điều kiện làm việc: Áp suất ngược mà EFU phải đối mặt không phải là một giá trị cố định

Áp suất ngược mà EFU phải đối mặt không phải là một giá trị cố định. Các cấu trúc như cánh tay robot, bệ đỡ và cửa buồng bên trong thiết bị sẽ tạo ra lực cản bổ sung, lực cản này sẽ thay đổi theo chuyển động của quy trình. Do đó, EFU yêu cầu khả năng áp suất tĩnh mạnh hơn, thiết kế hộp mỏng hơn và kiểm soát độ rung chặt chẽ hơn và yêu cầu kỹ thuật thường cao hơn FFU thông dụng.-3-8

FFU phải đối mặt với một không gian trần tương đối ổn định. Điểm làm việc chủ yếu bị ảnh hưởng bởi sức cản của bộ lọc và áp suất ngược của không khí. Logic khớp khác với EFU phía thiết bị. công nghiệp Ái LýBộ lọc quạt FFU vàBộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU kiểm tra các điểm làm việc theo điều kiện làm việc tương ứng trong các dòng sản phẩm tương ứng.Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại lưu lượng không khí và trạng thái hoạt động của các vùng, giúp dễ dàng so sánh hiệu suất thực tế của hai loại thiết bị với giá trị thiết kế. Để biết các phương pháp khớp điểm làm việc, vui lòng tham khảoCâu hỏi thường gặp về FFU và hỗ trợ kỹ thuật。

4. Sự kết hợp cả hai trong phòng sạch Class 100: bảo vệ nền + tăng cường cục bộ

Sự phân công lao động điển hình là: FFU trần duy trì độ sạch nền và EFU thiết lập bảo vệ cục bộ bên trong thiết bị. Khu vực nền của phòng sạch Class 100 được phủ FFU, đạt nồng độ hạt ISO Class 5; EFU cung cấp nguồn không khí chính xác hơn bên trong thiết bị chính để bảo vệ tấm bán dẫn hoặc phôi không bị nhiễm bẩn bởi các hạt trong quá trình vận chuyển và xử lý.

Dòng sản phẩm của Aili Industrial bao gồm cả hai khía cạnh. cóBộ lọc quạt FFU , được trang bị ở phía thiết bịBộ lọc quạt phía thiết bị EFU , cả hai có thể được sử dụng cùng nhau trong cùng một dự án. FFU chịu trách nhiệm bao phủ toàn bộ căn phòng và EFU phù hợp với kiểu cửa thoát khí theo áp suất ngược của máy và cấu trúc khoang.Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU có thể quản lý tốc độ gió và chênh lệch áp suất theo khu vực, cho phép khu vực nền và thiết bị duy trì trạng thái hoạt động tương ứng. Vui lòng tham khảo sơ đồ bảo vệ cục bộ bên trong thiết bị.Câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA。

5. Những lạm dụng phổ biến cần tránh

Sử dụng EFU để thay thế phạm vi phủ sóng FFU trong toàn phòng không có đủ phạm vi phủ sóng dịch vụ và không thể duy trì độ sạch sẽ của toàn phòng. Khi FFU được sử dụng để thay thế EFU bên trong thiết bị, luồng không khí trên trần khó đi vào khoang thiết bị và các quy trình quan trọng bên trong không thể được bảo vệ một cách hiệu quả. Hai điểm làm việc được cấu hình theo cùng một bộ tham số. Việc bỏ qua sự khác biệt về áp suất ngược của máy mà EFU phải đối mặt sẽ dẫn đến lượng không khí không đủ hoặc dao động ở đầu thiết bị.

Khi xác nhận sự phân công lao động, trước tiên hãy làm rõ mục tiêu sạch sẽ của toàn bộ căn phòng và vị trí của các quy trình chính, sau đó kiểm tra độ bao phủ trần của FFU và giao diện cuối thiết bị của EFU tương ứng, và cuối cùng xác nhận ranh giới luồng không khí giữa khu vực cục bộ và khu vực nền. Công nghiệp Aili làBộ lọc ULPA không chuẩn vàEFU siêu mỏng , ranh giới cung cấp không khí được xác nhận theo đường dẫn của tấm bán dẫn và hoạt động của cơ chế.Trong dự án cuối thiết bị Giải pháp trần bộ lọc quạt FFU xác nhận phạm vi phủ sóng dựa trên cách bố trí phòng và điều kiện không khí hồi lưu. Để xác minh việc phân công ranh giới lao động, vui lòng tham khảoCác câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn về HEPA。

6. Câu hỏi và đáp án liên quan

Phòng sạch cấp 100 có thể chỉ sử dụng EFU không?
không thể. Không gian bên trong hoặc cục bộ của thiết bị dịch vụ EFU không thể duy trì sự sạch sẽ của toàn bộ căn phòng. Bảo hiểm toàn phòng vẫn cần FFU hoặc hệ thống cung cấp không khí tập trung.

FFU và EFU có thể sử dụng cùng một bộ lọc không?
Có, nhưng kích thước, phương pháp niêm phong và giao diện cài đặt phải tương ứng. Cấu trúc hộp của FFU và EFU khác nhau và các bộ lọc không thể thay thế trực tiếp cho nhau.

Thiết bị được đặt trong phòng sạch cấp 100. Nó vẫn yêu cầu EFU bên trong phải không?
nhu cầu. Việc tuân thủ các điều kiện trong phòng không có nghĩa là các thiết bị bên trong đáp ứng tiêu chuẩn. Chuyển động cơ học, xử lý phôi và mở cửa có thể trở thành nguồn ô nhiễm cục bộ. Việc cung cấp không khí cục bộ bên trong thiết bị cần được đánh giá riêng.

7. Các bài viết liên quan

Câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA

EFU được trang bị bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA

FFU được trang bị bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA

Các câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn về HEPA

8. Những điểm chính trong việc lựa chọn và nghiệm thu

9. Hỗ trợ kỹ thuật và kết hợp sản phẩm từ Aili Industrial

Aili Industrial có cơ sở sản xuất rộng khoảng 30.000 mét vuông. Hệ thống sản xuất bao gồm động cơ, quạt, hệ thống điều khiển, tấm kim loại, bộ lọc không khí và lắp ráp máy hoàn chỉnh. FFU và EFU có thể được kết hợp trong cùng một hệ thống. Phía trầnBộ lọc quạt FFU có nhiệm vụ phủ sóng toàn phòng, phía thiết bịBộ lọc quạt cuối của thiết bị EFU phù hợp với loại cửa thoát khí theo áp suất ngược của máy và cấu trúc khoang;EFU siêu mỏng cung cấp giải pháp nhỏ gọn khi không gian phía trên thiết bị bị hạn chế.Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU có thể quản lý tốc độ gió và chênh lệch áp suất theo khu vực, cho phép khu vực nền và thiết bị duy trì trạng thái hoạt động tương ứng.bộ lọc HEPA/ULPA, hãy xác nhận chúng một cách riêng biệt tùy theo các điều kiện đánh giá khác nhau của toàn bộ phòng và đầu thiết bị.Khi chọn Bộ lọc ULPA không chuẩn có thể có giao diện tùy chỉnh theo cấu trúc thiết bị. Cung cấp các mục tiêu quy trình, bản vẽ lắp đặt, điều kiện vận hành và yêu cầu nghiệm thu để truyền đạt sâu hơn về sự phân công lao động và đề xuất cấu hình giữa FFU và EFU. Các thông số cụ thể và phạm vi thử nghiệm dựa trên mô hình và tài liệu kỹ thuật đã được xác nhận.