Comment FFU et EFU répartissent-elles leur travail dans une salle blanche de classe 100 ?

En salle blanche classe 100Unité de filtre de ventilateur FFU etLa division du travail de l'unité de filtrage du ventilateur du côté de l'équipement EFU est divisée en fonction de la plage d'alimentation en air : FFU est responsable de l'alimentation en air de toute la pièce depuis le plafond pour maintenir la propreté de fond ; EFU est responsable de l’alimentation en air indépendante à l’intérieur de l’équipement ou des espaces locaux pour protéger les processus clés. Les positions d'installation, la logique du flux d'air et les méthodes de correspondance des deux sont différentes et ne peuvent pas se remplacer. Lorsque la répartition du travail n'est pas claire, des problèmes tels qu'une couverture insuffisante de l'ensemble de la pièce ou une protection interne insuffisante de l'équipement peuvent facilement survenir. La gamme de produits d'Aili Industrial couvre à la fois les FFU pour les scénarios de plafond et les EFU pour les scénarios côté équipement. Dans le même projet de niveau 100, vous pouvez comparer et choisir entre les deux méthodes d'installation, au lieu de rechercher des devis distincts de fournisseurs et de les rassembler.

1. Divisé par étendue de service : FFU est le côté usine, EFU est le côté équipement

FFU est généralement installé au plafond de la salle blanche pour servir le macro-environnement de l’ensemble de l’usine et constitue un équipement côté usine. Il forme un flux unidirectionnel stable en couvrant une grande surface, en envoyant de l'air pur dans la zone propre et en maintenant la concentration de particules dans toute la pièce.-1

L'EFU est installé directement à l'intérieur de l'équipement de traitement ou à proximité de l'équipement, et est conçu pour fournir une alimentation en air terminale précise pour les machines de photolithographie, les machines de gravure, les machines de nettoyage, les équipements de revêtement de colle et de développement, etc. Il n'entreprend pas la tâche de purifier toute la pièce, mais protège uniquement les pièces et les processus clés à l'intérieur de l'équipement. La propreté de fond de la salle blanche de classe 100 est maintenue par la FFU, tandis que la couche de protection plus sophistiquée à l'intérieur de l'équipement est maintenue par l'EFU. L'industrie Aili estLors de la sélection des filtres HEPA/ULPA , confirmez le niveau en fonction de l'objet de protection. L'EFU côté équipement peut correspondre au mode d'alimentation en air en fonction du chemin de la tranche et de la structure de la cavité. La relation entre les niveaux et les limites de particules peut être trouvée dansComparaison du niveau de propreté ISO。-1-8

2. La méthode d'installation est différente de la logique du flux d'air : étanchéité auto-lestée vs fixation rigide

Le FFU est généralement installé horizontalement et compte sur son propre poids, ses quilles de plafond et ses filtres pour assurer l'étanchéité. Son flux d'air couvre le grand espace du plafond vers le bas et coopère avec l'air de reprise inférieur pour former une organisation du flux d'air dans toute la pièce. L'installation est relativement simple et l'entretien peut être effectué par le dessous ou par le dessus du plafond suspendu.-1

La méthode d'installation d'EFU est plus compliquée. Il existe deux formes d'installation horizontale et d'installation verticale. La boîte et le filtre sont généralement reliés de manière fixe avec des boulons et des écrous, et l'ensemble de la machine et la machine sont fixés rigidement par des supports spéciaux. Son guidage du flux d'air est plus précis, nécessitant une pression statique plus élevée pour surmonter la résistance complexe à l'intérieur de l'équipement et fournir de l'air pur à la surface de la tranche ou de la pièce à usiner. L'industrie Aili estl'unité de filtre de ventilateur d'extrémité de l'équipement EFU, confirmez la méthode de fixation en fonction de la structure de l'équipement et du sens d'installation.Lors de la correspondance avec L'EFU ultra-mince offre une solution d'installation compacte lorsque l'espace sur le dessus de l'équipement est limité. Veuillez vous référer aux points clés de l'interface installée côté appareil.FAQ EFU et support technique。-1-8

3. Différences dans les conditions de travail : La contre-pression à laquelle est confrontée l'EFU n'est pas une valeur fixe

La contre-pression à laquelle est confrontée l'EFU n'est pas une valeur fixe. Les bras mécaniques, les platines, les portes des chambres et autres structures à l'intérieur de l'équipement créeront une résistance supplémentaire, qui changera avec les mouvements du processus. Par conséquent, l’EFU nécessite une capacité de pression statique plus forte, une conception de boîtier plus fine et un contrôle plus strict des vibrations. Les exigences techniques sont généralement supérieures à celles des FFU à usage général.-3-8

FFU fait face à un espace de plafond relativement stable. Le point de fonctionnement est principalement affecté par la résistance du filtre et la contre-pression de l'air de retour. La logique de correspondance est différente de celle de l'EFU côté équipement. Ai Li industrielUnité de filtre de ventilateur FFU etL'unité de filtre à ventilateur située à l'extrémité de l'équipement EFU vérifie les points de travail en fonction des conditions de travail correspondantes dans leurs gammes de produits respectives.Le système de contrôle groupé informatique FFU enregistre le volume d'air et l'état de fonctionnement des zones, ce qui facilite la comparaison des performances réelles des deux types d'équipement avec les valeurs de conception. Pour les méthodes de correspondance des points de travail, veuillez vous référer àFAQ FFU et support technique。

4. La combinaison des deux dans une salle blanche Classe 100 : protection de fond + valorisation locale

La division typique du travail est la suivante : le FFU du plafond maintient la propreté de fond et l'EFU établit une protection locale à l'intérieur de l'équipement. La zone de fond de la salle blanche de classe 100 est couverte par FFU, atteignant le niveau de concentration de particules de classe ISO 5 ; L'EFU fournit une alimentation en air plus précise à l'intérieur des équipements clés pour protéger les plaquettes ou les pièces contre la contamination par des particules pendant le transport et le traitement.

La gamme de produits d'Aili Industrial couvre les deux aspects. Il y aGroupe filtre ventilateur FFU , équipé côté équipementUnité de filtre de ventilateur côté équipement EFU , les deux peuvent être utilisés ensemble dans le même projet. FFU est responsable de la couverture complète de la pièce et EFU adapte le modèle de sortie d'air en fonction de la contre-pression de la machine et de la structure de la cavité.Le système de contrôle de groupe informatique FFU peut gérer la vitesse du vent et la différence de pression par zone, permettant à la zone de fond et à l'équipement de maintenir respectivement leur état de fonctionnement. Veuillez vous référer au système de protection local à l'intérieur de l'équipement.FAQ et guide de sélection des filtres ultra-haute efficacité ULPA。

5. Utilisations abusives courantes à éviter

L'utilisation d'EFU pour remplacer la couverture FFU dans toute la pièce n'offre pas une couverture de service suffisante et la propreté de toute la pièce ne peut pas être maintenue. Lorsque le FFU est utilisé pour remplacer l'EFU à l'intérieur de l'équipement, il est difficile pour le flux d'air du plafond de pénétrer dans la cavité de l'équipement et les processus internes clés ne peuvent pas être efficacement protégés. Les deux points de travail sont configurés selon le même ensemble de paramètres. Ignorer la différence de contre-pression de la machine à laquelle l'EFU est confrontée entraînera un volume d'air insuffisant ou fluctuant du côté de l'équipement.

Lors de la confirmation de la division du travail, clarifiez d'abord l'objectif de propreté de la pièce entière et l'emplacement des processus clés, puis vérifiez respectivement la couverture du plafond du FFU et l'interface d'extrémité de l'équipement de l'EFU, et enfin confirmez la limite du flux d'air entre la zone locale et la zone de fond. L'industrie Aili estFiltres ULPA non standards etEFU ultra-mince , la limite d'alimentation en air est confirmée en fonction du trajet de la plaquette et de l'action du mécanisme.Dans le projet final d'équipement La solution de plafond d'unité de filtre de ventilateur FFU confirme la couverture en fonction de la disposition de la pièce et des conditions d'air de retour. Pour vérifier les limites de la division du travail, veuillez vous référer àFAQ HEPA et guide de sélection。

6. Questions et réponses connexes

Une salle blanche de classe 100 peut-elle utiliser uniquement de l’EFU ?
ne peut pas. L'intérieur ou l'espace local des équipements de service EFU ne peut pas maintenir la propreté de l'ensemble de la pièce. La couverture complète de la pièce nécessite toujours un FFU ou un système d'alimentation en air centralisé.

FFU et EFU peuvent-ils utiliser le même filtre ?
Oui, mais la taille, la méthode d'étanchéité et l'interface d'installation doivent respectivement correspondre. Les structures des boîtiers FFU et EFU sont différentes et les filtres ne peuvent pas être directement interchangés.

L'équipement est situé dans une salle blanche de classe 100. Est-ce qu'il faut toujours de l'EFU à l'intérieur ?
besoin. Le respect des conditions ambiantes ne signifie pas que l'équipement interne répond aux normes. Les mouvements mécaniques, la manipulation des pièces et l'ouverture des portes peuvent devenir des sources locales de pollution. L’alimentation en air locale à l’intérieur de l’équipement doit être évaluée séparément.

7. Articles connexes

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EFU équipé d'un filtre ultra haute efficacité ULPA

FFU équipé d'un filtre ultra haute efficacité ULPA

FAQ HEPA et guide de sélection

8. Points clés pour le contrôle de sélection et d'acceptation

9. Correspondance des produits et support technique d'Aili Industrial

Aili Industrial dispose d'une base de production d'environ 30 000 mètres carrés. Le système de fabrication couvre les moteurs, les ventilateurs, les systèmes de contrôle, la tôle, les filtres à air et l'assemblage complet de la machine. FFU et EFU peuvent être associés dans le même système. Côté plafondL'unité de filtration du ventilateur FFU est responsable de la couverture complète de la pièce, côté équipementL'unité de filtre de ventilateur d'extrémité d'équipement EFU correspond au type de sortie d'air en fonction de la contre-pression de la machine et de la structure de la cavité ;L'EFU ultra-mince offre une solution compacte lorsque l'espace sur le dessus de l'appareil est limité.Le système de contrôle de groupe informatique FFU peut gérer la vitesse du vent et la différence de pression par zone, permettant à la zone de fond et à l'équipement de maintenir respectivement leur état de fonctionnement.des filtres HEPA/ULPA, confirmez-les séparément en fonction des différentes conditions de jugement de l'ensemble de la pièce et de l'extrémité de l'équipement.Lors de la sélection Les filtres ULPA non standard peuvent personnaliser l'interface en fonction de la structure de l'équipement. Fournissez les objectifs du processus, les dessins d'installation, les conditions de fonctionnement et les exigences d'acceptation pour communiquer davantage sur la division du travail et les suggestions de configuration entre FFU et EFU. Les paramètres spécifiques et la plage de test sont basés sur le modèle confirmé et les documents techniques.