ULPA kiểm soát việc giải phóng vật liệu trong quá trình lắng đọng màng mỏng và sản xuất màn hình như thế nào?

Lắng đọng và kiểm soát màng mỏng trong sản xuất màn hìnhCốt lõi của việc giải phóng vật liệu lọc ULPA là tháo rời bộ lọc thành ba thành phần: vật liệu lọc, chất bịt kín và chất kết dính nóng chảy để kiểm soát riêng biệt. Bạn không thể chỉ nhìn vào loại vật liệu lọc. Sự giải phóng hữu cơ của vật liệu lọc PTFE thực sự rất thấp, nhưng chất bịt kín và chất kết dính nóng chảy là nguồn gây ô nhiễm ion và hữu cơ chính. Điều kiện nhiệt độ cao hoặc độ ẩm cao sẽ làm tăng thêm sự giải phóng. Phần bên trong của thiết bị lắng đọng màng mỏng và khoang sản xuất bảng hiển thị rất nhạy cảm với ô nhiễm phân tử. Với tư cách là bộ lọc đầu cuối, bản thân ULPA có thể trở thành nguồn gây ô nhiễm thứ cấp cho AMC. Việc kiểm tra khí thải trong quá trình lựa chọn không thể dừng lại ở mức vật liệu lọc. Phạm vi dòng sản phẩm của Aili IndustrialBộ lọc HEPA/ULPA vàBộ lọc quạt phía thiết bị EFU，Bộ lọc PTFE HEPA/ULPA có thể đánh giá vật liệu lọc theo yêu cầu thoát khí thấp và dữ liệu thoát khí của vật liệu bịt kín và chất kết dính nóng chảy có thể được xác nhận bằng dữ liệu sản phẩm.

1. Trước tiên, hãy xem nguồn phát thải: mỗi thành phần trong số ba thành phần xử lý một loại ô nhiễm.

Bộ lọc ULPA trong EFU của thiết bị bán dẫn bao gồm ba phần: vật liệu lọc, chất bịt kín và chất kết dính nóng chảy, cả ba đều là nguồn tiềm năng của AMC.-4-10

Tổng lượng ion giải phóng cao nhất là từ chất bịt kín (22,43 ppbw) và thấp nhất từ ​​vật liệu lọc (9,10 ppbw). Chất xúc tác và chất phụ gia còn sót lại trong quá trình đóng rắn của chất bịt kín là những tác nhân chính gây ô nhiễm ion.

Về mặt giải phóng hữu cơ, sự giải phóng hữu cơ của vật liệu lọc PTFE gần như không thể phát hiện được trong cả điều kiện tiêu chuẩn và điều kiện khắc nghiệt, nhưng sự giải phóng hữu cơ của chất bịt kín và chất kết dính nóng chảy có thể đạt tới 621 ppbw. Chất bịt kín giải phóng chủ yếu các este có nhiệt độ sôi cao C₄-C₈, trong khi chất kết dính nóng chảy giải phóng các mảnh sáp polyolefin C₈-C₁₆.-15

Trong số các kim loại được giải phóng, boron và natri là hai chất gây ô nhiễm nhạy cảm nhất đối với hiệu suất bán dẫn. Chất bịt kín có tổng kim loại giải phóng cao nhất (20,29 ppbw), trong đó natri đóng góp đáng kể. Sự giải phóng boron của vật liệu lọc tăng từ 0,84 ppbw lên 2,41 ppbw trong điều kiện nhiệt độ cao, cho thấy nhiệt độ sẽ tăng tốc độ khuếch tán. Mối quan hệ giữa các cấp độ và yêu cầu lọc có thể được tìm thấy trongSo sánh mức độ sạch ISO。-15

2. Độ ẩm là một yếu tố tăng tốc và việc lắng đọng phim cũng như quá trình sản xuất màn hình phải được kiểm soát riêng biệt.

Trong điều kiện độ ẩm cao (90% RH), lượng giải phóng ion của vật liệu lọc sẽ tăng gấp 4,88 lần, khẳng định khả năng hấp phụ độ ẩm là yếu tố tăng tốc chính cho quá trình giải phóng ion. Nếu có sự biến động về độ ẩm bên trong thiết bị lắng đọng màng mỏng (chẳng hạn như đóng mở buồng, phục hồi sau khi bảo trì), khả năng giải phóng ion của ULPA có thể tăng lên trong thời gian ngắn. Nếu ULPA tiếp xúc với độ ẩm cao gần các quy trình ẩm ướt trong sản xuất thì tác động này cũng cần được đánh giá.-4-10

Công nghiệp Aili làKhi kết hợp các bộ lọc PTFE HEPA/ULPA , sự phù hợp của vật liệu có thể được đánh giá dựa trên điều kiện độ ẩm làm việc.bộ lọc ULPA bịt kín bể chứa chất lỏng được xác nhận theo các điều kiện môi trường.Chất lỏng bịt kín và vật liệu bể chứa của Đối với các dự án bộ lọc ULPA không chuẩn , kế hoạch vật liệu có thể được kiểm tra theo phạm vi nhiệt độ và độ ẩm bên trong của thiết bị. Để biết sự phù hợp của vật liệu và điều kiện làm việc, vui lòng tham khảoCác câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn về HEPA。

3. Phương pháp kiểm tra khi lựa chọn model: Yêu cầu số liệu dựa trên linh kiện, không đưa ra kết luận dựa trên vật liệu lọc

Ở cấp độ vật liệu lọc, PTFE có lợi thế rõ ràng trong việc giải phóng hữu cơ và phù hợp với các kịch bản sản xuất lắng đọng màng mỏng và màn hình nhạy cảm với chất ngưng tụ hữu cơ (AMC-MC). Tuy nhiên, PTFE không giải quyết được các vấn đề về chất bịt kín và chất kết dính nóng chảy, vì vậy bạn không thể cho rằng việc giải phóng tổng thể có thể kiểm soát được chỉ vì bạn chọn vật liệu lọc PTFE.

Đối với chất bịt kín và chất kết dính nóng chảy, nhà cung cấp phải cung cấp dữ liệu giải phóng ion, hữu cơ và kim loại cho chất bịt kín và chất kết dính nóng chảy, thay vì chỉ lọc dữ liệu vật liệu. Chất bịt kín có độ giải phóng thấp làm giảm sự đóng góp hữu cơ và ion. Nếu các quy trình nhiệt độ cao liên quan đến sản xuất màn hình thì phải lấy dữ liệu phát hành trong điều kiện nhiệt độ cao. Dữ liệu nhiệt độ bình thường không thể biểu thị hiệu suất ở nhiệt độ cao.

Công nghiệp Aili làGói bộ lọc HEPA/ULPA có thể cung cấp dữ liệu giải phóng khí của vật liệu lọc và vật liệu bịt kín theo yêu cầu của dự án.Dữ liệu vật liệu lọc của bộ lọc PTFE HEPA/ULPA được cung cấp riêng và dữ liệu thoát khí của chất bịt kín và chất kết dính nóng chảy được xác nhận theo mô hình. Việc lựa chọn vật liệu bịt kín trong gói EFU phía thiết bị có thể được kiểm tra theo các điều kiện môi trường bên trong của thiết bị. Để biết mối tương quan giữa dữ liệu phát thải khí và xác minh lựa chọn, vui lòng tham khảoCâu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA。

4. Những lưu ý đặc biệt trong sản xuất màn hình: Quy trình OLED nhạy cảm hơn với ô nhiễm hữu cơ

Sự lắng đọng màng mỏng trong sản xuất bảng hiển thị tương tự như quy trình mặt trước bán dẫn, nhưng kích thước đế lớn hơn và phương pháp kiểm soát môi trường khoang khác nhau. Trong các quy trình bay hơi và đóng gói nhạy cảm với ô nhiễm hữu cơ trong sản xuất OLED, việc giải phóng chất bịt kín ULPA và chất kết dính nóng chảy cần được đánh giá riêng biệt. Logic lựa chọn nhất quán với EFU về phía thiết bị bán dẫn: kiểm tra dữ liệu phát hành theo thành phần và lấy giá trị dựa trên điều kiện nhiệt độ và độ ẩm thực tế. Bạn không thể đánh giá tổng thể dựa trên việc quảng bá vật liệu lọc có độ giải phóng thấp.

Công nghiệp Aili làbộ lọc quạt cuối thiết bị EFU , sơ đồ cấp không khí có thể được xác nhận tùy theo không gian bên trong và điều kiện xử lý của thiết bị được hiển thị.Trong gói EFU siêu mỏng cấu hình nguồn cung cấp không khí cục bộ trong không gian nhỏ gọn của thiết bị bảng điều khiển.Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại trạng thái hoạt động để xác minh và so sánh. Vui lòng tham khảo sự hợp tác giữa việc cung cấp không khí cuối cùng của thiết bị và kiểm soát vật liệu.Câu hỏi thường gặp về EFU và hỗ trợ kỹ thuật。

5. Hỏi đáp liên quan

Nếu bạn chọn vật liệu lọc PTFE, bạn không cần phải lo lắng về việc chất bịt kín thoát ra ngoài?
không thể. PTFE chỉ giải quyết vấn đề giải phóng hữu cơ ở cấp độ vật liệu lọc. Sự giải phóng ion và hữu cơ của chất bịt kín và chất kết dính nóng chảy vẫn cần được xác nhận riêng và cả ba đều phải được kiểm tra riêng.

Dữ liệu giải phóng khí ở nhiệt độ bình thường có thể biểu thị điều kiện làm việc ở nhiệt độ cao không?
không thể. Nhiệt độ cao sẽ tăng tốc độ khuếch tán. Sự giải phóng boron của vật liệu lọc tăng từ 0,84 ppbw lên 2,41 ppbw ở nhiệt độ cao. Sự giải phóng hữu cơ của chất bịt kín tăng khoảng 40% trong điều kiện khắc nghiệt. Đối với các quá trình nhiệt độ cao, cần thu thập dữ liệu về các điều kiện tương ứng.

Logic của việc chọn ULPA cho sản xuất màn hình có giống như logic của mặt trước bán dẫn không?
Logic cơ bản là như nhau: kiểm tra độ nhả theo linh kiện và lấy giá trị theo nhiệt độ và độ ẩm thực tế. Quy trình OLED trong sản xuất màn hình rất nhạy cảm với ô nhiễm hữu cơ và đặc biệt cần phải xác nhận dữ liệu về chất bịt kín và chất kết dính nóng chảy.

6. Các bài viết liên quan

Câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA

Bộ lọc hiệu suất cao PTFE HEPA/ULPA

EFU siêu mỏng

Các câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn về HEPA

7. Những điểm chính trong việc lựa chọn và nghiệm thu

8. Hỗ trợ kỹ thuật và kết hợp sản phẩm từ Aili Industrial

Phạm vi dòng sản phẩm của Aili IndustrialBộ lọc HEPA/ULPA vàBộ lọc quạt phía thiết bị EFU，Bộ lọc PTFE HEPA/ULPA có thể đánh giá vật liệu lọc theo yêu cầu thoát khí thấp và dữ liệu thoát khí của vật liệu bịt kín và chất kết dính nóng chảy có thể được xác nhận bằng dữ liệu sản phẩm.Vật liệu phù hợp với bộ lọc PTFE HEPA/ULPA được đánh giá theo điều kiện làm việc và điều kiện độ ẩm.bộ lọc ULPA bịt kín bể chứa chất lỏng được xác nhận theo các điều kiện môi trường.Chất lỏng bịt kín và vật liệu bể chứa của Các dự án bộ lọc ULPA không chuẩn kiểm tra kế hoạch vật liệu theo phạm vi nhiệt độ và độ ẩm bên trong của thiết bị.Gói bộ lọc HEPA/ULPA có thể cung cấp dữ liệu thoát khí của vật liệu lọc và vật liệu bịt kín theo yêu cầu của dự án;bộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU .Xác nhận sơ đồ cấp không khí theo không gian bên trong và điều kiện xử lý của thiết bị hiển thị khi khớp EFU siêu mỏng cấu hình nguồn cung cấp không khí cục bộ trong không gian nhỏ gọn của thiết bị bảng điều khiển.Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại trạng thái hoạt động để xác minh và so sánh. Cung cấp các mục tiêu quy trình, cấu trúc thiết bị cũng như các điều kiện nhiệt độ và độ ẩm để truyền đạt thêm dữ liệu về lượng khí thải của vật liệu ULPA và đề xuất cấu hình. Các thông số cụ thể và phạm vi thử nghiệm dựa trên mô hình và tài liệu kỹ thuật đã được xác nhận.