Как ULPA контролирует выбросы материалов при осаждении тонких пленок и производстве дисплеев?

Нанесение тонких пленок и контроль при производстве дисплеевСуть выпуска фильтрующего материала ULPA заключается в том, чтобы разобрать фильтр на три компонента: фильтрующий материал, герметик и термоплавкий клей для отдельного контроля. Вы не можете просто посмотреть на тип фильтрующего материала. Выделение органических веществ из фильтрующего материала из ПТФЭ действительно очень низкое, но герметики и термоплавкие клеи являются основными источниками ионных и органических загрязнений. Условия высокой температуры или высокой влажности еще больше увеличат выделение. Внутренняя часть оборудования для осаждения тонких пленок и производственная полость панели дисплея чувствительны к молекулярному загрязнению. Будучи оконечным фильтром, ULPA сам по себе может стать источником вторичного загрязнения для АМЦ. Проверка дегазации во время выбора не может останавливаться на уровне фильтрующего материала. Ассортимент продукции Aili IndustrialHEPA/ULPA фильтры иБлок фильтра вентилятора со стороны оборудования EFU，Фильтры HEPA/ULPA из ПТФЭ могут оценивать фильтрующие материалы в соответствии с низкими требованиями к выделению газов, а данные по выделению газов из уплотнительных материалов и термоплавких клеев могут быть подтверждены данными о продукте.

1. Сначала посмотрим, откуда берется выброс: каждый из трех компонентов справляется с определенным типом загрязнения.

ULPA-фильтр в полупроводниковом оборудовании EFU состоит из трех частей: фильтрующего материала, герметика и клея-расплава, все три из которых являются потенциальными источниками АМС.-4-10

Самый высокий общий выброс ионов был из-за герметика (22,43 частей на миллиард по весу), а самый низкий — из фильтрующего материала (9,10 частей на миллиард по весу). Катализаторы и добавки, оставшиеся в процессе отверждения герметиков, вносят основной вклад в ионное загрязнение.

Что касается выделения органических веществ, выделение органических веществ из фильтрующего материала из ПТФЭ практически не обнаруживается как в стандартных, так и в тяжелых условиях, но выделение органических веществ из герметиков и клеев-расплавов может достигать 621 частей на массу по массе. Герметики выделяют в основном сложные эфиры C₄-C₈ с высокой температурой кипения, тогда как термоплавкие клеи выделяют фрагменты полиолефинового воска C₈-C₁₆.-15

Среди выбросов металлов бор и натрий являются двумя наиболее чувствительными загрязнителями к выходу полупроводников. Герметик имеет самое высокое общее выделение металлов (20,29 частей на массу), в котором значительную роль играет натрий. Высвобождение бора из фильтрующего материала увеличивается с 0,84 частей на миллиард по массе до 2,41 частей на миллиард в условиях высокой температуры, что указывает на то, что температура ускоряет диффузию. Взаимосвязь между уровнями и требованиями к фильтрации можно найти вСравнение уровня чистоты ISO。-15

2. Влажность является фактором ускорения, поэтому нанесение пленки и производство дисплеев должны контролироваться отдельно.

В условиях высокой влажности (90% относительной влажности) количество высвобождаемых ионов фильтрующим материалом увеличивается в 4,88 раза, подтверждая, что адсорбция влаги является основным фактором ускорения высвобождения ионов. Если внутри оборудования для нанесения тонких пленок происходят колебания влажности (например, открытие и закрытие камеры, восстановление после технического обслуживания), выделение ионов ULPA может на короткое время увеличиться. Если ULPA подвергается воздействию высокой влажности вблизи влажных процессов на производстве, это воздействие также необходимо оценить.-4-10

Айли ИндустрияПри подборе фильтров HEPA/ULPA из ПТФЭ пригодность материала можно оценить на основе условий рабочей влажности.фильтра ULPA уплотнения бака для жидкости соответствуют условиям окружающей среды.Уплотняющая жидкость и материал бака Для нестандартных проектов фильтров ULPA план материалов можно проверить в соответствии с диапазоном внутренней температуры и влажности оборудования. Информацию о соответствии материалов и условий работы см.HEPA: часто задаваемые вопросы и руководство по выбору。

3. Метод проверки при выборе модели: Требуйте данные по компонентам, не делайте выводов на основе материалов фильтра.

На уровне фильтрующего материала ПТФЭ имеет явные преимущества в выделении органических веществ и подходит для осаждения тонких пленок и сценариев производства дисплеев, чувствительных к органическим конденсатам (AMC-MC). Однако ПТФЭ не решает проблемы герметиков и термоплавких клеев, поэтому нельзя предполагать, что общее выделение можно контролировать только потому, что вы выбираете фильтрующий материал из ПТФЭ.

Для герметиков и термоплавких клеев поставщики обязаны предоставлять данные о выделении ионов, органических веществ и металлов для герметиков и термоплавких клеев, а не только данные для фильтрующих материалов. Герметики с низким выделением уменьшают вклад органических и ионных веществ. Если при производстве дисплеев используются высокотемпературные процессы, необходимо получить данные о выбросах в условиях высоких температур. Данные для нормальной температуры не могут отражать характеристики при высокой температуре.

Айли ИндустрияПакет фильтров HEPA/ULPA может предоставить данные о выделении газов из фильтрующих материалов и уплотнительных материалов в соответствии с требованиями проекта.Данные о фильтрующем материале для фильтров HEPA/ULPA из ПТФЭ предоставляются отдельно, а данные по выделению газов из герметиков и клеев-расплавов подтверждаются моделями. Выбор уплотнительных материалов в пакете EFU со стороны оборудования можно проверить в соответствии с внутренними условиями окружающей среды оборудования. Информацию о корреляции между данными о выбросах газа и проверкой выбора см.Часто задаваемые вопросы и руководство по выбору сверхвысокоэффективного фильтра ULPA。

4. Особые соображения при производстве дисплеев: процессы OLED более чувствительны к органическим загрязнениям.

Нанесение тонкой пленки при производстве дисплейных панелей аналогично процессу обработки полупроводников, но размер подложки больше, а метод управления средой в полости отличается. В процессах испарения и инкапсуляции, чувствительных к органическим загрязнениям при производстве OLED, выделение ULPA-герметика и термоплавкого клея необходимо оценивать отдельно. Логика выбора соответствует EFU на стороне полупроводникового оборудования: проверьте данные выпуска по компонентам и примите значение, исходя из реальных условий температуры и влажности. Нельзя судить обо всем по рекламе фильтрующих материалов с низким выбросом.

Айли Индустрияфильтрующего блока концевого вентилятора оборудования EFU план подачи воздуха может быть подтвержден в соответствии с внутренним пространством и технологическими условиями отображаемого оборудования.В комплектации Ультратонкий ЭФУ обеспечивает локальную подачу воздуха в компактном пространстве панельного оборудования.Система управления компьютерной группой ФФУ записывает рабочее состояние для проверки и сравнения. Пожалуйста, обратите внимание на взаимодействие между подачей воздуха на оборудовании и контролем материалов.Часто задаваемые вопросы по EFU и техническая поддержка。

5. Похожие вопросы и ответы

Если вы выберете фильтрующий материал из ПТФЭ, вам не придется беспокоиться о выделении газов из герметика?
не могу. ПТФЭ устраняет выбросы органических веществ только на уровне фильтрующего материала. Выделение ионов и органических веществ из герметиков и клеев-расплавов по-прежнему необходимо подтверждать отдельно, и все три должны проверяться отдельно.

Могут ли данные о выделении газа при нормальной температуре отражать условия работы при высоких температурах?
не могу. Высокая температура ускорит диффузию. Выделение бора из фильтрующего материала увеличивается с 0,84 частей на миллиард по массе до 2,41 частей на миллиард при высокой температуре. Органическое выделение герметика увеличивается примерно на 40% в суровых условиях. Для высокотемпературных процессов необходимо получить данные о соответствующих условиях.

Является ли логика выбора ULPA для производства дисплеев такой же, как и для полупроводникового интерфейса?
Основная логика та же: проверьте выпуск в зависимости от компонента и примите значение в соответствии с фактической температурой и влажностью. Процесс производства OLED-дисплеев чувствителен к органическим загрязнениям, поэтому особенно необходимо подтверждение данных по герметикам и термоплавким клеям.

6. Статьи по теме

Часто задаваемые вопросы и руководство по выбору сверхвысокоэффективного фильтра ULPA

Высокоэффективный фильтр PTFE HEPA/ULPA

Ультратонкий ЭФУ

HEPA: часто задаваемые вопросы и руководство по выбору

7. Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

8. Подбор продуктов и техническая поддержка от Aili Industrial.

Ассортимент продукции Aili IndustrialHEPA/ULPA фильтры иБлок фильтра вентилятора со стороны оборудования EFU，Фильтры HEPA/ULPA из ПТФЭ могут оценивать фильтрующие материалы в соответствии с низкими требованиями к выделению газов, а данные по выделению газов из уплотнительных материалов и термоплавких клеев могут быть подтверждены данными о продукте.Материалы, подходящие для фильтров PTFE HEPA/ULPA, оцениваются в зависимости от условий работы и влажности.фильтра ULPA уплотнения бака для жидкости соответствуют условиям окружающей среды.Уплотняющая жидкость и материал бака Нестандартные проекты фильтров ULPA проверяют план материалов в соответствии с диапазоном внутренней температуры и влажности оборудования.Пакеты фильтров HEPA/ULPA могут предоставлять данные по дегазации фильтрующих материалов и уплотнительных материалов в соответствии с требованиями проекта;блока фильтра вентилятора на стороне оборудования EFU .Подтвердите план подачи воздуха в соответствии с внутренним пространством и технологическими условиями оборудования отображения при подборе Ультратонкий ЭФУ обеспечивает локальную подачу воздуха в компактном пространстве панельного оборудования.Система управления компьютерной группой ФФУ записывает рабочее состояние для проверки и сравнения. Предоставьте цели процесса, структуру оборудования, условия температуры и влажности, а также сообщите данные о выделении газов из материалов ULPA и предложения по конфигурации. Конкретные параметры и диапазон испытаний основаны на подтвержденной модели и технической документации.