Comment choisir EFU lors de l’utilisation d’EFEM ? Volume d'air, filtration et adaptation d'espace dans la zone de transfert de plaquettes

L'intérieur de l'EFEM contient un mécanisme de transfert de plaquettes, un port de chargement et diverses pièces structurelles. Le flux d'air est facilement affecté par les manipulateurs, les cadres et les câbles. L'EFU doit être disposé autour des zones exposées et mobiles de la tranche, et des points de test doivent être utilisés pour vérifier si l'air pur couvre réellement les emplacements clés.

Déterminer les zones protégées et les voies de contamination

En conjonction avec le parcours de la tranche depuis le chargement jusqu'au transport, les sources possibles de particules, les ouvertures et les zones de refusion sont identifiées. La surface de sortie d'air de l'EFU doit tenter de couvrir le chemin critique et éviter d'introduire de l'air provenant de zones non propres.

Calculer le volume d'air en fonction de la zone effective et de la vitesse du vent cible

Estimez d’abord le volume d’air requis, puis ajoutez la résistance structurelle du filtre et de l’équipement. La distribution de la vitesse du vent doit être mesurée aux positions typiques du manipulateur, et pas seulement à l'équipement de jauge aérodynamique.

L'espace libre détermine le plan structurel

Il y a souvent des protections, des goulottes et des composants de commande sur le dessus de l'EFEM. Si l'installation à des hauteurs conventionnelles est impossible, vous pouvez évaluer les EFU ultra-minces ou de petite taille et confirmer la hauteur totale, l'espace d'entrée d'air, les connecteurs et les instructions de maintenance dans les dessins.

La filtration et l'étanchéité sont déterminées selon les normes du projet

L'efficacité de filtration peut être sélectionnée comme H14 ou supérieure, mais elle doit correspondre au volume d'air cible, à la pression résiduelle du ventilateur et à la méthode de détection des fuites. Le cadre du filtre et l'interface d'installation de l'EFU doivent éviter les fuites d'air de dérivation.

La logique de contrôle coopère avec le statut EFEM

L'EFU peut ajuster la vitesse ou démarrer et arrêter en fonction de l'état de mise sous tension, de veille et de maintenance de l'appareil. La stratégie de contrôle doit éviter que l'EFU soit toujours en basse vitesse lorsque l'équipement entre dans l'état de processus et définir un état sûr après un défaut ou une interruption de communication.

Maintenir la conception pour éviter la contamination des zones critiques

Lors du démontage et du montage des filtres et des ventilateurs, il convient d'empêcher les particules de tomber dans la zone de transfert. La direction de maintenance peut être déterminée en fonction de la direction d'ouverture de la porte de l'équipement, de l'espace de maintenance et du processus de remplacement.

FAQ

Que dois-je faire si l’espace libre dans EFEM est insuffisant ?

Des solutions ultra fines ou divisées de petite taille peuvent être évaluées, mais le volume d'air, l'uniformité et la maintenance doivent être vérifiés simultanément.

Le mouvement du manipulateur affectera-t-il la vitesse du vent ?

réunion. Les positions de mouvement et de maintien modifieront la résistance locale et le débit d'air et doivent être incluses dans le test.

EFEM a-t-il besoin d'un contrôle centralisé lors de l'utilisation d'EFU ?

En fonction du nombre d'appareils et des exigences de liaison, une seule machine peut être contrôlée localement, tandis que les appareils multi-unités ou par lots sont plus adaptés à une gestion d'interface unifiée.

Comment Aili Industry configure-t-elle EFU pour EFEM ?

L'EFEM est une zone de transfert importante avant que les plaquettes n'entrent dans l'équipement de traitement. La configuration de l'EFU doit prêter attention à la couverture d'air pur, à la stabilité du flux d'air et à l'uniformité de la vitesse du vent de l'espace de transfert de tranche. La sélection doit être basée sur l'espace libre de l'EFEM, la structure interne, la zone de mouvement du manipulateur, l'efficacité de la filtration et le volume d'air cible.

La surface d'alimentation en air de l'EFU doit couvrir la zone de transmission principale tout en empêchant le flux d'air local d'être bloqué par le cadre, les câbles ou d'autres composants. Si la hauteur supérieure de l'équipement est limitée, le boîtier EFU, le filtre, l'espace d'entrée d'air et la distance d'inspection doivent également être pris en compte de manière globale, plutôt que de simplement comparer la hauteur nominale du produit.

Aili Industry peut configurer des EFU ultra-minces, des EFU de petite taille ou des EFU côté équipement non standard sur la base du schéma de structure EFEM, et faire correspondre les ventilateurs CC, les systèmes de contrôle et les filtres à haut rendement. Au cours de la phase de prototype, la distribution de la vitesse du vent peut être mesurée sur la base de l'équipement réel pour confirmer la couverture de l'alimentation en air et les paramètres de fonctionnement.

Contenu associé

FAQ EFU et support technique Unité de filtre de ventilateur d'équipement EFU EFU ultra-mince de 70 mm

Conclusion : l'EFU utilisé dans EFEM devrait protéger les zones liées au transfert et au chargement des plaquettes. La sélection doit évaluer l'espace libre, le blindage du manipulateur, la vitesse du vent cible, la résistance du filtre, le chemin de retour d'air et l'interface de contrôle dans le même schéma d'équipement.