Wie wählt man EFU bei Verwendung von EFEM? Luftvolumen, Filterung und Raumanpassung im Wafer-Transferbereich
Im Inneren von EFEM befinden sich ein Wafer-Transfermechanismus, eine Ladeöffnung und verschiedene Strukturteile. Der Luftstrom wird leicht durch Manipulatoren, Rahmen und Kabel beeinträchtigt. EFU sollte um die freiliegenden und sich bewegenden Bereiche des Wafers herum angeordnet werden, und Testpunkte sollten verwendet werden, um zu überprüfen, ob die saubere Luft wirklich wichtige Stellen abdeckt.
Bestimmen Sie Schutzgebiete und Kontaminationspfade
In Verbindung mit dem Weg des Wafers von der Beladung bis zum Transport werden mögliche Partikelquellen, Öffnungen und Reflow-Bereiche identifiziert. Die EFU-Luftauslassoberfläche sollte versuchen, den kritischen Pfad abzudecken und das Eindringen von Luft aus nicht sauberen Bereichen zu vermeiden.
Berechnen Sie das Luftvolumen basierend auf der effektiven Fläche und der Zielwindgeschwindigkeit
Schätzen Sie zunächst das erforderliche Luftvolumen und addieren Sie dann den Filter- und Gerätestrukturwiderstand. Die Windgeschwindigkeitsverteilung sollte an typischen Positionen des Manipulators gemessen werden, nicht nur an Luftmessgeräten.
Der Kopfraum bestimmt den Strukturplan
Auf der Oberseite von EFEM befinden sich häufig Schutzvorrichtungen, Kabelkanäle und Steuerungskomponenten. Wenn die herkömmliche Höhe nicht installiert werden kann, kann die ultradünne oder kleine EFU bewertet und die Gesamthöhe, der Lufteinlassraum, die Anschlüsse und die Wartungsrichtung in den Zeichnungen bestätigt werden.
Filtration und Abdichtung werden gemäß den Projektstandards festgelegt
Die Filtereffizienz kann als H14 oder höher gewählt werden, sie muss jedoch mit der Zielluftmenge, dem Lüfterrestdruck und der Leckerkennungsmethode übereinstimmen. Der Filterrahmen und die EFU-Installationsschnittstelle sollten Bypass-Luftleckagen vermeiden.
Die Steuerlogik arbeitet mit dem EFEM-Status zusammen
EFU kann die Geschwindigkeit anpassen oder je nach Einschalt-, Standby- und Wartungsstatus des Geräts starten und stoppen. Die Steuerungsstrategie sollte verhindern, dass sich die EFU noch im niedrigen Gang befindet, wenn die Anlage in den Prozesszustand übergeht, und einen sicheren Zustand nach einem Fehler oder einer Kommunikationsunterbrechung definieren.
Behalten Sie das Design bei, um eine Kontamination kritischer Bereiche zu vermeiden
Bei der Demontage und Montage von Filtern und Ventilatoren sollte verhindert werden, dass Partikel in den Transferbereich fallen. Die Wartungsrichtung kann anhand der Öffnungsrichtung der Gerätetür, des Wartungsraums und des Austauschprozesses bestimmt werden.
FAQ
Was soll ich tun, wenn in EFEM nicht genügend Kopfraum vorhanden ist?
Ultradünne oder geteilte Lösungen mit kleiner Größe können bewertet werden, aber Luftvolumen, Gleichmäßigkeit und Wartung müssen gleichzeitig überprüft werden.
Wird die Bewegung des Manipulators die Windgeschwindigkeit beeinflussen?
treffen. Bewegung und Verweilpositionen verändern den lokalen Widerstand und den Luftstrom und sollten in den Test einbezogen werden.
Benötigt EFEM bei der Verwendung von EFU eine zentrale Steuerung?
Abhängig von der Anzahl der Geräte und den Verbindungsanforderungen kann eine einzelne Maschine lokal gesteuert werden, während Geräte mit mehreren Einheiten oder Batch-Geräten besser für eine einheitliche Schnittstellenverwaltung geeignet sind.
Wie konfiguriert Aili Industry EFU für EFEM?
EFEM ist ein wichtiger Transferbereich, bevor Wafer in die Prozessausrüstung gelangen. Bei der EFU-Konfiguration muss auf die Abdeckung mit sauberer Luft, die Stabilität des Luftstroms und die Gleichmäßigkeit der Windgeschwindigkeit im Wafer-Transferraum geachtet werden. Die Auswahl sollte auf dem EFEM-Kopfraum, der internen Struktur, dem Bewegungsbereich des Manipulators, der Filtrationseffizienz und dem Zielluftvolumen basieren.
Die EFU-Luftzufuhroberfläche muss den Hauptübertragungsbereich abdecken und gleichzeitig verhindern, dass der lokale Luftstrom durch den Rahmen, Kabel oder andere Komponenten blockiert wird. Wenn die obere Höhe des Geräts begrenzt ist, müssen auch die EFU-Box, der Filter, der Lufteinlassraum und der Inspektionsabstand umfassend berücksichtigt werden, anstatt nur die Nennhöhe des Produkts zu vergleichen.
Aili Industry kann ultradünne EFU, kleine EFU oder nicht standardmäßige geräteseitige EFU basierend auf dem EFEM-Strukturdiagramm konfigurieren und Gleichstromventilatoren, Steuerungssysteme und hocheffiziente Filter anpassen. Während der Prototypenphase kann die Windgeschwindigkeitsverteilung anhand der tatsächlichen Ausrüstung gemessen werden, um die Luftversorgungsabdeckung und die Betriebsparameter zu bestätigen.
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Schlussfolgerung: Die in EFEM verwendete EFU sollte Bereiche schützen, die mit dem Wafer-Transfer und -Laden zusammenhängen. Bei der Auswahl müssen der Kopfraum, die Manipulatorabschirmung, die Zielwindgeschwindigkeit, der Filterwiderstand, der Rückluftweg und die Steuerschnittstelle im selben Gerätediagramm bewertet werden.
