كيفية اختيار EFU عند استخدام EFEM؟ حجم الهواء والترشيح ومطابقة المساحة في منطقة نقل الرقاقة

يحتوي الجزء الداخلي من EFEM على آلية نقل الرقاقة ومنفذ التحميل وأجزاء هيكلية مختلفة. يتأثر تدفق الهواء بسهولة بالمتلاعبين والإطارات والكابلات. ينبغي ترتيب EFU حول المناطق المكشوفة والمتحركة من الرقاقة، ويجب استخدام نقاط الاختبار للتحقق مما إذا كان الهواء النظيف يغطي المواقع الرئيسية بالفعل.

تحديد المناطق المحمية ومسارات التلوث

بالتزامن مع مسار الرقاقة من التحميل إلى النقل، يتم تحديد مصادر الجسيمات المحتملة والفتحات ومناطق التدفق. يجب أن يحاول سطح منفذ الهواء EFU تغطية المسار الحرج وتجنب جلب الهواء من المناطق غير النظيفة.

حساب حجم الهواء على أساس المنطقة الفعالة وسرعة الرياح المستهدفة

قم أولاً بتقدير حجم الهواء المطلوب، ثم قم بإضافة المقاومة الهيكلية للمرشح والمعدات. ينبغي قياس توزيع سرعة الرياح في المواضع النموذجية للمناول، وليس فقط معدات قياس الهواء.

مساحة الرأس تحدد الخطة الهيكلية

غالبًا ما يكون هناك حراس وأحواض سلكية ومكونات تحكم في الجزء العلوي من EFEM. إذا لم يكن من الممكن تثبيت الارتفاع التقليدي، فيمكن تقييم وحدة EFU الرفيعة جدًا أو الصغيرة الحجم، ويمكن تأكيد الارتفاع الإجمالي ومساحة مدخل الهواء والموصلات واتجاه الصيانة في الرسومات.

يتم تحديد الترشيح والختم وفقًا لمعايير المشروع

يمكن تحديد كفاءة الترشيح على أنها H14 أو أعلى، ولكن يجب أن تتطابق مع حجم الهواء المستهدف والضغط المتبقي للمروحة وطريقة اكتشاف التسرب. يجب أن يتجنب إطار المرشح وواجهة تثبيت EFU تجاوز تسرب الهواء.

يتعاون منطق التحكم مع حالة EFEM

يمكن لـ EFU ضبط السرعة أو البدء والتوقف وفقًا لحالة تشغيل الجهاز وحالة الاستعداد والصيانة. يجب أن تتجنب استراتيجية التحكم بقاء وحدة EFU في وضعية منخفضة عندما تدخل المعدات في حالة العملية، وتحديد حالة آمنة بعد حدوث خطأ أو انقطاع الاتصال.

الحفاظ على التصميم لتجنب تلوث المناطق الحرجة

عند تفكيك وتجميع المرشحات والمراوح، يجب تقليل سقوط الجزيئات في منطقة النقل. يمكن تحديد اتجاه الصيانة بناءً على اتجاه فتح باب المعدات ومساحة الصيانة وعملية الاستبدال.

التعليمات

ماذا علي أن أفعل إذا لم يكن هناك مساحة كافية للرأس في EFEM؟

يمكن تقييم الحلول الرقيقة جدًا أو الصغيرة الحجم، ولكن يجب التحقق من حجم الهواء والتجانس والصيانة في وقت واحد.

هل ستؤثر حركة المناول على سرعة الرياح؟

مقابلة. ستغير أوضاع الحركة والسكن المقاومة المحلية وتدفق الهواء ويجب تضمينها في الاختبار.

هل يحتاج EFEM إلى تحكم مركزي عند استخدام EFU؟

اعتمادًا على عدد الأجهزة ومتطلبات الارتباط، يمكن التحكم في جهاز واحد محليًا، في حين أن الأجهزة متعددة الوحدات أو الدفعية أكثر ملاءمة لإدارة الواجهة الموحدة.

كيف تقوم Aili Industry بتكوين EFU لـ EFEM؟

تعد EFEM منطقة نقل مهمة قبل دخول الرقاقات إلى معدات العملية. يحتاج تكوين EFU إلى الاهتمام بتغطية الهواء النظيف واستقرار تدفق الهواء وتوحيد سرعة الرياح في مساحة نقل الرقاقة. يجب أن يعتمد الاختيار على مساحة رأس EFEM، والبنية الداخلية، ومنطقة حركة المناول، وكفاءة الترشيح، وحجم الهواء المستهدف.

يحتاج سطح إمداد الهواء EFU إلى تغطية منطقة النقل الرئيسية مع منع تدفق الهواء المحلي من الانسداد بواسطة الإطار أو الكابلات أو المكونات الأخرى. إذا كان الارتفاع العلوي للمعدات محدودًا، فيجب أيضًا مراعاة صندوق EFU والفلتر ومساحة مدخل الهواء ومسافة الفحص بشكل شامل، بدلاً من مجرد مقارنة الارتفاع الاسمي للمنتج.

يمكن لشركة Aili Industry تكوين EFU فائق النحافة أو EFU صغير الحجم أو EFU غير قياسي من جانب المعدات استنادًا إلى مخطط هيكل EFEM، ومطابقة مراوح التيار المستمر وأنظمة التحكم والمرشحات عالية الكفاءة. خلال مرحلة النموذج الأولي، يمكن قياس توزيع سرعة الرياح بناءً على المعدات الفعلية لتأكيد تغطية إمداد الهواء ومعلمات التشغيل.

محتوى ذو صلة

الأسئلة الشائعة حول EFU والدعم الفني وحدة تصفية مروحة معدات EFU 70 ملم EFU فائق النحافة

الخلاصة: يجب أن تحمي وحدة EFU المستخدمة في EFEM المناطق المتعلقة بنقل الرقاقة وتحميلها. يحتاج الاختيار إلى تقييم مساحة الرأس، ودرع المناول، وسرعة الرياح المستهدفة، ومقاومة المرشح، ومسار الهواء الراجع، وواجهة التحكم في نفس مخطط المعدات.