Làm cách nào để chọn EFU khi sử dụng EFEM? Khối lượng không khí, lọc và không gian phù hợp trong khu vực chuyển wafer

Bên trong EFEM chứa cơ chế chuyển wafer, cổng tải và các bộ phận cấu trúc khác nhau. Luồng không khí dễ bị ảnh hưởng bởi các bộ điều khiển, khung và dây cáp. EFU phải được bố trí xung quanh các khu vực tiếp xúc và chuyển động của tấm bán dẫn, đồng thời nên sử dụng các điểm kiểm tra để xác minh xem không khí sạch có thực sự bao phủ các vị trí quan trọng hay không.

Xác định các khu vực được bảo vệ và con đường ô nhiễm

Cùng với đường dẫn của tấm bán dẫn từ tải đến vận chuyển, các nguồn hạt, các khe hở và khu vực phản xạ có thể được xác định. Bề mặt cửa thoát khí EFU phải cố gắng che đường đi quan trọng và tránh đưa không khí vào từ các khu vực không sạch.

Tính toán lượng không khí dựa trên diện tích hiệu quả và tốc độ gió mục tiêu

Đầu tiên ước tính lượng không khí cần thiết, sau đó thêm sức cản của bộ lọc và kết cấu thiết bị. Sự phân bố tốc độ gió phải được đo ở các vị trí điển hình của bộ điều khiển chứ không chỉ ở thiết bị đo không khí.

Không gian phía trên quyết định sơ đồ kết cấu

Trên đỉnh EFEM thường có các tấm bảo vệ, máng dây và các bộ phận điều khiển. Nếu không thể lắp đặt chiều cao thông thường, EFU siêu mỏng hoặc kích thước nhỏ có thể được đánh giá và chiều cao tổng thể, không gian hút gió, đầu nối và hướng bảo trì có thể được xác nhận trong bản vẽ.

Lọc và niêm phong được xác định theo tiêu chuẩn dự án

Hiệu suất lọc có thể được chọn là H14 hoặc cao hơn, nhưng nó phải phù hợp với thể tích không khí mục tiêu, áp suất dư của quạt và phương pháp phát hiện rò rỉ. Khung bộ lọc và giao diện lắp đặt EFU phải tránh rò rỉ không khí.

Logic điều khiển phối hợp với trạng thái EFEM

EFU có thể điều chỉnh tốc độ hoặc khởi động và dừng tùy theo trạng thái bật nguồn, chờ và bảo trì của thiết bị. Chiến lược điều khiển nên tránh EFU vẫn ở tốc độ thấp khi thiết bị chuyển sang trạng thái xử lý và xác định trạng thái an toàn sau khi xảy ra lỗi hoặc gián đoạn liên lạc.

Duy trì thiết kế để tránh ô nhiễm các khu vực quan trọng

Khi tháo rời và lắp ráp các bộ lọc và quạt, cần hạn chế các hạt rơi vào khu vực chuyển giao. Hướng bảo trì có thể được xác định dựa trên hướng mở cửa thiết bị, không gian bảo trì và quy trình thay thế.

Câu hỏi thường gặp

Tôi nên làm gì nếu không có đủ không gian trống trong EFEM?

Có thể đánh giá các giải pháp siêu mỏng hoặc kích thước nhỏ, nhưng phải xác minh đồng thời thể tích không khí, tính đồng nhất và bảo trì.

Chuyển động của bộ điều khiển có ảnh hưởng đến tốc độ gió không?

cuộc họp. Các vị trí di chuyển và dừng lại sẽ thay đổi sức cản cục bộ và luồng không khí và cần được đưa vào thử nghiệm.

EFEM có cần kiểm soát tập trung khi sử dụng EFU không?

Tùy thuộc vào số lượng thiết bị và yêu cầu liên kết, một máy đơn lẻ có thể được điều khiển cục bộ, trong khi các thiết bị nhiều đơn vị hoặc theo lô phù hợp hơn để quản lý giao diện thống nhất.

Aili Industry cấu hình EFU cho EFEM như thế nào?

EFEM là khu vực chuyển giao quan trọng trước khi các tấm bán dẫn đi vào thiết bị xử lý. Cấu hình EFU cần chú ý đến vùng phủ không khí sạch, độ ổn định của luồng không khí và độ đồng đều tốc độ gió của không gian truyền wafer. Việc lựa chọn phải dựa trên không gian đầu EFEM, cấu trúc bên trong, diện tích chuyển động của bộ điều khiển, hiệu quả lọc và thể tích không khí mục tiêu.

Bề mặt cấp khí EFU cần bao phủ khu vực truyền dẫn chính đồng thời ngăn không cho luồng khí cục bộ bị chặn bởi khung, dây cáp hoặc các bộ phận khác. Nếu chiều cao trên cùng của thiết bị bị hạn chế thì hộp EFU, bộ lọc, không gian hút gió và khoảng cách kiểm tra cũng phải được xem xét một cách toàn diện, thay vì chỉ so sánh chiều cao danh nghĩa của sản phẩm.

Aili Industry có thể định cấu hình EFU siêu mỏng, EFU kích thước nhỏ hoặc EFU phía thiết bị không tiêu chuẩn dựa trên sơ đồ cấu trúc EFEM và phù hợp với quạt DC, hệ thống điều khiển và bộ lọc hiệu suất cao. Trong giai đoạn nguyên mẫu, sự phân bố tốc độ gió có thể được đo dựa trên thiết bị thực tế để xác nhận phạm vi cung cấp không khí và các thông số vận hành.

Nội dung liên quan

Câu hỏi thường gặp về EFU và hỗ trợ kỹ thuật Bộ lọc quạt thiết bị EFU EFU siêu mỏng 70mm

Kết luận: EFU được sử dụng trong EFEM sẽ bảo vệ các khu vực liên quan đến việc truyền và tải wafer. Lựa chọn cần đánh giá không gian đầu, che chắn bộ điều khiển, tốc độ gió mục tiêu, lực cản của bộ lọc, đường dẫn khí quay trở lại và giao diện điều khiển trong cùng một sơ đồ thiết bị.