¿Cómo elegir EFU cuando se utiliza EFEM? Volumen de aire, filtración y adaptación de espacio en el área de transferencia de obleas.

El interior de EFEM contiene un mecanismo de transferencia de obleas, un puerto de carga y varias partes estructurales. El flujo de aire se ve fácilmente afectado por manipuladores, marcos y cables. Se deben disponer EFU alrededor de las áreas expuestas y en movimiento de la oblea, y se deben usar puntos de prueba para verificar si el aire limpio realmente cubre las ubicaciones clave.

Determinar áreas protegidas y vías de contaminación.

Junto con el recorrido de la oblea desde la carga hasta el transporte, se identifican posibles fuentes de partículas, aberturas y áreas de reflujo. La superficie de salida de aire de la EFU debe intentar cubrir el camino crítico y evitar la entrada de aire desde áreas no limpias.

Calcule el volumen de aire en función del área efectiva y la velocidad del viento objetivo

Primero estime el volumen de aire requerido y luego agregue la resistencia estructural del filtro y el equipo. La distribución de la velocidad del viento debe medirse en posiciones típicas del manipulador, no sólo en equipos de medición de aire.

El espacio libre determina el plan estructural

A menudo hay guardas, canales de cables y componentes de control en la parte superior de EFEM. Si no se puede instalar la altura convencional, se puede evaluar la EFU ultradelgada o de tamaño pequeño y se pueden confirmar en los dibujos la altura total, el espacio de entrada de aire, los conectores y la dirección de mantenimiento.

La filtración y el sellado se determinan según los estándares del proyecto.

La eficiencia de filtración se puede seleccionar como H14 o superior, pero debe coincidir con el volumen de aire objetivo, la presión residual del ventilador y el método de detección de fugas. El marco del filtro y la interfaz de instalación de la EFU deben evitar fugas de aire de derivación.

La lógica de control coopera con el estado de EFEM

EFU puede ajustar la velocidad o iniciar y detener según el estado de encendido, espera y mantenimiento del dispositivo. La estrategia de control debe evitar que la EFU siga en marcha baja cuando el equipo ingresa al estado de proceso y definir un estado seguro después de una falla o interrupción de la comunicación.

Mantener el diseño para evitar la contaminación de áreas críticas.

Al desmontar y montar filtros y ventiladores, se debe evitar que caigan partículas al área de transferencia. La dirección del mantenimiento se puede determinar en función de la dirección de apertura de la puerta del equipo, el espacio de mantenimiento y el proceso de reemplazo.

Preguntas frecuentes

¿Qué debo hacer si no hay suficiente espacio libre en EFEM?

Se pueden evaluar soluciones ultrafinas o divididas de pequeño tamaño, pero se debe verificar simultáneamente el volumen de aire, la uniformidad y el mantenimiento.

¿El movimiento del manipulador afectará la velocidad del viento?

reunión. Las posiciones de movimiento y permanencia cambiarán la resistencia local y el flujo de aire y deben incluirse en la prueba.

¿EFEM necesita control centralizado cuando se utiliza EFU?

Dependiendo de la cantidad de dispositivos y los requisitos de vinculación, una sola máquina se puede controlar localmente, mientras que los dispositivos de unidades múltiples o por lotes son más adecuados para la administración de interfaz unificada.

¿Cómo configura Aili Industry EFU para EFEM?

EFEM es un área de transferencia importante antes de que las obleas ingresen al equipo de proceso. La configuración de EFU debe prestar atención a la cobertura de aire limpio, la estabilidad del flujo de aire y la uniformidad de la velocidad del viento del espacio de transferencia de la oblea. La selección debe basarse en el espacio superior del EFEM, la estructura interna, el área de movimiento del manipulador, la eficiencia de filtración y el volumen de aire objetivo.

La superficie de suministro de aire de la EFU debe cubrir el área de transmisión principal y al mismo tiempo evitar que el marco, los cables u otros componentes bloqueen el flujo de aire local. Si la altura superior del equipo es limitada, la caja EFU, el filtro, el espacio de entrada de aire y la distancia de inspección también deben considerarse de manera integral, en lugar de simplemente comparar la altura nominal del producto.

Aili Industry puede configurar EFU ultradelgadas, EFU de tamaño pequeño o EFU del lado del equipo no estándar según el diagrama de estructura EFEM y combinar ventiladores de CC, sistemas de control y filtros de alta eficiencia. Durante la etapa de prototipo, la distribución de la velocidad del viento se puede medir con base en el equipo real para confirmar la cobertura del suministro de aire y los parámetros operativos.

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Conclusión: Las EFU utilizadas en EFEM deberían proteger las áreas relacionadas con la transferencia y carga de obleas. La selección debe evaluar el espacio superior, el blindaje del manipulador, la velocidad del viento objetivo, la resistencia del filtro, la ruta del aire de retorno y la interfaz de control en el mismo diagrama del equipo.