EFEM を使用する場合、EFU を選択するにはどうすればよいですか?ウェーハ搬送エリアの空気量、濾過、および空間のマッチング
EFEM の内部には、ウェーハ搬送機構、ロードポート、およびさまざまな構造部品が含まれています。空気の流れはマニピュレーター、フレーム、ケーブルの影響を受けやすくなります。 EFU はウェーハの露出領域と移動領域の周囲に配置する必要があり、テスト ポイントを使用して、清浄な空気が本当に重要な場所をカバーしているかどうかを検証する必要があります。
保護区域と汚染経路を決定する
ウェーハの搬入から輸送までの経路と併せて、考えられる粒子発生源、開口部、リフロー領域が特定されます。 EFU の空気出口表面は、クリティカル パスをカバーし、非清浄領域からの空気の持ち込みを避けるように努める必要があります。
有効面積と目標風速に基づいて風量を計算
必要な風量を見積もり、フィルターや機器の構造抵抗を加味して算出します。風速分布はエアゲージ装置だけでなく、マニピュレータの典型的な位置で測定する必要があります。
ヘッドスペースが構造計画を決定します
多くの場合、EFEM の上部にはガード、ワイヤ ダクト、および制御コンポーネントがあります。従来の高さでの設置が不可能な場合でも、超薄型や小型のEFUを評価し、全高、吸気スペース、コネクタ、メンテナンス方向などを図面で確認できます。
濾過と密閉はプロジェクト基準に従って決定されます
濾過効率はH14以上から選択可能ですが、目標風量、ファン残圧、漏れ検知方式に適合させる必要があります。フィルターフレームと EFU 取り付けインターフェースは、バイパス空気漏れを避ける必要があります。
制御ロジックはEFEMステータスと連携
EFU は、デバイスの電源オン、スタンバイ、メンテナンスの状態に応じて、速度を調整したり、開始および停止したりできます。制御戦略では、機器がプロセス状態に入ったときに EFU が低速ギアにあることを回避し、障害または通信中断後の安全な状態を定義する必要があります。
重要な領域の汚染を避けるための設計を維持する
フィルタやファンを分解、組み立てする際には、搬送領域への粒子の落下を減らす必要があります。装置の扉の開き方向、メンテナンススペース、交換手順などからメンテナンス方向を決定できます。
よくある質問
EFEM のヘッドスペースが不十分な場合はどうすればよいですか?
極薄または分割された小さなサイズのソリューションも評価できますが、風量、均一性、メンテナンスを同時に検証する必要があります。
マニピュレーターの動きは風速に影響しますか?
ミーティング。移動位置と滞留位置は局所的な抵抗と空気の流れを変化させるため、テストに含める必要があります。
EFU を使用する場合、EFEM には集中制御が必要ですか?
デバイスの数と連携要件に応じて、単一のマシンをローカルで制御できますが、統合インターフェイス管理にはマルチユニットまたはバッチ デバイスの方が適しています。
Aili Industry は EFEM 用に EFU をどのように構成しますか?
EFEM は、ウェーハがプロセス装置に入る前の重要な搬送領域です。 EFU 構成では、ウェーハ搬送スペースの清浄な空気の適用範囲、気流の安定性、風速の均一性に注意を払う必要があります。選択は、EFEM のヘッドスペース、内部構造、マニピュレーターの動作領域、濾過効率、目標空気量に基づいて行う必要があります。
EFU の空気供給面は、フレーム、ケーブル、またはその他のコンポーネントによって局所的な空気の流れがブロックされるのを防ぎながら、メインの伝送エリアをカバーする必要があります。機器の天面高さが制限されている場合は、製品の公称高さだけを比較するのではなく、EFUボックス、フィルタ、吸気スペース、検査距離なども総合的に考慮する必要があります。
Aili Industryは、EFEM構造図に基づいて超薄型EFU、小型EFU、または非標準機器側EFUを構成し、DCファン、制御システム、高効率フィルタに適合させることができます。試作段階では、実機に基づいて風速分布を測定し、給気範囲や動作パラメータを確認できます。
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結論: EFEM で使用される EFU は、ウェーハの搬送とローディングに関連する領域を保護する必要があります。選択には、同じ機器図でヘッドスペース、マニピュレーターシールド、目標風速、フィルター抵抗、戻り空気経路、制御インターフェースを評価する必要があります。
