Как выбрать EFU при использовании EFEM? Объем воздуха, фильтрация и соответствие пространства в зоне передачи пластин

Внутри EFEM находится механизм передачи пластин, загрузочный порт и различные конструктивные детали. На поток воздуха легко влияют манипуляторы, рамы и кабели. EFU должен быть расположен вокруг открытых и движущихся участков пластины, а контрольные точки должны использоваться для проверки того, действительно ли чистый воздух охватывает ключевые места.

Определить охраняемые территории и пути загрязнения

В зависимости от пути прохождения пластины от загрузки до транспортировки определяются возможные источники частиц, отверстия и области оплавления. Поверхность выхода воздуха EFU должна стараться закрыть критический путь и избегать поступления воздуха из загрязненных зон.

Рассчитайте объем воздуха на основе эффективной площади и целевой скорости ветра.

Сначала оцените необходимый объем воздуха, а затем добавьте сопротивление конструкции фильтра и оборудования. Распределение скорости ветра следует измерять в типичных положениях манипулятора, а не только при помощи пневмометрического оборудования.

Свободное пространство определяет структурный план

На верхней части EFEM часто располагаются защитные ограждения, кабельные каналы и компоненты управления. Если установка на обычной высоте невозможна, вы можете оценить ультратонкие или малогабаритные ЭФУ и подтвердить общую высоту, пространство для воздухозаборника, разъемы и направления обслуживания на чертежах.

Фильтрация и герметизация определяются в соответствии со стандартами проекта.

Эффективность фильтрации можно выбрать от H14 или выше, но она должна соответствовать целевому объему воздуха, остаточному давлению вентилятора и методу обнаружения утечек. Рамка фильтра и интерфейс установки EFU должны исключать утечку воздуха из байпаса.

Логика управления взаимодействует со статусом EFEM

EFU может регулировать скорость, а также запуск и остановку в зависимости от состояния включения, режима ожидания и обслуживания устройства. Стратегия управления должна избегать нахождения EFU на низкой передаче, когда оборудование переходит в технологическое состояние, и определять безопасное состояние после неисправности или прерывания связи.

Поддерживайте проект, чтобы избежать загрязнения критических зон.

При разборке и сборке фильтров и вентиляторов следует избегать попадания частиц в зону перекачки. Направление технического обслуживания можно определить на основе направления открытия дверцы оборудования, пространства для обслуживания и процесса замены.

Часто задаваемые вопросы

Что делать, если в EFEM недостаточно свободного места?

Можно оценить ультратонкие или разделенные решения небольшого размера, но объем воздуха, однородность и техническое обслуживание должны проверяться одновременно.

Будет ли движение манипулятора влиять на скорость ветра?

встреча. Положения движения и остановки изменят местное сопротивление и поток воздуха и должны быть включены в тест.

Нужен ли EFEM централизованный контроль при использовании EFU?

В зависимости от количества устройств и требований к соединению, одной машиной можно управлять локально, тогда как для управления унифицированным интерфейсом больше подходят устройства с несколькими устройствами или пакетные устройства.

Как Aili Industry настраивает EFU для EFEM?

EFEM — это важная зона передачи перед подачей пластин в технологическое оборудование. В конфигурации EFU необходимо уделять внимание чистоте воздуха, стабильности воздушного потока и равномерности скорости ветра в пространстве передачи пластин. Выбор должен основываться на свободном пространстве EFEM, внутренней конструкции, площади перемещения манипулятора, эффективности фильтрации и целевом объеме воздуха.

Поверхность подачи воздуха EFU должна закрывать основную зону передачи, не допуская блокировки местного воздушного потока рамой, кабелями или другими компонентами. Если верхняя высота оборудования ограничена, необходимо также комплексно учитывать коробку EFU, фильтр, пространство для впуска воздуха и расстояние проверки, а не просто сравнивать номинальную высоту продукта.

Aili Industry может сконфигурировать ультратонкие EFU, малогабаритные EFU или нестандартные EFU на стороне оборудования на основе структурной схемы EFEM, а также подобрать вентиляторы постоянного тока, системы управления и высокоэффективные фильтры. На стадии прототипа распределение скорости ветра может быть измерено на основе реального оборудования для подтверждения зоны подачи воздуха и рабочих параметров.

Связанный контент

Часто задаваемые вопросы по EFU и техническая поддержка Блок вентиляторного фильтра оборудования EFU Ультратонкий ЭФУ толщиной 70 мм

Вывод: EFU, используемый в EFEM, должен защищать зоны, связанные с передачей и загрузкой пластин. При выборе необходимо оценить свободное пространство над головой, защиту манипулятора, целевую скорость ветра, сопротивление фильтра, путь возврата воздуха и интерфейс управления на одной схеме оборудования.