Как настроить полупроводниковое оборудование EFU? Чистая зона, однородность и подтверждение интерфейса

Полупроводниковое оборудование часто чувствительно к местному экологическому контролю. Конфигурацию EFU следует начинать с пластины или критического технологического пути, уточнять, какие участки требуют постоянной подачи чистого воздуха, а затем определять количество, расположение, объем воздуха, эффективность фильтрации и режим управления агрегатов в зависимости от конструкции оборудования.

Определите ключевые чистые зоны

Сначала отметьте зону переноса пластин, камеру открытия и закрытия, работу робота и зоны временного воздействия. В разных районах существуют разные риски загрязнения и потребности в подаче воздуха, поэтому равномерно распределять ЭФУ в зависимости от внешнего вида оборудования нецелесообразно.

Средняя скорость и однородность ветра задаются одновременно.

Общий объем воздуха можно рассчитать, но эффект оборудования также зависит от распределения нескольких точек измерения. Плоскость измерения, сетка, целевое среднее значение и допустимое отклонение должны быть четко определены, а также следует учитывать изменения до и после движения механизма.

Оцените ультратонкие и малоформатные решения в условиях ограниченного пространства

Если верхняя высота ограничена, можно использовать ультратонкий или небольшой EFU, но необходимо пересмотреть пространство для воздухозаборника, площадь фильтра, остаточное давление вентилятора, уровень шума и направление технического обслуживания. Решение общей высотой 70 мм подходит для некоторого оборудования с ограниченным пространством и требует подтверждения согласно изображению.

Выбирайте фильтры, соответствующие целям процесса

Уровни эффективности, такие как H13, H14, U15 и U16, можно выбрать в соответствии с проектом, при этом можно одновременно проверить сопротивление, номинальный объем воздуха, требования к уплотнению и обнаружению утечек. Более высокий КПД не следует определять независимо от сопротивления вентилятора и системы.

Включите EFU в логику управления устройством.

Подтвердите действия EFU во время запуска оборудования, режима ожидания, технологического процесса, технического обслуживания и состояния сигнализации. Когда требуется связь, следует определить мощность, связь, адрес, обратную связь о состоянии и стратегии отказа.

Полная проверка прототипа или первого устройства

Проверьте объем воздуха, скорость ветра в ключевой точке, однородность, частицы, шум, мощность и состояние непрерывной работы в условиях, близких к реальной конструкции, и закрепите результаты подтверждения в пакетной конфигурации.

Часто задаваемые вопросы

Требуется ли ULPA для полупроводникового оборудования EFU?

Не обязательно уровень эффективности следует выбирать на основе спецификаций процесса и заказчика.

Чем больше EFU, тем лучше эффект очистки?

Не обязательно, количество должно совпадать с площадью покрытия, возвратным воздухом и конструкцией оборудования. Слишком большое количество может увеличить помехи воздушному потоку.

Зачем проводить тестирование на реальной структуре устройства?

Механический механизм и экран изменят поток воздуха, а данные выхода воздуха без нагрузки не могут полностью отражать местоположение процесса.

Как Aili Industry сотрудничает с проектом EFU по производству полупроводникового оборудования

При настройке EFU для полупроводникового оборудования сначала следует уточнить чистую зону, которую необходимо защитить, направление подачи воздуха, целевую скорость ветра, равномерность скорости ветра и эффективность фильтрации. Технологическая зона, механическая конструкция и распределение источников тепла внутри различного оборудования различны, поэтому количество, размер и место установки ЭФУ необходимо определять на основе реальных чертежей оборудования.

Помимо подачи чистого воздуха, также следует подтвердить доступное пространство оборудования, условия воздухозаборника, метод замены фильтра, источник питания, интерфейс связи и логику управления. Для оборудования с ограниченной высотой можно оценить ультратонкие EFU толщиной 70 мм или малогабаритные решения DC EFU.

Aili Industrial может предоставить соответствующие машины EFU, вентиляторы, двигатели, системы управления, конструкции из листового металла и воздушные фильтры, а также выполнить нестандартные проекты на основе чертежей оборудования. Проект может сначала проверить объем воздуха, статическое давление и однородность скорости ветра посредством испытаний прототипа, а затем укрепить структуру и параметры управления, необходимые для массового производства.

Связанный контент

Часто задаваемые вопросы по EFU и техническая поддержка Блок вентиляторного фильтра оборудования EFU Ультратонкий ЭФУ толщиной 70 мм

Вывод: EFU полупроводникового оборудования должен быть сконфигурирован вокруг ключевых областей процесса. Ключевые моменты выбора включают внутреннее пространство оборудования, зону подачи воздуха, равномерность скорости ветра, эффективность фильтрации, структурное экранирование, направление технического обслуживания и связь управления.