Comment configurer l'équipement frontal semi-conducteur EFU ? Zone propre, uniformité et confirmation de l'interface

Les équipements frontaux de semi-conducteurs sont souvent sensibles aux contrôles environnementaux locaux. La configuration de l'EFU doit commencer à partir de la tranche ou du chemin de processus critique, clarifier les zones nécessitant une alimentation continue en air propre, puis déterminer le nombre, l'emplacement, le volume d'air, l'efficacité de filtration et le mode de contrôle des unités en fonction de la structure de l'équipement.

Délimiter les zones clés à nettoyer

Marquez d’abord les zones de transfert de tranche, d’ouverture et de fermeture, de fonctionnement du robot et d’exposition temporaire. Différentes zones présentent des risques de pollution et des besoins en approvisionnement en air différents, il n'est donc pas approprié d'attribuer les EFU de manière égale en fonction de l'apparence de l'équipement.

La vitesse moyenne et l'uniformité du vent sont spécifiées simultanément

Le volume d'air total peut être calculé, mais l'effet de l'équipement dépend également de la répartition de plusieurs points de mesure. Le plan de mesure, la grille, la valeur moyenne cible et l'écart admissible doivent être clairement définis, et les changements avant et après le mouvement du mécanisme doivent être pris en compte.

Évaluez les solutions ultra fines et de petit format lorsque l’espace est limité

Si la hauteur supérieure est limitée, un EFU ultra-mince ou de petite taille peut être utilisé, mais l'espace d'entrée d'air, la zone de filtre, la pression résiduelle du ventilateur, le bruit et la direction de maintenance doivent être revus. La solution de 70 mm de hauteur hors tout convient à certains équipements restreints en espace et doit encore être confirmée selon la photo.

Sélectionnez les filtres qui correspondent aux objectifs du processus

Les niveaux d'efficacité tels que H13, H14, U15 et U16 peuvent être sélectionnés en fonction du projet, et les exigences en matière de résistance, de volume d'air nominal, d'étanchéité et de détection des fuites peuvent être vérifiées en même temps. Un rendement plus élevé ne doit pas être déterminé indépendamment de la résistance du ventilateur et du système.

Incorporer l'EFU dans la logique de contrôle des appareils

Confirmez les actions de l'EFU pendant le démarrage de l'équipement, la veille, le fonctionnement du processus, la maintenance et l'état d'alarme. Lorsqu'une liaison est requise, des stratégies d'alimentation, de communication, d'adresse, de retour d'état et de défaillance doivent être définies.

Vérification complète via un prototype ou une première unité

Testez le volume d'air, la vitesse du vent au point clé, l'uniformité, les particules, le bruit, la puissance et l'état de fonctionnement continu dans des conditions proches de la structure réelle, et solidifiez les résultats de confirmation dans une configuration par lots.

FAQ

L'ULPA est-elle requise pour les équipements semi-conducteurs EFU ?

Pas nécessairement, le niveau d’efficacité doit être sélectionné en fonction du processus et des spécifications du client.

Plus il y a d’EFU, meilleur est l’effet nettoyant ?

Pas nécessairement, le nombre doit correspondre à la couverture, à la reprise d’air et à la structure de l’équipement. Une trop grande quantité peut augmenter les interférences avec le flux d’air.

Pourquoi tester sous la structure réelle de l'appareil ?

Le mécanisme mécanique et le bouclier modifieront le débit d'air, et les données de sortie d'air à vide ne peuvent pas représenter entièrement l'emplacement du processus.

Comment Aili Industry coopère avec le projet EFU d'équipement frontal à semi-conducteurs

Lors de la configuration de l'EFU pour les équipements frontaux à semi-conducteurs, vous devez d'abord clarifier la zone propre qui doit être protégée, la direction de l'alimentation en air, la vitesse du vent cible, l'uniformité de la vitesse du vent et l'efficacité de la filtration. La zone de traitement, la structure mécanique et la distribution de la source de chaleur à l'intérieur des différents équipements sont différentes, de sorte que le nombre, la taille et l'emplacement d'installation de l'EFU doivent être déterminés sur la base des dessins réels de l'équipement.

En plus de l'alimentation en air pur, l'espace disponible de l'équipement, les conditions d'entrée d'air, la méthode de remplacement du filtre, l'alimentation électrique, l'interface de communication et la logique de contrôle doivent également être confirmés. Pour les équipements de hauteur limitée, des solutions EFU ultra-minces de 70 mm ou DC EFU de petite taille peuvent être évaluées.

Aili Industrial peut fournir des machines EFU, des ventilateurs, des moteurs, des systèmes de contrôle, des structures en tôle et des filtres à air correspondants, et réaliser des conceptions non standard basées sur des dessins d'équipement. Le projet peut d'abord vérifier l'uniformité du volume d'air, de la pression statique et de la vitesse du vent grâce à des tests de prototypes, puis solidifier la structure et les paramètres de contrôle requis pour la production de masse.

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Conclusion : L'équipement frontal de semi-conducteurs EFU doit être configuré autour de domaines de processus clés. Les points clés de sélection comprennent l'espace interne de l'équipement, la couverture de l'alimentation en air, l'uniformité de la vitesse du vent, l'efficacité de la filtration, le blindage structurel, la direction de la maintenance et la liaison de contrôle.