كيفية تكوين EFU للمعدات الأمامية لأشباه الموصلات؟ منطقة نظيفة والتوحيد وتأكيد الواجهة
غالبًا ما تكون المعدات الأمامية لأشباه الموصلات حساسة للضوابط البيئية المحلية. يجب أن يبدأ تكوين EFU من الرقاقة أو مسار العملية الحرجة، وتوضيح المناطق التي تتطلب إمدادًا مستمرًا بالهواء النظيف، ثم تحديد العدد والموقع وحجم الهواء وكفاءة الترشيح ووضع التحكم للوحدات بناءً على هيكل المعدات.
تحديد المناطق النظيفة الرئيسية
قم أولاً بوضع علامة على نقل الرقاقة وغرفة الفتح والإغلاق وتشغيل الروبوت ومناطق التعرض المؤقتة. تختلف مخاطر التلوث واحتياجات إمدادات الهواء في المناطق المختلفة، لذلك ليس من المناسب تخصيص وحدة EFU بالتساوي بناءً على مظهر المعدات.
يتم تحديد متوسط سرعة الرياح والتوحيد في وقت واحد
يمكن حساب إجمالي حجم الهواء، لكن تأثير المعدات يعتمد أيضًا على توزيع نقاط قياس متعددة. ينبغي تحديد مستوى القياس والشبكة والقيمة المتوسطة المستهدفة والانحراف المسموح به بوضوح، وينبغي مراعاة التغييرات قبل وبعد حركة الآلية.
قم بتقييم الحلول فائقة النحافة والصغيرة الحجم عندما تكون المساحة محدودة
إذا كان الارتفاع العلوي محدودًا، فيمكن استخدام وحدة EFU رفيعة جدًا أو صغيرة الحجم، ولكن يجب مراجعة مساحة مدخل الهواء ومنطقة المرشح والضغط المتبقي للمروحة والضوضاء واتجاه الصيانة. يعد حل الارتفاع الإجمالي 70 مم مناسبًا لبعض المعدات ذات المساحة المحدودة ولا يزال بحاجة إلى تأكيد وفقًا للصورة.
حدد عوامل التصفية التي تطابق أهداف العملية
يمكن اختيار مستويات الكفاءة مثل H13 وH14 وU15 وU16 وفقًا للمشروع، ويمكن التحقق من المقاومة وحجم الهواء المقدر ومتطلبات الختم والكشف عن التسرب في نفس الوقت. لا ينبغي تحديد الكفاءة الأعلى بشكل مستقل عن مقاومة المروحة والنظام.
دمج EFU في منطق التحكم في الجهاز
قم بتأكيد إجراءات EFU أثناء بدء تشغيل المعدات، والاستعداد، وتشغيل العملية، والصيانة، وحالة الإنذار. عندما يكون الارتباط مطلوبًا، يجب تحديد استراتيجيات القوة والاتصال والعنوان وردود الفعل على الحالة والفشل.
التحقق الكامل من خلال النموذج الأولي أو الوحدة الأولى
اختبار حجم الهواء، وسرعة الرياح في النقطة الرئيسية، والتوحيد، والجزيئات، والضوضاء، والطاقة، وحالة التشغيل المستمر في ظل ظروف قريبة من الهيكل الحقيقي، وترسيخ نتائج التأكيد في تكوين الدفعة.
التعليمات
هل ULPA مطلوب لمعدات أشباه الموصلات EFU؟
ليس بالضرورة، يجب اختيار مستوى الكفاءة بناءً على مواصفات العملية والعميل.
كلما زاد EFU، كان تأثير التنظيف أفضل؟
ليس بالضرورة، يجب أن يتطابق الرقم مع التغطية والهواء الراجع وهيكل المعدات. الكثير قد يزيد من تداخل تدفق الهواء.
لماذا الاختبار تحت هيكل الجهاز الفعلي؟
ستغير الآلية الميكانيكية والدرع تدفق الهواء، ولا يمكن لبيانات مخرج الهواء بدون تحميل أن تمثل موقع العملية بشكل كامل.
كيف تتعاون Aili Industry مع مشروع EFU للمعدات الأمامية لأشباه الموصلات
عند تكوين EFU لمعدات الواجهة الأمامية لأشباه الموصلات، يجب عليك أولاً توضيح المنطقة النظيفة التي تحتاج إلى الحماية، واتجاه إمداد الهواء، وسرعة الرياح المستهدفة، وتوحيد سرعة الرياح، وكفاءة الترشيح. تختلف منطقة العملية والهيكل الميكانيكي وتوزيع مصدر الحرارة داخل المعدات المختلفة، لذلك يجب تحديد عدد وحجم وموقع تركيب EFU بناءً على رسومات المعدات الفعلية.
بالإضافة إلى إمداد الهواء النظيف، يجب أيضًا تأكيد المساحة المتاحة للمعدات وظروف مدخل الهواء وطريقة استبدال المرشح وإمدادات الطاقة وواجهة الاتصال ومنطق التحكم. بالنسبة للمعدات ذات قيود الارتفاع المحلية، يمكن تقييم حلول EFU فائقة الرقة مقاس 70 مم أو حلول DC EFU صغيرة الحجم.
يمكن لشركة Aili Industrial توفير آلات EFU والمراوح والمحركات وأنظمة التحكم وهياكل الصفائح المعدنية ومرشحات الهواء المطابقة، وإجراء تصميمات غير قياسية بناءً على رسومات المعدات. يمكن للمشروع أولاً التحقق من حجم الهواء والضغط الساكن وتوحيد سرعة الرياح من خلال اختبار النموذج الأولي، ومن ثم ترسيخ الهيكل ومعلمات التحكم المطلوبة للإنتاج الضخم.
محتوى ذو صلة
الأسئلة الشائعة حول EFU والدعم الفني وحدة تصفية مروحة معدات EFU 70 ملم EFU فائق النحافة
الخلاصة: يجب تكوين EFU لمعدات الواجهة الأمامية لأشباه الموصلات حول مناطق العمليات الرئيسية. تشمل النقاط الرئيسية للاختيار المساحة الداخلية للمعدات، وتغطية إمداد الهواء، وتوحيد سرعة الرياح، وكفاءة الترشيح، والتدريع الهيكلي، وتوجيه الصيانة، وربط التحكم.
