Làm cách nào để định cấu hình EFU thiết bị đầu cuối bán dẫn? Khu vực sạch sẽ, tính đồng nhất và xác nhận giao diện

Thiết bị đầu cuối bán dẫn thường nhạy cảm với các biện pháp kiểm soát môi trường cục bộ. Cấu hình EFU phải bắt đầu từ wafer hoặc đường dẫn quy trình quan trọng, làm rõ khu vực nào cần cung cấp không khí sạch liên tục, sau đó xác định số lượng, vị trí, thể tích không khí, hiệu quả lọc và chế độ điều khiển của các thiết bị dựa trên cấu trúc thiết bị.

Phân định các khu vực sạch sẽ quan trọng

Đầu tiên đánh dấu vùng chuyển wafer, buồng mở và đóng, hoạt động của robot và các khu vực tiếp xúc tạm thời. Các khu vực khác nhau có nguy cơ ô nhiễm và nhu cầu cung cấp không khí khác nhau, do đó, việc phân bổ EFU đồng đều dựa trên hình thức bên ngoài của thiết bị là không phù hợp.

Tốc độ gió trung bình và độ đồng đều được xác định đồng thời

Tổng thể tích không khí có thể được tính toán, nhưng hiệu quả của thiết bị cũng phụ thuộc vào sự phân bố của nhiều điểm đo. Mặt phẳng đo, lưới, giá trị trung bình mục tiêu và độ lệch cho phép phải được xác định rõ ràng và cần xem xét những thay đổi trước và sau khi chuyển động của cơ chế.

Đánh giá các giải pháp định dạng siêu mỏng và nhỏ khi không gian bị hạn chế

Nếu chiều cao trên cùng bị hạn chế, có thể sử dụng EFU siêu mỏng hoặc cỡ nhỏ, nhưng cần phải xem xét lại không gian hút gió, diện tích bộ lọc, áp suất dư của quạt, tiếng ồn và hướng bảo trì. Giải pháp chiều cao tổng thể 70mm phù hợp với một số thiết bị có không gian hạn chế và vẫn cần được xác nhận theo hình ảnh.

Chọn bộ lọc phù hợp với mục tiêu của quy trình

Các mức hiệu suất như H13, H14, U15 và U16 có thể được lựa chọn tùy theo dự án và có thể kiểm tra đồng thời các yêu cầu về điện trở, thể tích không khí định mức, độ kín và phát hiện rò rỉ. Hiệu suất cao hơn không nên được xác định độc lập với điện trở của quạt và hệ thống.

Kết hợp EFU vào logic điều khiển thiết bị

Xác nhận các hành động của EFU trong quá trình khởi động thiết bị, chế độ chờ, vận hành quy trình, bảo trì và trạng thái cảnh báo. Khi cần có sự liên kết, cần xác định các chiến lược về sức mạnh, thông tin liên lạc, địa chỉ, phản hồi trạng thái và lỗi.

Hoàn thành xác minh thông qua nguyên mẫu hoặc đơn vị đầu tiên

Kiểm tra lượng không khí, tốc độ gió điểm chính, độ đồng đều, hạt, tiếng ồn, công suất và trạng thái hoạt động liên tục trong các điều kiện gần với cấu trúc thực và củng cố kết quả xác nhận thành cấu hình hàng loạt.

Câu hỏi thường gặp

ULPA có cần thiết cho EFU thiết bị bán dẫn không?

Không nhất thiết, mức độ hiệu quả nên được lựa chọn dựa trên thông số kỹ thuật của quy trình và khách hàng.

Càng nhiều EFU thì hiệu quả làm sạch càng tốt?

Không nhất thiết, số lượng phải phù hợp với vùng phủ sóng, đường hồi gió và kết cấu thiết bị. Quá nhiều có thể làm tăng sự cản trở luồng không khí.

Tại sao phải kiểm tra theo cấu trúc thiết bị thực tế?

Cơ chế cơ học và tấm chắn sẽ thay đổi luồng không khí và dữ liệu cửa thoát khí không tải không thể thể hiện đầy đủ vị trí của quy trình.

Cách Aili Industry hợp tác với dự án EFU thiết bị đầu cuối bán dẫn

Khi định cấu hình EFU cho thiết bị đầu cuối bán dẫn, trước tiên bạn nên làm rõ khu vực sạch cần được bảo vệ, hướng cấp không khí, tốc độ gió mục tiêu, độ đồng đều của tốc độ gió và hiệu quả lọc. Diện tích quy trình, kết cấu cơ khí và phân bổ nguồn nhiệt bên trong các thiết bị khác nhau là khác nhau nên số lượng, kích thước và vị trí lắp đặt của EFU cần được xác định dựa trên bản vẽ thực tế của thiết bị.

Ngoài việc cung cấp không khí sạch, không gian sẵn có của thiết bị, điều kiện khí vào, phương pháp thay thế bộ lọc, nguồn điện, giao diện truyền thông và logic điều khiển cũng cần được xác nhận. Đối với thiết bị có giới hạn chiều cao cục bộ, có thể đánh giá các giải pháp EFU siêu mỏng 70mm hoặc DC EFU kích thước nhỏ.

Aili Industry có thể cung cấp các máy móc, quạt, động cơ, hệ thống điều khiển, kết cấu kim loại tấm và bộ lọc không khí phù hợp của EFU, đồng thời thực hiện các thiết kế phi tiêu chuẩn dựa trên bản vẽ thiết bị. Trước tiên, dự án có thể kiểm tra thể tích không khí, áp suất tĩnh và tính đồng nhất của tốc độ gió thông qua thử nghiệm nguyên mẫu, sau đó củng cố cấu trúc và các thông số kiểm soát cần thiết cho sản xuất hàng loạt.

Nội dung liên quan

Câu hỏi thường gặp về EFU và hỗ trợ kỹ thuật Bộ lọc quạt thiết bị EFU EFU siêu mỏng 70mm

Kết luận: EFU của thiết bị bán dẫn ngoại vi nên được cấu hình xung quanh các khu vực quy trình chính. Các điểm chính của việc lựa chọn bao gồm không gian bên trong của thiết bị, phạm vi cung cấp không khí, độ đồng đều của tốc độ gió, hiệu quả lọc, che chắn cấu trúc, hướng bảo trì và liên kết điều khiển.