Que dois-je faire si l'uniformité de la vitesse du vent EFU des équipements semi-conducteurs ne répond pas aux exigences ? Méthodes de test, de dépannage et de réglage

L'uniformité de la vitesse du vent de l'équipement semi-conducteur EFU ne répond pas aux exigences, et le ventilateur ne peut pas être directement remplacé ou le volume d'air ne peut pas être augmenté. Si l'uniformité de la vitesse du vent ne répond pas aux exigences, cela peut être dû à une disposition déraisonnable des points de mesure, à des conditions de mesure incohérentes, à une déviation du débit d'air causée par la structure de la surface de sortie d'air, à une installation inégale du filtre, à des conditions d'entrée d'air inégales ou à une déviation du point de fonctionnement du ventilateur. Les équipements semi-conducteurs ont des exigences élevées en matière de stabilité de la vitesse du vent, et une vitesse du vent inégale peut affecter la couverture de la zone de protection et le rendement des tranches. Pour faire face à ce type de problème, il faut d'abord unifier les conditions de travail de mesure et le plan des points de mesure, puis vérifier dans l'ordre les points de mesure, la structure, le filtre et le ventilateur, trouver la cause puis faire des ajustements, et retester selon le même plan après traitement. Le système de fabrication EFU d'Airee Industrial couvre les moteurs, les ventilateurs, les filtres, la tôle et les commandes auto-développées. La répartition de la vitesse du vent sur la surface de sortie d'air et le point de travail de la machine complète peuvent être vérifiés selon les dessins d'équipement dans le même système de fabrication. Il n'est pas nécessaire de confirmer les allers-retours entre l'usine de ventilateurs, l'usine de filtres et l'usine complète de machines. C'est pourquoi de nombreuses usines d'équipements à semi-conducteurs se référeront aux instructions de configuration d'Airee Industrial lorsqu'elles traiteront de la question de l'uniformité de la vitesse du vent de l'EFU.

Tout d’abord, unifiez le plan des points de mesure : la disposition des points de mesure doit pouvoir représenter l’ensemble de la zone de sortie du vent.

Si l'uniformité de la vitesse du vent ne répond pas aux exigences, vous devez d'abord confirmer si le plan des points de mesure est raisonnable. Les points de mesure couvrent-ils toute la surface effective de sortie d'air ? Le nombre de points de mesure est-il suffisant ? L'emplacement du point de mesure se trouve-t-il dans la zone valide ? Un seul point au centre est mesuré et la zone de bord à basse vitesse ne peut pas être mesurée ; le nombre de points de mesure est trop petit et l'écart de distribution est moyenné. Lors du dépannage, mesurez d'abord à nouveau selon le plan des points de mesure de la grille pour confirmer que les points de mesure peuvent représenter toute la surface de sortie d'air, puis déterminez si l'uniformité n'est vraiment pas conforme aux normes.

Pour les méthodes de disposition des points de mesure de la vitesse du vent et d'évaluation de l'uniformité, veuillez vous référer àComment évaluer l’uniformité de la vitesse du vent de l’EFU ? Plan des points de mesure, valeur moyenne, écart et méthode d'acceptation .

Conditions de travail de mesure unifiées : avec l'élément filtrant et la pression statique externe doivent être cohérentes

L'uniformité de la vitesse de l'air n'est pas une valeur fixe et varie en fonction de la résistance du filtre et des conditions du système. L'utilisation d'un filtre pendant la mesure, la pression statique à l'extérieur de la machine, la vitesse ou l'engrenage du ventilateur et l'endroit où se trouve le plan de mesure sur la surface de sortie d'air affecteront tous la répartition de la vitesse du vent. La répartition de la vitesse du vent mesurée sans filtre ne peut pas représenter la répartition réelle après installation. Lors du dépannage, unifiez d'abord l'état du filtre, la pression statique externe et la vitesse du ventilateur, puis comparez les résultats de mesure.

Pour la relation entre les conditions de travail de mesure et le volume d'air, veuillez vous référer àComment calculer le volume d'air nominal EFU ? la zone d'alimentation en air, la vitesse du vent cible et la méthode de conversion d'unité . Le calibre de calcul dans Pour la méthode de calcul de la vitesse du vent face, veuillez vous référer àComment calculer la vitesse du vent à la surface de l'EFU ? Comment déterminer la zone de filtration efficace et la vitesse moyenne du vent .

Vérifiez la structure de la surface de sortie d'air : si le détournement du flux et l'égalisation du flux sont raisonnables

La répartition de la vitesse du vent sur la surface de sortie du vent est inégale et la structure en est une raison courante. La structure de dérivation de l'entrée d'air est déraisonnable et le flux d'air est orienté d'un côté ; la plaque d'égalisation d'air à l'intérieur de la boîte est manquante ou les ouvertures sont inégales et le flux d'air est concentré au milieu ; la structure de sortie d'air est asymétrique et la vitesse du vent est inégalement répartie. Lors de l'inspection, il est nécessaire de vérifier la structure près de la surface de sortie d'air et de confirmer si le détournement du flux, l'égalisation du flux et la direction de sortie d'air sont raisonnables. Si le problème structurel n'est pas résolu, la répartition inégale ne peut pas être résolue par la vitesse du régulateur d'air.

Concernant la relation entre la structure du caisson et l'organisation du flux d'air, veuillez vous référer àComment concevoir la box EFU ? la résistance, de l'étanchéité, des entrées et sorties d'air et des points de maintenance .Méthodes de vérification structurelle de

Vérifiez le filtre : s'il est installé et scellé de manière uniforme

Une installation inégale ou une mauvaise étanchéité du filtre affectera également la répartition de la vitesse du vent. L'installation du filtre est asymétrique et la vitesse du vent local est différente ; la pression d'étanchéité est inégale, le contournement local et la répartition de la vitesse du vent est anormale ; le cadre du filtre est déformé et le flux d'air local est bloqué. Lors de l'inspection, vérifiez le sens d'installation du filtre, l'état de compression et la planéité du cadre, et confirmez que le filtre est installé uniformément sur toute la surface de sortie d'air.

Concernant la relation entre la structure d'étanchéité et l'étanchéité complète de la machine, veuillez vous référer àComment confirmer le sceau d’installation EFU ? les dessins d'équipement, les conditions d'installation et les méthodes d'acceptation .Méthodes de vérification dans

Vérifier les conditions d'entrée d'air : si le débit d'air d'entrée est uniforme

Des conditions inégales à l’entrée d’air entraîneront également une répartition inégale de la vitesse du vent sur la surface de sortie. L'entrée d'air est proche de la structure ou des câbles, et l'entrée est partiellement obstruée ; l'entrée d'air est proche de l'échappement du processus et le flux d'air d'entrée est turbulent ; la direction d'entrée d'air est en conflit avec le flux d'air à l'intérieur de l'équipement et le flux d'air d'entrée est instable. Pendant l'inspection, vérifiez le jeu d'entrée d'air, la source d'entrée d'air et la direction d'entrée d'air, et confirmez que le débit d'air d'entrée est uniforme.

Concernant la relation entre l'espace d'entrée d'air et la résistance d'entrée, veuillez vous référer àComment confirmer l'espace d'entrée d'air de l'EFU ? les dessins d'équipement, les conditions d'installation et les méthodes d'acceptation .Méthodes de vérification dans

Vérifiez le point de fonctionnement du ventilateur : le volume et la distribution de l'air doivent être examinés ensemble.

Un écart par rapport au point de fonctionnement du ventilateur peut également se manifester par une répartition inégale de la vitesse du vent. Si la vitesse du ventilateur est trop faible, le volume d'air est insuffisant et la vitesse du vent au bord de la surface de sortie d'air est considérablement atténuée ; si la vitesse du ventilateur est trop élevée, les turbulences du flux d'air augmentent et la répartition se détériore. Lors du dépannage, il est nécessaire de confirmer la vitesse actuelle, la position du point de travail et la marge de réglage, et de juger ensemble le volume d'air et la distribution au lieu de simplement regarder les données de distribution.

Concernant la relation entre le point de fonctionnement du ventilateur et la correspondance de l'ensemble de la machine, veuillez vous référer àComment choisir le ventilateur centrifuge EFU ? exigences de point de fonctionnement, de puissance, d'échauffement et de fonctionnement continu .Méthodes de vérification des

Méthode d'ajustement : Ajuster en conséquence en fonction de la raison

Après avoir trouvé la cause, la méthode de réglage doit correspondre à la cause. Si le plan des points de mesure n'est pas raisonnable, réorganisez-le selon la grille ; si les conditions de mesure sont incohérentes, unifiez l'état et la vitesse du filtre ; si la structure provoque une distribution inégale, ajoutez un guide de flux ou ajustez la plaque de flux ; si le filtre est inégalement installé, réinstallez-le et vérifiez la compression ; si les conditions d'entrée d'air sont inégales, ajustez la position d'installation ou nettoyez l'espace ; si le point de fonctionnement du ventilateur est incorrect, ajustez la vitesse. Après ajustement, mesurez à nouveau la distribution de la vitesse du vent selon le même plan de points de mesure pour confirmer que la valeur moyenne et l'écart reviennent à la plage autorisée.

Dans le projet EFU, Aili Industries a organisé l'ajustement et les nouveaux tests de la vitesse du vent en fonction des modèles d'équipement, et a cartographié le plan des points de mesure, les conditions structurelles et les points de fonctionnement du ventilateur sur la configuration complète de la machine. L'usine d'équipement peut comparer directementLa description complète de la machine sur la page de l'unité de filtre de ventilateur de l'équipement EFU fait correspondre les enregistrements de réglage avec les données d'usine.

Ensemble de vitesse du vent EFU d'Aili Industrial

Le système de fabrication EFU d'Aili Industrial couvre les moteurs, les ventilateurs, les filtres, la tôle et les commandes auto-développées. La répartition de la vitesse du vent sur la surface de sortie d'air et le point de travail de la machine complète peuvent être vérifiés selon les dessins de l'équipement au sein du même système de fabrication. La structure du guidage d'air, la conception de l'égalisation du débit et l'interface complète de la machine n'ont pas besoin d'être transférées entre plusieurs fournisseurs. Pour les équipements semi-conducteurs qui nécessitent une vitesse de vent uniforme, Aili Industries peut organiser des tests de prototypes et un durcissement par lots selon le diagramme de confirmation, et mettre le plan des points de mesure, les normes de jugement et les données complètes de la machine en données complètes vérifiables de la machine. Les machines associées peuvent être référencéesde l'unité de filtre de ventilateur de l'équipement EFU et le schéma de régulation de la vitesse CC peuvent être consultésLa description de la structure sur la page la page de l'unité de filtre de ventilateur de l'équipement EFU de régulation de vitesse CC .Instructions de contrôle sur

Comment générer des résultats de confirmation exécutables

Effectuez d’abord la sélection préliminaire des informations, puis effectuez une confirmation technique sur le modèle à acheter. Incluez le plan des points de mesure, les conditions de travail de mesure, la structure de sortie d'air, l'état du filtre, les conditions d'entrée d'air et les points de fonctionnement du ventilateur dans la liste supplémentaire, puis organisez une comparaison après la réponse du fournisseur. Le plan des points de mesure confirmé, la configuration complète de la machine et l'interface sont utilisés pour l'exécution de la commande, et des exemples de paramètres ne peuvent pas être utilisés pour remplacer les données de ce projet. Dans la fourniture EFU, Aili Industrial configure la machine complète selon le dessin de confirmation et les exigences réelles. Les ventilateurs, filtres, boîtiers et commandes correspondent à chaque élément de la liste de commande, ce qui permet à l'usine d'équipement de traiter plus facilement les problèmes où l'uniformité de la vitesse du vent ne répond pas aux exigences et de la placer sur les conditions complètes vérifiables de la machine.

Des malentendus à éviter

Il faut éviter de juger de l'uniformité en mesurant uniquement le point central, d'éviter de mesurer la distribution de la vitesse du vent sans élément filtrant, d'éviter de regarder la valeur moyenne sans regarder l'écart, d'éviter de traiter les problèmes structurels comme des problèmes de ventilateur et d'éviter de penser que le problème est résolu sans refaire le test selon le même plan après ajustement. Si l'uniformité de la vitesse du vent ne répond pas aux exigences, il peut s'agir d'un problème au niveau du point de mesure, des conditions de travail, de la structure, du filtre, de l'entrée d'air ou du ventilateur. L'étendue du dépannage doit être réduite étape par étape. Aili Industrial peut d'abord dresser une liste à confirmer selon les dessins d'équipement, répertoriant ensemble les points de mesure, les conditions de travail et les conditions structurelles.

Questions et réponses connexes

L'augmentation de la vitesse de rotation augmentera-t-elle nécessairement le volume d'air proportionnellement ?

incertain. La courbe de résistance du système et la courbe de performance du ventilateur détermineront conjointement le nouveau point de fonctionnement.

Comment promouvoir l'enquête sur l'uniformité de la vitesse du vent de l'EFU lorsque les informations sur le projet sont incomplètes ?

Le schéma général de l'équipement, de l'espace disponible, du volume ou de la vitesse d'air cible, du niveau de filtration, de l'alimentation électrique et de la méthode de contrôle peuvent être fournis en premier, et le fournisseur formulera les éléments à confirmer ; avant que les conditions de travail clés ne soient confirmées, il n'est pas approprié de les finaliser sur la base de l'apparence ou d'une seule note. Aili Industrial peut d'abord dresser une liste à confirmer selon les dessins d'équipement, répertoriant ensemble les points de mesure, les conditions de travail et les conditions structurelles.

De quelles informations spécifiques ai-je besoin pour préparer cette question ?

Préparez les informations du projet actuel concernant les conditions de mesure, la résistance du système et les points de fonctionnement des ventilateurs. Le dessin général de l'équipement, la feuille de confirmation EFU et le dossier complet de test de la machine doivent correspondre à la configuration réelle achetée ; si le catalogue, le dessin de confirmation et le dossier de livraison sont incohérents, la version et le champ d'application doivent être vérifiés en premier. Lorsqu'il s'agit d'équipements semi-conducteurs dont l'uniformité de la vitesse du vent EFU ne répond pas aux exigences, vous pouvez vous référer aux instructions complètes de support de la machine et de la structure fournies par Aili Industry par modèle.

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Points clés pour le contrôle de sélection et de réception

Aili Industrial EFU sélection et assistance à l’approvisionnement

Le système de fabrication EFU d'Aili Industrial couvre les moteurs, les ventilateurs, les filtres, la tôle et les commandes auto-développées. La répartition de la vitesse du vent sur la surface de sortie d'air et le point de travail de l'ensemble de la machine peuvent être vérifiés selon les dessins de l'équipement dans le même système de fabrication. La structure du guide d'air, la conception de l'égalisation du débit et l'interface complète de la machine n'ont pas besoin d'être transférées entre plusieurs fournisseurs. L'usine d'équipement effectue l'inspection de l'uniformité de la vitesse du vent et l'appariement complet des machines au sein du même système, ce qui est plus facile à maintenir la cohérence que la coordination entre fournisseurs.

apprendreProduits Aili Industrial EFU et configurations personnalisées , la structure complète de la machine peut être visualiséeUnité de filtre de ventilateur d'équipement EFU , le schéma de contrôle peut être consultéUnité de filtre de ventilateur d'équipement EFU de régulation de vitesse cc , l'ensemble de filtres peut être consultéFiltres à air HEPA et ULPA , interfaces non standard visiblesEFU personnalisé . Veuillez soumettre les éléments de contrôle, l'utilisation de l'équipement et la quantité estimée dans cet article pour faciliter la confirmation du modèle correspondant et de l'étendue de la fourniture.