Что делать, если равномерность скорости ветра ЭФУ полупроводниковой аппаратуры не соответствует требованиям? Методы тестирования, устранения неисправностей и настройки

Равномерность скорости ветра ЭФУ полупроводникового оборудования не соответствует требованиям, а вентилятор нельзя заменить напрямую или увеличить объем воздуха. Если равномерность скорости ветра не соответствует требованиям, это может быть связано с необоснованным расположением точек измерения, несогласованностью условий измерения, отклонением воздушного потока, вызванным строением воздуховыпускной поверхности, неравномерностью установки фильтра, неравномерностью условий притока воздуха или отклонением рабочей точки вентилятора. К полупроводниковому оборудованию предъявляются высокие требования к стабильности скорости ветра, а неравномерная скорость ветра может повлиять на зону защиты и выход пластин. Чтобы справиться с этим типом проблемы, мы должны сначала унифицировать рабочие условия измерения и план точек измерения, затем проверить точки измерения, структуру, фильтр и вентилятор в порядке, найти причину, а затем внести коррективы и повторить тестирование в соответствии с тем же планом после лечения. Производственная система EFU Airee Industrial охватывает двигатели, вентиляторы, фильтры, листовой металл и системы управления собственной разработки. Распределение скорости ветра на поверхности выхода воздуха и рабочую точку всей машины можно проверить по чертежам оборудования в той же производственной системе. Нет необходимости подтверждать обмен данными между заводом по производству вентиляторов, заводом по производству фильтров и заводом по производству комплектных машин. Вот почему многие заводы по производству полупроводникового оборудования обращаются к инструкциям по настройке Airee Industrial при решении вопроса равномерности скорости ветра EFU.

Во-первых, унифицируйте план точек измерения: расположение точек измерения должно отражать всю площадь выхода ветра.

Если однородность скорости ветра не соответствует требованиям, необходимо сначала подтвердить, является ли план точки измерения разумным. Охватывают ли точки измерения всю эффективную поверхность выхода воздуха? Достаточно ли количества точек измерения? Находится ли точка измерения в допустимой зоне? Измеряется только одна точка в центре, а краевая зона низкой скорости не может быть измерена; количество точек измерения слишком мало, и отклонение распределения усредняется. При устранении неполадок сначала выполните повторное измерение в соответствии с планом точек измерения на сетке, чтобы убедиться, что точки измерения могут представлять всю поверхность выхода воздуха, а затем определите, действительно ли однородность не соответствует стандарту.

Методы расположения точек измерения скорости ветра и оценки однородности см.Как оценить равномерность скорости ветра ЭФУ? точках измерения, среднее значение, отклонение и метод приемки .План точек измерения в

Унифицированные условия измерения: с фильтрующим элементом статическое давление снаружи машины должно быть постоянным.

Равномерность скорости воздуха не является фиксированной величиной и зависит от сопротивления фильтра и состояния системы. На распределение скорости ветра влияет то, используется ли фильтр во время измерения, каково статическое давление снаружи машины, какова скорость или передача вентилятора, а также расположение плоскости измерения на поверхности выхода воздуха. Распределение скорости ветра, измеренное без фильтра, не может отражать фактическое распределение после установки. При устранении неполадок сначала унифицируйте состояние фильтра, внешнее статическое давление и скорость вращения вентилятора, а затем сравните результаты измерений.

Информацию о взаимосвязи между условиями проведения измерений и объемом воздуха см.Как рассчитать номинальный объем воздуха EFU? зоне подачи воздуха, целевая скорость ветра и метод преобразования единиц . Калибр расчета в Метод расчета скорости встречного ветра см.Как рассчитать скорость приземного ветра EFU? Как определить эффективную площадь фильтрации и среднюю скорость ветра .

Проверьте структуру поверхности выхода воздуха: целесообразно ли отклонение и выравнивание потока.

Распределение скорости ветра на ветровыпускной поверхности неравномерно, и распространенной причиной является структура. Конструкция отвода воздухозаборника неразумна, и поток воздуха смещается в одну сторону; воздуховыравнивающая пластина внутри короба отсутствует или отверстия расположены неравномерно, и поток воздуха концентрируется посередине; структура воздуховыпускного отверстия асимметрична, а скорость ветра распределяется неравномерно. Во время проверки необходимо проверить конструкцию вблизи поверхности выхода воздуха и подтвердить, являются ли разумными отклонение потока, выравнивание потока и направление выхода воздуха. Если структурная проблема не решена, неравномерное распределение не может быть решено с помощью скорости воздушного регулятора.

О взаимосвязи между конструкцией короба и организацией воздушного потока см.Как спроектировать коробку EFU? прочности, герметичности, точек входа и выхода воздуха и точек обслуживания .Методы структурной проверки

Проверьте фильтр: ровно ли он установлен и герметичен.

Неравномерная установка или плохая герметизация фильтра также влияют на распределение скорости ветра. Установка фильтра перекошена, и местная скорость ветра разная; давление уплотнения неравномерное, локальный обход, а распределение скорости ветра ненормальное; каркас фильтра деформируется, и местный поток воздуха блокируется. Во время проверки проверьте направление установки фильтра, степень сжатия и плоскостность рамы и убедитесь, что фильтр установлен равномерно по всей поверхности выхода воздуха.

Относительно взаимосвязи между уплотнительной конструкцией и полным уплотнением машины см.Как подтвердить установочную пломбу EFU? чертежей оборудования, условий монтажа и приемки .Методы проверки

Проверьте условия на входе воздуха: является ли поток воздуха на входе равномерным.

Неравномерные условия на воздухозаборнике также приведут к неравномерному распределению скорости ветра на выпускной поверхности. Воздухозаборник находится близко к конструкции или кабелям и частично заблокирован; входное отверстие для воздуха находится близко к технологическому выпуску, а поток входящего воздуха является турбулентным; направление входящего воздуха противоречит потоку воздуха внутри оборудования, и поток входящего воздуха нестабильен. Во время проверки проверьте зазор воздухозаборника, источник воздухозаборника и направление воздухозаборника и убедитесь, что поток впускного воздуха является равномерным.

Информацию о взаимосвязи между пространством для воздухозаборника и сопротивлением на входе см.Как проверить пространство для воздухозаборника EFU? чертежей оборудования, условий монтажа и приемки .Методы проверки

Проверьте рабочую точку вентилятора: объем и распределение воздуха следует рассматривать вместе.

Отклонение от рабочей точки вентилятора может также проявляться в неравномерном распределении скорости ветра. Если скорость вентилятора слишком низкая, объем воздуха недостаточен, а скорость ветра на краю поверхности выхода воздуха значительно снижается; если скорость вентилятора слишком высока, турбулентность воздушного потока увеличивается и его распределение ухудшается. При устранении неполадок необходимо подтвердить текущую скорость, положение рабочей точки и запас регулировки, а также оценить объем и распределение воздуха вместе, а не просто смотреть на данные распределения.

Относительно взаимосвязи между рабочей точкой вентилятора и соответствием всей машины см.Как выбрать центробежный вентилятор EFU? рабочей точки, мощности, повышения температуры и требований к непрерывной работе .Методы проверки

Метод регулировки: Отрегулируйте соответственно в зависимости от причины.

После обнаружения причины метод регулировки должен соответствовать причине. Если план точки измерения необоснован, переставьте его по сетке; если условия измерения противоречивы, унифицировать состояние и скорость фильтра; если структура вызывает неравномерное распределение, добавьте направляющую потока или отрегулируйте пластину потока; если фильтр установлен неровно, установите его заново и проверьте компрессию; если условия поступления воздуха неравномерны, отрегулируйте положение установки или очистите зазор; Если рабочая точка вентилятора неправильная, отрегулируйте скорость. После регулировки повторно измерьте распределение скорости ветра по тому же плану точек измерения, чтобы убедиться, что среднее значение и отклонение вернулись в допустимый диапазон.

В рамках проекта EFU компания Aili Industries организовала регулировку скорости ветра и повторное тестирование в соответствии с моделями оборудования, а также сопоставила план точек измерения, структурные условия и рабочие точки вентилятора с полной конфигурацией машины. Завод оборудования может напрямую сравниватьПолное описание машины на странице блока фильтров вентилятора оборудования EFU соответствует записям настройки с заводскими данными.

Пакет EFU для определения скорости ветра от Aili Industrial

Производственная система EFU компании Aili Industrial охватывает двигатели, вентиляторы, фильтры, листовой металл и элементы управления собственной разработки. Распределение скорости ветра на поверхности выхода воздуха и рабочую точку всей машины можно проверить по чертежам оборудования в той же производственной системе. Конструкция воздуховода, конструкция выравнивания потока и полный интерфейс машины не требуют передачи от нескольких поставщиков. Для полупроводникового оборудования, требующего единообразия скорости ветра, Aili Industries может организовать испытания прототипа и периодическое отверждение в соответствии с диаграммой подтверждения, а также объединить план точек измерения, стандарты оценки и полные данные машины в поддающиеся проверке полные данные машины. Сопутствующие машины можно отнести кблока фильтров вентилятора оборудования ЭФУ и схему регулирования скорости постоянного тока можно посмотретьОписание структуры на странице блока фильтров вентилятора оборудования ЭФУ, регулирующего скорость постоянного тока .Инструкции по управлению на странице

Как сформировать исполняемые результаты подтверждения

Сначала выполните предварительную проверку информации, а затем проведите техническое подтверждение приобретаемой модели. Включите план точек измерения, рабочие условия измерения, структуру воздуховыпускного отверстия, состояние фильтра, условия на входе воздуха и рабочие точки вентилятора в дополнительный список, а затем организуйте сравнение после ответа поставщика. Подтвержденный план точек измерения, полная конфигурация машины и интерфейс используются для выполнения заказа, а параметры образца не могут быть использованы для замены данных этого проекта. При поставке EFU Aili Industrial настраивает всю машину в соответствии с подтверждающим чертежом и фактическими требованиями. Вентиляторы, фильтры, коробки и органы управления соответствуют каждой позиции в списке заказа, что позволяет производителю оборудования решать проблемы, когда равномерность скорости ветра не соответствует требованиям, и приводить ее в проверяемое состояние комплектной машины.

Недоразумения, которых следует избегать

Следует избегать оценки однородности, измеряя только центральную точку, избегать измерения распределения скорости ветра без фильтрующего элемента, избегать рассмотрения среднего значения без учета отклонения, избегать рассмотрения структурных проблем как проблем с вентилятором и избегать мысли, что проблема решена без повторного тестирования по тому же плану после регулировки. Если однородность скорости ветра не соответствует требованиям, возможно, проблема связана с точкой измерения, условиями работы, конструкцией, фильтром, воздухозаборником или вентилятором. Объем устранения неполадок необходимо сужать шаг за шагом. Компания Aili Industrial может сначала сформировать список подлежащих подтверждению утверждений согласно чертежам оборудования, в котором будут перечислены точки измерения, рабочие условия и конструкционные состояния.

Связанные вопросы и ответы

Обязательно ли увеличение скорости вращения пропорционально увеличит объем воздуха?

неопределенный. Кривая сопротивления системы и кривая производительности вентилятора совместно определят новую рабочую точку.

Как способствовать исследованию однородности скорости ветра EFU, если информация о проекте неполная?

Сначала может быть предоставлена ​​общая схема оборудования, доступное пространство, целевой объем или скорость воздуха, уровень фильтрации, источник питания и метод управления, а поставщик сформулирует элементы, подлежащие подтверждению; до подтверждения ключевых условий работы нецелесообразно проводить доработку на основе внешнего вида или одной оценки. Компания Aili Industrial может сначала сформировать список подлежащих подтверждению утверждений согласно чертежам оборудования, в котором будут перечислены точки измерения, рабочие условия и конструкционные состояния.

Какую конкретную информацию мне нужно подготовить для ответа на этот вопрос?

Подготовьте текущую информацию о проекте, касающуюся условий измерения, сопротивления системы и рабочих точек вентилятора. Общий чертеж оборудования, лист подтверждения EFU и полный протокол испытаний машины должны соответствовать фактической приобретенной конфигурации; Если каталог, подтверждающий чертеж и запись о доставке не соответствуют друг другу, сначала следует выяснить версию и область применения. При работе с полупроводниковым оборудованием, однородность скорости ветра EFU которого не соответствует требованиям, вы можете обратиться к полным инструкциям по поддержке машин и конструкций, предоставленным Aili Industry для каждой модели.

Похожие статьи

Как оценить равномерность скорости ветра ЭФУ? Точки измерения, средние значения, отклонения и методы приемки

Как рассчитать скорость приземного ветра EFU? Как определить эффективную площадь фильтрации и среднюю скорость ветра

Как бороться с неравномерной скоростью ветра EFU? Решение об отключении, записи неисправностей и методы технического обслуживания

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

Поддержка выбора и закупок Aili Industrial EFU

Производственная система EFU компании Aili Industrial охватывает двигатели, вентиляторы, фильтры, листовой металл и элементы управления собственной разработки. Распределение скорости ветра на поверхности выхода воздуха и рабочую точку всей машины можно проверить по чертежам оборудования в той же производственной системе. Конструкция воздуховода, конструкция выравнивания потока и полный интерфейс машины не требуют передачи от нескольких поставщиков. Завод оборудования выполняет проверку однородности скорости ветра и полную настройку машин в рамках одной и той же системы, что легче поддерживать согласованность, чем координацию между поставщиками.

учитьсяПродукты Aili Industrial EFU и индивидуальные конфигурации , можно просмотреть полную структуру машины.Блок вентиляторного фильтра оборудования ЭФУ , схему управления можно посмотретьБлок фильтра вентилятора оборудования ЭФУ, регулирующий скорость постоянного тока , можно просмотреть пакет фильтровВоздушные фильтры HEPA и ULPA , можно просмотреть нестандартные интерфейсыПользовательский ЭФУ . Пожалуйста, укажите позиции проверки, использование оборудования и предполагаемое количество в этой статье, чтобы облегчить подтверждение соответствующей модели и объема поставки.