¿Qué debo hacer si la uniformidad de la velocidad del viento EFU de los equipos semiconductores no cumple con los requisitos? Métodos de prueba, resolución de problemas y ajuste.

La uniformidad de la velocidad del viento del equipo semiconductor EFU no cumple con los requisitos y el ventilador no se puede reemplazar directamente o no se puede aumentar el volumen de aire. Si la uniformidad de la velocidad del viento no cumple con los requisitos, puede deberse a una disposición poco razonable de los puntos de medición, condiciones de medición inconsistentes, desviación del flujo de aire causada por la estructura de la superficie de salida de aire, instalación de filtro desigual, condiciones de entrada de aire desiguales o desviación del punto de trabajo del ventilador. Los equipos semiconductores tienen altos requisitos de estabilidad de la velocidad del viento, y la velocidad desigual del viento puede afectar la cobertura del área de protección y el rendimiento de las obleas. Para abordar este tipo de problema, primero debemos unificar las condiciones de trabajo de medición y el plan de puntos de medición, luego verificar los puntos de medición, la estructura, el filtro y el ventilador en el orden, ajustar después de encontrar la causa y volver a realizar la prueba de acuerdo con el mismo plan después del tratamiento. El sistema de fabricación EFU de Airee Industrial cubre motores, ventiladores, filtros, láminas metálicas y controles de desarrollo propio. La distribución de la velocidad del viento en la superficie de salida de aire y el punto de trabajo de la máquina completa se puede comprobar según los planos del equipo en el mismo sistema de fabricación. No es necesario realizar confirmaciones entre la fábrica de ventiladores, la fábrica de filtros y la fábrica de máquinas completa. Esta es la razón por la que muchas fábricas de equipos semiconductores consultarán las instrucciones de configuración de Airee Industrial cuando aborden la cuestión de la uniformidad de la velocidad del viento EFU.

En primer lugar, unifique el plano de los puntos de medición: la disposición de los puntos de medición debe poder representar toda el área de salida del viento.

Si la uniformidad de la velocidad del viento no cumple con los requisitos, primero debe confirmar si el plan del punto de medición es razonable. ¿Los puntos de medición cubren toda la superficie efectiva de salida de aire? ¿Es suficiente el número de puntos de medición? ¿Está la ubicación del punto de medición en el área válida? Sólo se mide un punto en el centro y no se puede medir el área de baja velocidad del borde; el número de puntos de medición es demasiado pequeño y la desviación de distribución se promedia. Al solucionar problemas, primero vuelva a medir de acuerdo con el plan de puntos de medición de la rejilla para confirmar que los puntos de medición puedan representar toda la superficie de salida de aire y luego determine si la uniformidad realmente no cumple con el estándar.

Para conocer los métodos de diseño del punto de medición de la velocidad del viento y evaluación de la uniformidad, consulte¿Cómo evaluar la uniformidad de la velocidad del viento EFU? Plano de puntos de medición, valor medio, desviación y método de aceptación .

Condiciones de trabajo de medición unificada: con el elemento filtrante, la presión estática fuera de la máquina debe ser constante

La uniformidad de la velocidad del aire no es un valor fijo y varía según la resistencia del filtro y las condiciones del sistema. El uso de un filtro durante la medición, la presión estática fuera de la máquina, la velocidad del ventilador o el engranaje y la ubicación del plano de medición en la superficie de salida de aire afectarán la distribución de la velocidad del viento. La distribución de la velocidad del viento medida sin filtro no puede representar la distribución real después de la instalación. Al solucionar problemas, primero unifique el estado del filtro, la presión estática externa y la velocidad del ventilador, y luego compare los resultados de la medición.

Para conocer la relación entre las condiciones de trabajo de medición y el volumen de aire, consulte¿Cómo calcular el volumen de aire nominal EFU? el área de suministro de aire, la velocidad del viento objetivo y el método de conversión de unidades . El calibre de cálculo en Para conocer el método de cálculo de la velocidad del viento frontal, consulte¿Cómo calcular la velocidad del viento en la superficie EFU? Cómo determinar el área de filtración efectiva y la velocidad promedio del viento .

Verifique la estructura de salida de aire: si la desviación y la ecualización del flujo son razonables

La distribución de la velocidad del viento en la superficie de salida del viento es desigual y la estructura es una razón común. La estructura de desviación de la entrada de aire no es razonable y el flujo de aire está desviado hacia un lado; falta la placa de compensación de aire dentro de la caja o las aberturas están desiguales y el flujo de aire se concentra en el medio; la estructura de salida de aire es asimétrica y la velocidad del viento está distribuida de manera desigual. Durante la inspección, es necesario verificar la estructura cerca de la superficie de salida de aire y confirmar si la desviación del flujo, la igualación del flujo y la dirección de salida del aire son razonables. Si el problema estructural no se resuelve, la distribución desigual no se puede solucionar con la velocidad del regulador de aire.

Con respecto a la relación entre la estructura de la caja y la organización del flujo de aire, consulte¿Cómo diseñar la caja EFU? resistencia, sellado, puntos de entrada y salida de aire y mantenimiento .Métodos de verificación estructural de

Compruebe el filtro: si está instalado y sellado uniformemente

La instalación desigual o el sellado deficiente del filtro también afectarán la distribución de la velocidad del viento. La instalación del filtro está torcida y la velocidad del viento local es diferente; la presión de sellado es desigual, derivación local y la distribución de la velocidad del viento es anormal; el marco del filtro se deforma y el flujo de aire local se bloquea. Durante la inspección, verifique la dirección de instalación del filtro, el estado de compresión y la planitud del marco, y confirme que el filtro esté instalado uniformemente en toda la superficie de salida de aire.

Con respecto a la relación entre la estructura de sellado y el sellado completo de la máquina, consulte¿Cómo confirmar el sello de instalación de EFU? planos de equipos, condiciones de instalación y métodos de aceptación .Métodos de verificación en

Verifique las condiciones de entrada de aire: si el flujo de aire de entrada es uniforme

Las condiciones desiguales en la entrada de aire también conducirán a una distribución desigual de la velocidad del viento en la superficie de salida. La entrada de aire está cerca de la estructura o de los cables y la entrada está parcialmente bloqueada; la entrada de aire está cerca del escape del proceso y el flujo de aire de entrada es turbulento; la dirección de entrada de aire entra en conflicto con el flujo de aire dentro del equipo y el flujo de aire de entrada es inestable. Durante la inspección, verifique el espacio libre de entrada de aire, la fuente de entrada de aire y la dirección de entrada de aire, y confirme que el flujo de aire de entrada sea uniforme.

Con respecto a la relación entre el espacio de entrada de aire y la resistencia de entrada, consulte¿Cómo confirmar el espacio de entrada de aire EFU? planos de equipos, condiciones de instalación y métodos de aceptación .Métodos de verificación en

Verifique el punto de funcionamiento del ventilador: el volumen y la distribución del aire deben considerarse juntos

La desviación del punto de funcionamiento del ventilador también puede manifestarse como una distribución desigual de la velocidad del viento. Si la velocidad del ventilador es demasiado baja, el volumen de aire es insuficiente y la velocidad del viento en el borde de la superficie de salida de aire se atenúa significativamente; Si la velocidad del ventilador es demasiado alta, la turbulencia del flujo de aire aumenta y la distribución empeora. Al solucionar problemas, es necesario confirmar la velocidad actual, la posición del punto de trabajo y el margen de ajuste, y juzgar el volumen y la distribución del aire juntos en lugar de simplemente mirar los datos de distribución.

En cuanto a la relación entre el punto de trabajo del ventilador y la coincidencia de toda la máquina, consulte¿Cómo elegir el ventilador centrífugo EFU? el punto de trabajo, potencia, aumento de temperatura y requisitos de operación continua .Métodos de verificación para

Método de ajuste: ajuste en consecuencia según el motivo

Después de encontrar la causa, el método de ajuste debe corresponder a la causa. Si el plan de puntos de medición no es razonable, reorganícelo de acuerdo con la cuadrícula; si las condiciones de medición son inconsistentes, unifique el estado y la velocidad del filtro; si la estructura provoca una distribución desigual, agregue una guía de flujo o ajuste la placa de flujo; si el filtro está instalado de manera desigual, reinstálelo y verifique la compresión; si las condiciones de entrada de aire son desiguales, ajuste la posición de instalación o limpie el espacio libre; si el punto de trabajo del ventilador es incorrecto, ajuste la velocidad. Después del ajuste, vuelva a medir la distribución de la velocidad del viento de acuerdo con el mismo plan de puntos de medición para confirmar que el valor promedio y la desviación regresan al rango permitido.

En el proyecto EFU, Aili Industries organizó el ajuste de la velocidad del viento y las nuevas pruebas de acuerdo con los modelos de equipo, y mapeó el plan de puntos de medición, las condiciones estructurales y los puntos de operación del ventilador para la configuración completa de la máquina. La fábrica de equipos puede comparar directamenteLa descripción completa de la máquina en la página de la unidad de filtro del ventilador del equipo EFU coincide con los registros de ajuste con los datos de fábrica.

Paquete de velocidad del viento EFU de Aili Industrial

El sistema de fabricación EFU de Aili Industrial cubre motores, ventiladores, filtros, chapa metálica y controles de desarrollo propio. La distribución de la velocidad del viento en la superficie de salida de aire y el punto de trabajo de la máquina completa se puede comprobar según los planos del equipo dentro del mismo sistema de fabricación. No es necesario transferir la estructura de la guía de aire, el diseño de ecualización del flujo y la interfaz completa de la máquina entre varios proveedores. Para equipos semiconductores que requieren uniformidad en la velocidad del viento, Aili Industries puede organizar pruebas de prototipos y curado por lotes de acuerdo con el diagrama de confirmación, y convertir el plan de puntos de medición, los estándares de evaluación y los datos completos de la máquina en datos completos verificables de la máquina. Se puede hacer referencia a las máquinas relacionadas.Se puede ver la página de la unidad de filtro del ventilador del equipo EFU y el esquema de regulación de velocidad de CC.la descripción de la estructura en la página de la unidad de filtro del ventilador del equipo EFU con regulación de velocidad de CC .Instrucciones de control en

Cómo formar resultados de confirmación ejecutables

Primero complete la selección preliminar de información y luego realice la confirmación técnica del modelo a comprar. Incluya el plan de puntos de medición, las condiciones de trabajo de medición, la estructura de salida de aire, el estado del filtro, las condiciones de entrada de aire y los puntos de trabajo del ventilador en la lista complementaria y luego organice una comparación después de que el proveedor responda. El plan de puntos de medición confirmado, la configuración completa de la máquina y la interfaz se utilizan para la ejecución del pedido, y los parámetros de muestra no se pueden utilizar para reemplazar los datos de este proyecto. En el suministro de EFU, Aili Industrial configura la máquina completa de acuerdo con el plano de confirmación y los requisitos reales. Los ventiladores, filtros, cajas y controles corresponden a cada elemento de la lista de pedidos, lo que facilita a la fábrica de equipos abordar problemas en los que la uniformidad de la velocidad del viento no cumple con los requisitos y colocarlos en las condiciones verificables de la máquina completa.

Malentendidos a evitar

Se debe evitar juzgar la uniformidad midiendo únicamente el punto central, evitar medir la distribución de la velocidad del viento sin un elemento filtrante, evitar mirar el valor promedio sin mirar la desviación, evitar tratar los problemas estructurales como problemas del ventilador y evitar pensar que el problema se resuelve sin volver a realizar la prueba de acuerdo con el mismo plan después del ajuste. Si la uniformidad de la velocidad del viento no cumple con los requisitos, puede haber un problema con el punto de medición, las condiciones de trabajo, la estructura, el filtro, la entrada de aire o el ventilador. El alcance de la resolución de problemas debe reducirse paso a paso. Aili Industrial puede primero formar una lista por confirmar de acuerdo con los planos del equipo, enumerando los puntos de medición, las condiciones de trabajo y las condiciones estructurales juntas.

Preguntas y respuestas relacionadas

¿El aumento de la velocidad de rotación necesariamente aumentará proporcionalmente el volumen de aire?

incierto. La curva de resistencia del sistema y la curva de rendimiento del ventilador determinarán conjuntamente el nuevo punto de funcionamiento.

¿Cómo promover la investigación de la uniformidad de la velocidad del viento de EFU cuando la información del proyecto está incompleta?

Primero se puede proporcionar el diagrama general del equipo, el espacio disponible, el volumen de aire objetivo o la velocidad del viento, el nivel de filtración, el suministro de energía y el método de control, y el proveedor formulará los elementos que se confirmarán; Antes de que se confirmen las condiciones de trabajo clave, no es apropiado finalizar basándose en la apariencia o una calificación única. Aili Industrial puede primero formar una lista por confirmar de acuerdo con los planos del equipo, enumerando los puntos de medición, las condiciones de trabajo y las condiciones estructurales juntas.

¿Qué información específica necesito para prepararme para esta pregunta?

Prepare información actual del proyecto sobre las condiciones de medición, la resistencia del sistema y los puntos de funcionamiento del ventilador. El plano general del equipo, la hoja de confirmación de la EFU y el registro completo de prueba de la máquina deben corresponder a la configuración real adquirida; Si el catálogo, el dibujo de confirmación y el registro de entrega son inconsistentes, primero se debe determinar la versión y el alcance de la aplicación. Cuando se trata de equipos semiconductores cuya uniformidad de velocidad del viento EFU no cumple con los requisitos, puede consultar las instrucciones completas de soporte de la máquina y la estructura proporcionadas por Aili Industry por modelo.

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Soporte de selección y adquisiciones de Aili Industrial EFU

El sistema de fabricación EFU de Aili Industrial cubre motores, ventiladores, filtros, chapa metálica y controles de desarrollo propio. La distribución de la velocidad del viento en la superficie de salida de aire y el punto de trabajo de la máquina completa se puede comprobar según los planos del equipo dentro del mismo sistema de fabricación. No es necesario transferir la estructura de la guía de aire, el diseño de ecualización del flujo y la interfaz completa de la máquina entre varios proveedores. La fábrica de equipos completa la inspección de la uniformidad de la velocidad del viento y la coincidencia completa de las máquinas dentro del mismo sistema, lo que es más fácil de mantener la coherencia que la coordinación entre proveedores.

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