Tôi nên làm gì nếu độ đồng đều tốc độ gió EFU của thiết bị bán dẫn không đáp ứng yêu cầu? Phương pháp kiểm tra, khắc phục sự cố và điều chỉnh

Độ đồng đều về tốc độ gió của thiết bị bán dẫn EFU không đáp ứng yêu cầu và không thể thay thế trực tiếp quạt hoặc không thể tăng thể tích không khí. Nếu độ đồng đều tốc độ gió không đáp ứng yêu cầu thì có thể do bố trí các điểm đo không hợp lý, điều kiện đo không nhất quán, độ lệch luồng khí do cấu trúc bề mặt cửa thoát khí, lắp đặt bộ lọc không đồng đều, điều kiện hút gió không đồng đều hoặc sai lệch điểm làm việc của quạt. Thiết bị bán dẫn có yêu cầu cao về độ ổn định của tốc độ gió và tốc độ gió không đồng đều có thể ảnh hưởng đến phạm vi bao phủ khu vực bảo vệ và năng suất tấm bán dẫn. Để giải quyết loại vấn đề này, trước tiên chúng ta phải thống nhất các điều kiện làm việc đo và sơ đồ điểm đo, sau đó kiểm tra các điểm đo, cấu trúc, bộ lọc và quạt theo thứ tự, điều chỉnh sau khi tìm ra nguyên nhân và kiểm tra lại theo kế hoạch tương tự sau khi xử lý. Hệ thống sản xuất EFU của Airee Industrial bao gồm động cơ, quạt, bộ lọc, tấm kim loại và bộ điều khiển tự phát triển. Có thể kiểm tra sự phân bố tốc độ gió trên bề mặt cửa thoát khí và điểm làm việc của máy hoàn chỉnh theo bản vẽ thiết bị trong cùng hệ thống sản xuất. Không cần phải xác nhận qua lại giữa xưởng quạt, xưởng lọc và xưởng máy hoàn chỉnh. Đây là lý do tại sao nhiều nhà máy sản xuất thiết bị bán dẫn sẽ tham khảo hướng dẫn cấu hình của Airee Industrial khi giải quyết vấn đề tốc độ gió đồng đều của EFU.

Đầu tiên, thống nhất sơ đồ điểm đo: bố trí điểm đo phải thể hiện được toàn bộ khu vực cửa gió.

Nếu độ đồng đều của tốc độ gió không đáp ứng yêu cầu, trước tiên bạn phải xác nhận xem sơ đồ điểm đo có hợp lý hay không. Các điểm đo có bao phủ toàn bộ bề mặt cửa thoát khí hiệu quả không? Số lượng điểm đo có đủ không? Vị trí điểm đo có nằm trong khu vực hợp lệ không? Chỉ đo được một điểm ở trung tâm và không thể đo được khu vực tốc độ thấp ở cạnh; số lượng điểm đo quá nhỏ và độ lệch phân bố được tính trung bình. Khi khắc phục sự cố, trước tiên hãy đo lại theo sơ đồ điểm đo lưới để xác nhận rằng các điểm đo có thể đại diện cho toàn bộ bề mặt cửa thoát khí, sau đó xác định xem tính đồng nhất có thực sự không đạt tiêu chuẩn hay không.

Để biết phương pháp bố trí điểm đo tốc độ gió và đánh giá tính đồng nhất, vui lòng tham khảoLàm thế nào để đánh giá tính đồng nhất của tốc độ gió EFU? Sơ đồ điểm đo, giá trị trung bình, độ lệch và phương pháp chấp nhận .

Điều kiện làm việc đo thống nhất: với phần tử lọc, áp suất tĩnh bên ngoài máy phải ổn định

Độ đồng đều của tốc độ không khí không phải là một giá trị cố định và thay đổi theo điện trở của bộ lọc và điều kiện hệ thống. Cho dù bộ lọc có được sử dụng trong quá trình đo hay không, áp suất tĩnh bên ngoài máy là bao nhiêu, tốc độ quạt hoặc bánh răng là bao nhiêu và vị trí của mặt phẳng đo trên bề mặt cửa thoát khí đều sẽ ảnh hưởng đến sự phân bố tốc độ gió. Phân bố tốc độ gió được đo mà không có bộ lọc không thể biểu thị phân bố thực tế sau khi lắp đặt. Khi khắc phục sự cố, trước tiên hãy thống nhất trạng thái bộ lọc, áp suất tĩnh bên ngoài và tốc độ quạt, sau đó so sánh kết quả đo.

Để biết mối quan hệ giữa điều kiện làm việc đo và thể tích không khí, vui lòng tham khảoLàm thế nào để tính toán lượng không khí định mức EFU? khu vực cung cấp không khí, tốc độ gió mục tiêu và phương pháp chuyển đổi đơn vị . Tầm cỡ tính toán trong Để biết phương pháp tính tốc độ gió mặt, vui lòng tham khảoLàm thế nào để tính tốc độ gió bề mặt EFU? Làm thế nào để xác định diện tích lọc hiệu quả và tốc độ gió trung bình .

Kiểm tra cấu trúc cửa thoát khí: việc phân luồng và cân bằng lưu lượng có hợp lý không

Sự phân bố tốc độ gió trên bề mặt cửa gió không đồng đều và cấu trúc là nguyên nhân phổ biến. Cấu trúc phân luồng khí vào không hợp lý, luồng khí thiên về một bên; thiếu tấm cân bằng không khí bên trong hộp hoặc các khe hở không đều, luồng khí tập trung ở giữa; cấu trúc cửa thoát khí không đối xứng và tốc độ gió phân bố không đều. Trong quá trình kiểm tra, cần kiểm tra kết cấu gần bề mặt cửa thoát khí và xác nhận xem việc chuyển dòng, cân bằng lưu lượng và hướng thoát khí có hợp lý hay không. Nếu vấn đề về cấu trúc không được giải quyết, sự phân bố không đồng đều không thể được giải quyết bằng tốc độ của bộ điều chỉnh không khí.

Về mối quan hệ giữa cấu trúc hộp và tổ chức luồng không khí, vui lòng tham khảoLàm thế nào để thiết kế hộp EFU? độ bền, độ kín, đầu vào và đầu ra không khí và các điểm bảo trì .Các phương pháp xác minh kết cấu về

Kiểm tra bộ lọc: nó có được lắp đặt và bịt kín đều không

Việc lắp đặt không đồng đều hoặc bịt kín bộ lọc kém cũng sẽ ảnh hưởng đến sự phân bố tốc độ gió. Việc lắp đặt bộ lọc bị lệch và tốc độ gió cục bộ khác nhau; áp suất bịt kín không đồng đều, bỏ qua cục bộ và phân bổ tốc độ gió không bình thường; khung bộ lọc bị biến dạng và luồng không khí cục bộ bị chặn. Trong quá trình kiểm tra, hãy kiểm tra hướng lắp đặt bộ lọc, trạng thái nén và độ phẳng của khung, đồng thời xác nhận rằng bộ lọc được lắp đều trên toàn bộ bề mặt cửa thoát khí.

Về mối quan hệ giữa cấu trúc niêm phong và niêm phong máy hoàn chỉnh, vui lòng tham khảoLàm thế nào để xác nhận con dấu lắp đặt EFU? bản vẽ thiết bị, điều kiện lắp đặt và phương pháp nghiệm thu .Phương pháp kiểm tra trong

Kiểm tra điều kiện khí vào: luồng khí vào có đồng đều không

Điều kiện không đồng đều ở cửa hút gió cũng sẽ dẫn đến sự phân bổ tốc độ gió không đồng đều trên bề mặt cửa gió ra. Cửa hút gió nằm gần kết cấu hoặc dây cáp và cửa hút gió bị chặn một phần; đầu vào không khí gần với khí thải của quá trình và luồng không khí đầu vào hỗn loạn; hướng gió vào xung đột với luồng gió bên trong thiết bị và luồng gió vào không ổn định. Trong quá trình kiểm tra, hãy kiểm tra khe hở khí vào, nguồn khí vào và hướng khí vào, đồng thời xác nhận rằng luồng khí vào đồng đều.

Về mối quan hệ giữa không gian khí vào và sức cản khí vào, vui lòng tham khảoLàm cách nào để xác nhận khoảng trống cửa nạp khí EFU? bản vẽ thiết bị, điều kiện lắp đặt và phương pháp nghiệm thu .Phương pháp kiểm tra trong

Kiểm tra điểm làm việc của quạt: lượng không khí và sự phân bổ phải được xem xét cùng nhau

Sự sai lệch so với điểm vận hành của quạt cũng có thể biểu hiện ở sự phân bố tốc độ gió không đồng đều. Nếu tốc độ quạt quá thấp, lượng không khí không đủ và tốc độ gió ở rìa bề mặt cửa thoát khí bị suy giảm đáng kể; nếu tốc độ quạt quá cao, sự hỗn loạn của luồng không khí sẽ tăng lên và sự phân bổ trở nên kém hơn. Khi khắc phục sự cố, cần xác nhận tốc độ hiện tại, vị trí điểm làm việc và biên độ điều chỉnh, đồng thời đánh giá lượng không khí và sự phân bổ cùng nhau thay vì chỉ nhìn vào dữ liệu phân phối.

Về mối quan hệ giữa điểm làm việc của quạt và sự phù hợp của toàn bộ máy, vui lòng tham khảoLàm thế nào để chọn quạt ly tâm EFU? điểm làm việc, công suất, độ tăng nhiệt độ và các yêu cầu vận hành liên tục .Kiểm tra các phương pháp về

Phương pháp điều chỉnh: Điều chỉnh phù hợp theo lý do

Sau khi tìm ra nguyên nhân thì phương pháp điều chỉnh phải tương ứng với nguyên nhân. Nếu sơ đồ điểm đo chưa hợp lý thì sắp xếp lại theo lưới; nếu các điều kiện đo không nhất quán, hãy thống nhất trạng thái và tốc độ của bộ lọc; nếu cấu trúc gây ra sự phân bố không đồng đều, hãy thêm bộ dẫn hướng dòng chảy hoặc điều chỉnh tấm lưu lượng; nếu bộ lọc được cài đặt không đồng đều, hãy cài đặt lại và kiểm tra độ nén; nếu điều kiện hút gió không đồng đều, hãy điều chỉnh vị trí lắp đặt hoặc làm sạch khe hở; nếu điểm làm việc của quạt không chính xác, hãy điều chỉnh tốc độ. Sau khi điều chỉnh, đo lại phân bố tốc độ gió theo sơ đồ điểm đo tương tự để xác nhận giá trị trung bình và độ lệch trở về phạm vi cho phép.

Trong dự án EFU, Aili Industries đã tổ chức điều chỉnh và kiểm tra lại tốc độ gió theo mẫu thiết bị, đồng thời lập sơ đồ điểm đo, điều kiện kết cấu và điểm vận hành quạt cho cấu hình máy hoàn chỉnh. Nhà máy sản xuất thiết bị có thể so sánh trực tiếpMô tả máy hoàn chỉnh trên trang bộ lọc quạt của thiết bị EFU khớp với bản ghi điều chỉnh với dữ liệu xuất xưởng.

Gói tốc độ gió EFU của Aili Industrial

Hệ thống sản xuất EFU của Aili Industrial bao gồm động cơ, quạt, bộ lọc, tấm kim loại và bộ điều khiển tự phát triển. Có thể kiểm tra sự phân bố tốc độ gió trên bề mặt cửa thoát khí và điểm làm việc của máy hoàn chỉnh theo bản vẽ thiết bị trong cùng một hệ thống sản xuất. Cấu trúc dẫn khí, thiết kế cân bằng dòng chảy và giao diện máy hoàn chỉnh không cần phải chuyển giao giữa nhiều nhà cung cấp. Đối với thiết bị bán dẫn yêu cầu tốc độ gió đồng đều, Aili Industries có thể tổ chức thử nghiệm nguyên mẫu và xử lý hàng loạt theo sơ đồ xác nhận, đồng thời đưa sơ đồ điểm đo, tiêu chuẩn đánh giá và dữ liệu máy hoàn chỉnh vào dữ liệu máy hoàn chỉnh có thể kiểm chứng được. Các máy liên quan có thể tham khảoCó thể xem trang bộ lọc quạt thiết bị EFU và sơ đồ điều chỉnh tốc độ DCmô tả cấu trúc trên trang bộ lọc quạt thiết bị EFU điều chỉnh tốc độ DC .Hướng dẫn điều khiển trên

Cách tạo kết quả xác nhận thực thi

Đầu tiên hãy hoàn thành việc sàng lọc thông tin sơ bộ, sau đó tiến hành xác nhận kỹ thuật trên mẫu máy sẽ mua. Đưa sơ đồ điểm đo, điều kiện làm việc đo, cấu trúc cửa thoát khí, trạng thái bộ lọc, điều kiện cửa hút gió và điểm làm việc của quạt vào danh sách bổ sung, sau đó tổ chức so sánh sau khi nhà cung cấp phản hồi. Sơ đồ điểm đo đã được xác nhận, cấu hình và giao diện máy hoàn chỉnh được sử dụng để thực hiện đơn hàng và không thể sử dụng các tham số mẫu để thay thế dữ liệu của dự án này. Trong nguồn cung cấp EFU, Aili Industrial cấu hình máy hoàn chỉnh theo bản vẽ xác nhận và yêu cầu thực tế. Quạt, bộ lọc, hộp và bộ điều khiển tương ứng với từng hạng mục trong danh sách đặt hàng, giúp nhà máy sản xuất thiết bị dễ dàng xử lý các vấn đề trong đó độ đồng đều tốc độ gió không đáp ứng yêu cầu và đặt vào điều kiện máy hoàn chỉnh có thể kiểm chứng được.

Những hiểu lầm cần tránh

Cần tránh đánh giá tính đồng nhất bằng cách chỉ đo điểm trung tâm, tránh đo phân bố tốc độ gió mà không có phần tử lọc, tránh nhìn vào giá trị trung bình mà không nhìn vào độ lệch, tránh coi các vấn đề về kết cấu như vấn đề của quạt và tránh nghĩ rằng vấn đề đã được giải quyết mà không cần kiểm tra lại theo cùng một kế hoạch sau khi điều chỉnh. Nếu độ đồng đều của tốc độ gió không đáp ứng yêu cầu thì có thể có vấn đề ở điểm đo, điều kiện làm việc, kết cấu, bộ lọc, cửa hút gió hoặc quạt. Phạm vi xử lý sự cố phải được thu hẹp từng bước. Trước tiên, Aili Industrial có thể lập danh sách cần xác nhận theo bản vẽ thiết bị, liệt kê các điểm đo, điều kiện làm việc và điều kiện kết cấu cùng nhau.

Câu hỏi và câu trả lời liên quan

Việc tăng tốc độ quay có nhất thiết phải tăng thể tích không khí theo tỷ lệ không?

không chắc chắn. Đường cong điện trở của hệ thống và đường cong hiệu suất của quạt sẽ cùng xác định điểm vận hành mới.

Làm cách nào để thúc đẩy việc điều tra tính đồng nhất của tốc độ gió EFU khi thông tin dự án chưa đầy đủ?

Sơ đồ chung của thiết bị, không gian sẵn có, thể tích không khí mục tiêu hoặc tốc độ gió, mức lọc, phương pháp điều khiển và cung cấp điện có thể được cung cấp trước và nhà cung cấp sẽ xây dựng các hạng mục cần được xác nhận; trước khi các điều kiện làm việc chính được xác nhận, việc hoàn thiện dựa trên hình thức bên ngoài hoặc một đánh giá duy nhất là không phù hợp. Trước tiên, Aili Industrial có thể lập danh sách cần xác nhận theo bản vẽ thiết bị, liệt kê các điểm đo, điều kiện làm việc và điều kiện kết cấu cùng nhau.

Tôi cần chuẩn bị những thông tin cụ thể nào cho câu hỏi này?

Chuẩn bị thông tin dự án hiện tại xung quanh các điều kiện đo lường, điện trở hệ thống và các điểm vận hành quạt. Bản vẽ chung của thiết bị, bảng xác nhận EFU và hồ sơ kiểm tra máy hoàn chỉnh phải tương ứng với cấu hình thực tế đã mua; nếu danh mục, bản vẽ xác nhận và biên bản giao hàng không nhất quán thì trước tiên phải xác định rõ phiên bản và phạm vi áp dụng. Khi xử lý các thiết bị bán dẫn có độ đồng đều tốc độ gió EFU không đáp ứng yêu cầu, bạn có thể tham khảo hướng dẫn hỗ trợ cấu trúc và máy hoàn chỉnh do Aili Industry cung cấp theo từng mẫu.

Bài viết liên quan

Làm thế nào để đánh giá tính đồng nhất của tốc độ gió EFU? Điểm đo, giá trị trung bình, độ lệch và phương pháp chấp nhận

Làm thế nào để tính tốc độ gió bề mặt EFU? Cách xác định diện tích lọc hiệu quả và tốc độ gió trung bình

Làm thế nào để đối phó với tốc độ gió EFU không đồng đều? Đánh giá tắt máy, hồ sơ lỗi và phương pháp bảo trì

Những điểm chính để lựa chọn và kiểm tra chấp nhận

Hỗ trợ lựa chọn và mua sắm EFU công nghiệp Aili

Hệ thống sản xuất EFU của Aili Industrial bao gồm động cơ, quạt, bộ lọc, tấm kim loại và bộ điều khiển tự phát triển. Có thể kiểm tra sự phân bố tốc độ gió trên bề mặt cửa thoát khí và điểm làm việc của máy hoàn chỉnh theo bản vẽ thiết bị trong cùng một hệ thống sản xuất. Cấu trúc dẫn khí, thiết kế cân bằng dòng chảy và giao diện máy hoàn chỉnh không cần phải chuyển giao giữa nhiều nhà cung cấp. Nhà máy sản xuất thiết bị hoàn thành quá trình kiểm tra tính đồng nhất của tốc độ gió và khớp máy hoàn chỉnh trong cùng một hệ thống, việc này dễ dàng duy trì tính nhất quán hơn so với việc phối hợp giữa các nhà cung cấp.

học hỏiCác sản phẩm EFU công nghiệp của Aili và cấu hình tùy chỉnh , có thể xem cấu trúc máy hoàn chỉnhBộ lọc quạt thiết bị EFU , có thể xem sơ đồ điều khiểnbộ lọc quạt thiết bị EFU điều chỉnh tốc độ DC , gói bộ lọcCó thể xem Có thể xem bộ lọc không khí HEPA và ULPA , giao diện không chuẩnEFU tùy chỉnh . Vui lòng gửi các hạng mục kiểm tra, cách sử dụng thiết bị và số lượng ước tính trong bài viết này để tạo điều kiện xác nhận mẫu mã và phạm vi cung cấp tương ứng.