tin tức

Tôi nên làm gì nếu việc tính toán thể tích không khí EFU của thiết bị bán dẫn không đáp ứng yêu cầu? Phương pháp kiểm tra, khắc phục sự cố và điều chỉnh

Số lượt xem: 4418     Tác giả: Aili Industry Thời gian phát hành: 12-05-2027 Nguồn: Công nghiệp Ái Lý

Cuộc điều tra

['facebook','twitter','linkedin','pinterest','whatsapp']

Tôi nên làm gì nếu việc tính toán thể tích không khí EFU của thiết bị bán dẫn không đáp ứng yêu cầu? Phương pháp kiểm tra, khắc phục sự cố và điều chỉnh

Việc tính toán thể tích không khí EFU của thiết bị bán dẫn không đáp ứng yêu cầu và không thể thay thế trực tiếp quạt hoặc tăng công suất. Nếu tính toán thể tích không khí không đáp ứng yêu cầu, có thể cỡ nòng tính toán không phù hợp với điều kiện làm việc thực tế, điện trở của hệ thống bị đánh giá thấp, điện trở của bộ lọc thay đổi, điều kiện khí vào khác với thiết kế, điểm vận hành của quạt bị lệch hoặc phương pháp đo bị sai lệch. Thiết bị bán dẫn có yêu cầu cao về độ ổn định của thể tích không khí và việc không đáp ứng các tiêu chuẩn về thể tích không khí có thể ảnh hưởng đến tốc độ gió mặt, hiệu quả bảo vệ và năng suất của thiết bị. Để giải quyết loại vấn đề này, trước tiên chúng ta phải đo các điều kiện làm việc một cách thống nhất, sau đó kiểm tra theo thứ tự cỡ nòng tính toán, điện trở hệ thống, trạng thái bộ lọc, điều kiện hút gió và điểm vận hành của quạt. Điều chỉnh sau khi tìm ra nguyên nhân và quay lại điều kiện làm việc ban đầu sau khi xử lý để kiểm tra lại. Hệ thống sản xuất EFU của Aili Industrial bao gồm động cơ, quạt, bộ lọc, tấm kim loại và bộ điều khiển tự phát triển. Tính toán thể tích không khí, sức cản hệ thống và điểm làm việc của quạt có thể được kiểm tra theo bản vẽ thiết bị trong cùng hệ thống sản xuất. Không cần phải qua lại giữa nhà máy quạt, nhà máy lọc và nhà máy máy hoàn chỉnh để xác nhận. Đây là lý do tại sao nhiều nhà máy sản xuất thiết bị bán dẫn sẽ tham khảo hướng dẫn cấu hình Aili Industrial khi xử lý các vấn đề về thể tích không khí EFU không đạt tiêu chuẩn.

Đầu tiên, thống nhất các điều kiện làm việc: dữ liệu về thể tích không khí phải so sánh được

Việc tính toán thể tích không khí không đáp ứng được yêu cầu. Đầu tiên, hãy xác nhận xem các điều kiện đo có nhất quán hay không. Thể tích không khí được tính toán dựa trên trạng thái bộ lọc, áp suất tĩnh bên ngoài và điều kiện tốc độ nào? Thể tích không khí thực tế được đo trong những điều kiện nào? Điều kiện làm việc của cả hai là khác nhau và dữ liệu không thể so sánh trực tiếp. Điện trở trong của thiết bị bán dẫn khác với điều kiện thử nghiệm tiêu chuẩn và hiện tượng phổ biến là thể tích không khí đo được thấp hơn giá trị tính toán. Khi khắc phục sự cố, trước tiên hãy thống nhất trạng thái bộ lọc, áp suất tĩnh bên ngoài và tốc độ quạt, sau đó so sánh các giá trị được tính toán với các giá trị đo được thực tế.

Mục điều kiện làm việc

Điều gì cần được xác nhận

Câu hỏi thường gặp

trạng thái lọc

Liệu các bộ lọc được tính toán và đo lường có giống nhau không

Phần tử lọc mới dùng để tính toán, phần tử lọc cũ dùng để đo thực tế

Áp suất tĩnh bên ngoài

Tính toán và đo điện trở bên ngoài

tầm cỡ không nhất quán

Tốc độ quạt

Điều kiện tốc độ tính toán và đo đạc

So sánh trực tiếp các tốc độ khác nhau

Phương pháp đo

Điểm đo, dụng cụ, phương pháp

Phương pháp đo không đồng nhất

Để biết phương pháp tính thể tích không khí và chuyển đổi đơn vị, vui lòng tham khảoLàm thế nào để tính toán lượng không khí định mức EFU? vùng cấp gió, tốc độ gió mục tiêu và phương pháp quy đổi đơn vị là so sánh giá trị tính toán và giá trị đo được trong cùng một cỡ nòng.Các bước tính toán trong

Kiểm tra cỡ nòng tính toán: diện tích hiệu dụng và giá trị tốc độ gió

Sự không nhất quán trong cỡ nòng tính toán là nguyên nhân phổ biến khiến thể tích không khí không đạt yêu cầu. Vùng lọc hiệu quả có trừ đường viền không? Có cơ sở nào để thiết lập tốc độ gió mục tiêu không? Đơn vị thể tích không khí có đồng đều không? Bộ lọc nhiều mảnh có được tính theo tổng diện tích không? Cỡ nòng tính toán sai và lượng không khí tính toán không phù hợp với yêu cầu của thiết bị. Khi khắc phục sự cố, trước tiên hãy kiểm tra cỡ nòng tính toán, sau đó xác định xem đó là sự cố tính toán hay sự cố thiết bị.

mục tính toán

Điều gì cần được xác nhận

Câu hỏi thường gặp

Khu vực hiệu quả

Có nên khấu trừ biên giới hay không

Tính toán sử dụng diện tích bên ngoài

tốc độ gió mục tiêu

Có cơ sở nào cho giá trị không?

Giá trị tốc độ gió không có cơ sở

Đơn vị thống nhất

Đơn vị thể tích, diện tích, tốc độ gió

Đơn vị trộn

Cấu hình đa chip

Có tính toán dựa trên tổng diện tích không

Chỉ được tính dựa trên một đơn hàng

Để biết phương pháp tính tốc độ gió mặt, vui lòng tham khảoLàm thế nào để tính tốc độ gió bề mặt EFU? Đối với các bước trong Cách xác định diện tích lọc hiệu quả và tốc độ gió trung bình , hãy thống nhất phạm vi tính toán rồi so sánh.

Kiểm tra điện trở hệ thống: bộ lọc, điện trở khí vào và ra

Sức cản của hệ thống bị đánh giá thấp, đó là một lý do phổ biến khác khiến thể tích không khí không đạt tiêu chuẩn. Khi tính toán, chỉ tính điện trở của bộ lọc chứ không tính sức cản đường dẫn khí vào, sức cản ống gió hộp và sức cản đường dẫn khí ra; hoặc tính toán dựa trên điện trở ban đầu của bộ lọc mới mà không xét đến mức tăng điện trở hoạt động. Điện trở của hệ thống bị đánh giá thấp, điểm vận hành của quạt thiên về hướng thể tích không khí nhỏ và thể tích không khí đo được thực tế thấp hơn giá trị tính toán. Trong quá trình điều tra, tổng điện trở của hệ thống phải được kiểm tra lại theo điện trở của tiểu mục.

Thuật ngữ kháng chiến

Điều gì cần được xác nhận

Tác động đến thể tích không khí

kháng lọc

Sức cản ban đầu và sức cản chạy

Sức cản tăng và thể tích không khí giảm

Sức cản không khí vào

Thông quan và sàng lọc đầu vào

Lối vào bị chặn và lượng không khí giảm.

Điện trở ống gió hộp

Cấu trúc và chia sẻ dòng điện nội bộ

Lưu lượng không khí bị giảm do ống dẫn khí kém

Sức cản đường thoát khí

Cấu trúc cửa thoát khí và đường dẫn thiết bị

Áp suất ngược tăng và thể tích không khí giảm

Để biết phương pháp tính toán chi tiết điện trở của hệ thống, vui lòng tham khảoLàm thế nào để tính toán áp suất tĩnh làm việc EFU? làm thế nào để thêm điện trở của bộ lọc, cửa hút gió và ống dẫn khí của thiết bị . Phương pháp chồng chất Để xác định điện trở trong của thiết bị, vui lòng tham khảoLàm thế nào để xác định điện trở trong của thiết bị EFU? các tính toán, đo lường, các yếu tố ảnh hưởng và phương pháp nghiệm thu .Mô tả

Kiểm tra các điều kiện đầu vào không khí: khoảng không và nguồn có thay đổi không

Những thay đổi về điều kiện khí vào cũng sẽ khiến lượng không khí đo được thấp hơn giá trị tính toán. Đường dẫn khí vào bị chặn bởi các kết cấu, dây cáp hoặc các bộ phận liền kề và điện trở của đường vào tăng lên; cửa hút gió ở gần nơi xử lý các nguồn khí thải hoặc ô nhiễm và EFU hít vào không khí có chứa các hạt, làm tăng gánh nặng cho bộ lọc; hướng khí vào xung đột với luồng khí bên trong thiết bị và luồng khí vào không ổn định. Cấu trúc bên trong của thiết bị bán dẫn nhỏ gọn và những thay đổi về điều kiện khí vào có nhiều khả năng ảnh hưởng đến thể tích không khí.

Vật phẩm hút khí

Điều gì cần được xác nhận

Tác động đến thể tích không khí

Khe hở không khí vào

Khu vực xung quanh lối vào có bị chặn không?

Không đủ khoảng không và giảm lượng không khí

Nguồn nạp khí

Nó có gần với quá trình xả khí không?

Tăng gánh nặng lọc

Hướng đầu vào

Nó có xung đột với luồng không khí của thiết bị không?

Luồng khí vào không ổn định

Vị trí lắp đặt

Có phù hợp với vị trí thiết kế không?

Thay đổi vị trí ảnh hưởng đến lượng không khí

Về mối quan hệ giữa không gian khí vào và sức cản khí vào, vui lòng tham khảoLàm thế nào để xác nhận không gian hút gió EFU? bản vẽ thiết bị, điều kiện lắp đặt và phương pháp nghiệm thu .Phương pháp kiểm tra trong

Kiểm tra điểm làm việc của quạt: tốc độ quay và biên độ điều chỉnh

Sự sai lệch điểm làm việc của quạt là nguyên nhân trực tiếp khiến lượng không khí không đạt tiêu chuẩn. Tốc độ quay được đặt thấp hơn giá trị thiết kế và lượng không khí giảm; điện trở tăng sau khi bộ lọc tích tụ bụi và điểm làm việc chuyển sang hướng thể tích không khí nhỏ; biên độ điều chỉnh quạt không đủ và không thể bù cho sự thay đổi điện trở. Khi khắc phục sự cố, hãy xác nhận tốc độ hiện tại, vị trí điểm làm việc và giới hạn điều chỉnh thay vì chỉ nhìn vào giá trị thể tích không khí.

Vật phẩm dành cho người hâm mộ

Điều gì cần được xác nhận

Tác động đến thể tích không khí

Tốc độ hiện tại

Tốc độ thực tế có phù hợp với thiết kế không?

Tốc độ thấp, lượng không khí thấp

Vị trí điểm làm việc

Vị trí trên đường cong quạt

Thay đổi thể tích không khí tại điểm làm việc

Biên độ điều chỉnh

Khả năng bù đắp sau khi điện trở tăng

Biên độ không đủ, lượng không khí giảm

Nguồn điện đầu vào

So sánh công suất hiện tại và giá trị thiết kế

Sự bất thường về quyền lực ảnh hưởng đến khả năng phán đoán

Về mối quan hệ giữa điểm vận hành của quạt và thể tích không khí, vui lòng tham khảoLàm thế nào để chọn quạt ly tâm EFU? điểm làm việc, công suất, độ tăng nhiệt độ và các yêu cầu vận hành liên tục . Kiểm tra các phương pháp về Để biết phương pháp cài đặt tốc độ, vui lòng tham khảoLàm cách nào để đặt tốc độ quạt EFU? Hiệu chỉnh Thể tích Không khí, Áp suất Tĩnh, Tiếng ồn và Thiết bị Vận hành .Giải thích về

Kiểm tra phương pháp đo: điểm đo, dụng cụ và tính toán

Nếu phương pháp đo thể tích không khí bị sai lệch thì giá trị đo được thực tế sẽ thấp hơn giá trị tính toán. Vị trí điểm đo không nằm trên bề mặt thoát khí hiệu quả, số lượng điểm đo không đủ, thiết bị không được hiệu chuẩn và trạng thái bộ lọc trong quá trình đo khác với điều kiện tính toán sẽ gây ra sai lệch. Khi khắc phục sự cố, trước tiên bạn phải xác nhận phương pháp đo, sau đó xác định xem có vấn đề gì với chính thiết bị hay không. Thiết bị bán dẫn có yêu cầu cao về độ chính xác của dữ liệu, phương pháp đo không đồng nhất và kết luận dễ bị sai lệch.

hạng mục đo lường

Điều gì cần được xác nhận

Câu hỏi thường gặp

Vị trí điểm đo

Cho dù đó là một lối thoát hiệu quả

Điểm đo lệch tâm

Số điểm đo

Tính trung bình một điểm hay nhiều điểm?

Trình bày thiếu một điểm

Trạng thái nhạc cụ

Có nằm trong thời hạn hiệu lực hiệu chuẩn không?

Độ lệch của công cụ

Điều kiện đo

Trạng thái và tốc độ lọc

Điều kiện làm việc khác với điều kiện tính toán

Để đo tốc độ gió và đánh giá tính đồng nhất, vui lòng tham khảoLàm thế nào để đánh giá tính đồng nhất của tốc độ gió EFU? điểm đo, giá trị trung bình, độ lệch và phương pháp chấp nhận .Các phương pháp đo ở

Phương pháp điều chỉnh: Điều chỉnh phù hợp theo lý do

Sau khi tìm ra nguyên nhân thì phương pháp điều chỉnh phải tương ứng với nguyên nhân. Nếu cỡ nòng tính toán sai thì tính toán lại; nếu điện trở hệ thống bị đánh giá thấp, hãy tính điện trở đầu vào và đầu ra; nếu điều kiện đầu vào thay đổi, hãy điều chỉnh vị trí lắp đặt hoặc xóa khe hở; nếu tốc độ quạt không đủ thì điều chỉnh tốc độ; nếu phương pháp đo sai lệch thì kiểm tra lại theo cùng cỡ nòng. Sau khi điều chỉnh, quay lại điều kiện làm việc ban đầu và đo lại thể tích không khí, áp suất tĩnh và công suất để xác nhận rằng trạng thái tổng thể của máy đã trở lại phạm vi bình thường và cập nhật hồ sơ thiết kế.

Điều chỉnh

Điều gì cần được xác nhận

Yêu cầu ghi âm

Hiệu chỉnh tính toán

Diện tích hiệu dụng và đường kính điện trở

Tính toán cập nhật bản ghi

Điều chỉnh cửa hút gió

Vệ sinh khoảng không hoặc điều chỉnh vị trí

Bản ghi cài đặt

Điều chỉnh tốc độ

Tốc độ và điểm làm việc

Bản ghi tham số

Kiểm tra lại toàn bộ máy

Thể tích không khí, áp suất tĩnh, công suất

Kiểm tra lại việc lưu trữ dữ liệu

Trong dự án EFU, Aili Industries đã tổ chức điều chỉnh và kiểm tra lại lượng không khí theo kiểu thiết bị, đồng thời ánh xạ cỡ nòng tính toán, điện trở hệ thống và điểm vận hành quạt cho cấu hình máy hoàn chỉnh. Nhà máy sản xuất thiết bị có thể so sánh trực tiếpMô tả máy hoàn chỉnh trên trang bộ lọc quạt của thiết bị EFU khớp với bản ghi điều chỉnh với dữ liệu xuất xưởng.

Gói thể tích không khí EFU của Aili Industrial

Hệ thống sản xuất EFU của Aili Industrial bao gồm động cơ, quạt, bộ lọc, tấm kim loại và bộ điều khiển tự phát triển. Việc tính toán thể tích không khí, sức cản của hệ thống và điểm vận hành của quạt có thể được kiểm tra dựa trên bản vẽ thiết bị trong cùng một hệ thống sản xuất và sự phù hợp giữa các bộ lọc, hộp, cửa hút gió và quạt không cần phải được chuyển qua các nhà cung cấp. Đối với thiết bị bán dẫn có yêu cầu rõ ràng về thể tích không khí, Ai Li Industrial có thể tổ chức thử nghiệm nguyên mẫu và xử lý hàng loạt theo sơ đồ xác nhận, đồng thời tính toán cỡ nòng, điện trở hệ thống và điểm làm việc thành dữ liệu máy hoàn chỉnh có thể kiểm chứng được. Các máy liên quan có thể tham khảoCó thể xem trang bộ lọc quạt thiết bị EFU và sơ đồ điều chỉnh tốc độ DCmô tả cấu trúc trên trang bộ lọc quạt thiết bị EFU điều chỉnh tốc độ DC .Hướng dẫn điều khiển trên

Cách tạo kết quả xác nhận thực thi

Đầu tiên hãy hoàn thành việc sàng lọc thông tin sơ bộ, sau đó tiến hành xác nhận kỹ thuật trên mẫu máy sẽ mua. Thêm cỡ nòng tính toán, lực cản của hệ thống, điều kiện hút gió, điểm vận hành quạt và phương pháp đo vào danh sách bổ sung, sau đó tổ chức so sánh sau khi nhà cung cấp phản hồi. Dữ liệu thể tích không khí đã được xác nhận, cấu hình và giao diện máy hoàn chỉnh được sử dụng để thực hiện đơn hàng và không thể sử dụng các tham số mẫu để thay thế dữ liệu dự án này. Trong nguồn cung cấp EFU, Aili Industrial cấu hình máy hoàn chỉnh theo bản vẽ xác nhận và yêu cầu thực tế. Bộ lọc, quạt và hộp lần lượt tương ứng theo danh sách đặt hàng, điều này tạo điều kiện thuận lợi cho nhà máy sản xuất thiết bị xử lý việc tính toán lượng không khí không đáp ứng yêu cầu và giải quyết trên các điều kiện máy hoàn chỉnh có thể kiểm chứng được.

Những hiểu lầm cần tránh

Cần tránh so sánh trực tiếp các giá trị tính toán với các giá trị đo thực tế mà không thống nhất các điều kiện làm việc. Nên tránh chỉ nghi ngờ về quạt mà bỏ qua cỡ nòng và điện trở hệ thống đã được tính toán. Nên tránh bỏ qua những thay đổi trong điều kiện khí vào. Nên tránh chỉ nhìn vào thể tích không khí mà không nhìn vào áp suất tĩnh và công suất. Cần tránh đánh giá sự bất thường của thiết bị nếu các phương pháp đo không thống nhất. Nếu việc tính toán thể tích không khí không đáp ứng được yêu cầu thì có thể có vấn đề về cỡ nòng tính toán, sức cản của hệ thống, điều kiện không khí vào, điểm vận hành quạt hoặc phương pháp đo. Phạm vi xử lý sự cố phải được thu hẹp từng bước. Aili Industrial trước tiên có thể lập danh sách cần xác nhận theo bản vẽ thiết bị và liệt kê các điều kiện đo lường, điện trở và cỡ nòng tính toán cùng nhau.

Câu hỏi và câu trả lời liên quan

Việc tăng tốc độ quay có nhất thiết phải tăng thể tích không khí theo tỷ lệ không?

không chắc chắn. Đường cong điện trở của hệ thống và đường cong hiệu suất của quạt sẽ cùng xác định điểm vận hành mới.

Làm cách nào để thúc đẩy việc điều tra thể tích không khí EFU của thiết bị bán dẫn khi thông tin dự án chưa đầy đủ?

Sơ đồ chung của thiết bị, không gian có sẵn, thể tích không khí mục tiêu hoặc tốc độ gió, mức lọc, phương pháp điều khiển và cung cấp điện có thể được cung cấp trước và nhà cung cấp sẽ xây dựng các hạng mục cần được xác nhận; trước khi các điều kiện làm việc chính được xác nhận, việc hoàn thiện dựa trên hình thức bên ngoài hoặc một đánh giá duy nhất là không phù hợp. Aili Industrial trước tiên có thể lập danh sách cần xác nhận theo bản vẽ thiết bị và liệt kê các điều kiện đo lường, điện trở và cỡ nòng tính toán cùng nhau.

Tôi cần chuẩn bị những thông tin cụ thể nào cho câu hỏi này?

Chuẩn bị thông tin dự án hiện tại xung quanh các điều kiện đo lường, điện trở hệ thống và các điểm vận hành quạt. Bản vẽ chung của thiết bị, bảng xác nhận EFU và hồ sơ kiểm tra máy hoàn chỉnh phải tương ứng với cấu hình thực tế đã mua; nếu danh mục, bản vẽ xác nhận và biên bản giao hàng không nhất quán thì trước tiên phải xác định rõ phiên bản và phạm vi áp dụng. Khi tính toán thể tích không khí EFU của thiết bị bán dẫn không đáp ứng yêu cầu, bạn có thể tham khảo hướng dẫn hỗ trợ máy và bộ lọc hoàn chỉnh do Aili Industrial cung cấp theo mẫu.

Bài viết liên quan

Làm thế nào để tính toán lượng không khí định mức EFU? Diện tích cấp không khí, tốc độ gió mục tiêu và phương pháp chuyển đổi đơn vị

Tại sao lượng không khí thực tế của EFU thấp hơn giá trị định mức? Phân tích điện trở hệ thống, bộ lọc và tình trạng lắp đặt

Lý do khiến thể tích không khí EFU giảm là gì? Trình tự kiểm tra, phương pháp xử lý và biện pháp phòng ngừa

Những điểm chính để lựa chọn và kiểm tra chấp nhận

Kiểm tra các mục

Xác nhận những điểm chính

Điều kiện đo

Trạng thái bộ lọc, áp suất tĩnh bên ngoài và tốc độ quay được thống nhất

Tính cỡ nòng

Diện tích hiệu dụng, giá trị tốc độ gió, đơn vị nhất quán

sức đề kháng của hệ thống

Các hạng mục phụ của bộ lọc, cửa hút gió, hộp, cửa thoát gió

Điều kiện khí vào

Thông quan, nguồn, hướng, vị trí lắp đặt

Điểm làm việc của quạt

Tốc độ, vị trí điểm làm việc, biên độ điều chỉnh

Hỗ trợ lựa chọn và mua sắm EFU công nghiệp Aili

Hệ thống sản xuất EFU của Aili Industrial bao gồm động cơ, quạt, bộ lọc, tấm kim loại và bộ điều khiển tự phát triển. Việc tính toán thể tích không khí, sức cản của hệ thống và điểm vận hành của quạt có thể được kiểm tra dựa trên bản vẽ thiết bị trong cùng một hệ thống sản xuất và sự phù hợp giữa các bộ lọc, hộp, cửa hút gió và quạt không cần phải được chuyển qua các nhà cung cấp. Nhà máy sản xuất thiết bị hoàn thành việc kiểm tra thể tích không khí và khớp máy hoàn chỉnh trong cùng một hệ thống, việc này dễ duy trì tính nhất quán hơn so với sự phối hợp giữa các nhà cung cấp.

học hỏiCác sản phẩm EFU công nghiệp của Aili và cấu hình tùy chỉnh , có thể xem cấu trúc máy hoàn chỉnhBộ lọc quạt thiết bị EFU , có thể xem sơ đồ điều khiểnbộ lọc quạt thiết bị EFU điều chỉnh tốc độ DC , gói bộ lọcCó thể xem Có thể xem bộ lọc không khí HEPA và ULPA , giao diện không chuẩnEFU tùy chỉnh . Vui lòng gửi các hạng mục kiểm tra, cách sử dụng thiết bị và số lượng ước tính trong bài viết này để tạo điều kiện xác nhận mẫu mã và phạm vi cung cấp tương ứng.

Aili Industrial phát triển và sản xuất bộ lọc không khí FFU, EFU, HEPA/ULPA, lỗ thông hơi cấp khí hiệu suất cao, hộp quạt và các thiết bị không khí sạch khác. Dựa vào động cơ, quạt, hệ thống điều khiển, bộ lọc và khả năng hỗ trợ máy hoàn chỉnh, chúng tôi cung cấp hỗ trợ lựa chọn và tùy chỉnh cho các dự án thiết bị sản xuất và phòng sạch.

sản phẩm

Liên kết nhanh

Tham gia vào một quan điểm toàn cầu

Nhận các sách trắng ngành và cập nhật công nghệ mới nhất.
© Công ty TNHH Công nghiệp Tô Châu Aili. Mọi quyền được bảo lưu.